喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法
喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法
【专利摘要】本发明涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。一实施方式的喷嘴清洗单元具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对供所述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
【专利说明】喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法
[0001] 本申请以2013年3月21日在先提出的日本专利申请第2013-0059141号为基础 并要求其优先权，其全部内容通过引用包含于此。
【技术领域】
[0002] 在此说明的多个实施方式整体上涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。
【背景技术】
[0003] 有一种喷嘴清洗单元，向作为清洗对象的喷嘴喷射清洗液，然后向喷嘴喷射干燥 用的空气。但是，在密闭的空间中，当喷射清洗液时，从作为清洗对象的喷嘴去除的附着物 可能会飞散而再次附着到喷嘴上。
[0004] 因此，希望开发一种能够有效去除附着在作为清洗对象的喷嘴上的附着物的技 术。
【发明内容】
[0005] 本发明的实施方式提供一种能够有效去除附着在喷嘴上附着物的喷嘴清洗单元 及喷嘴清洗方法。
[0006] 实施方式的喷嘴清洗单元具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开 口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对供所 述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧 的气氛进行减压。
[0007] 根据上述构成，能够有效去除附着在喷嘴上的附着物。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 图1是用于例示第1实施方式的喷嘴清洗单元1的示意图。
[0009] 图2是用于例示清洗部10的示意图。
[0010] 图3是用于例示清洗喷嘴部11的示意截面图。
[0011] 图4是用于例示浸泡部20的示意图。
[0012] 图5是用于例示浸泡槽21的示意截面图。
[0013] 图6A及6B是用于例示擦拭部30的示意图。
[0014] 图7是用于例示喷嘴清洗单元1的作用及喷嘴清洗方法的流程图。
[0015] 图8是用于例示第2实施方式的喷嘴清洗单元51的示意图。
[0016] 图9是用于例示清洗部60的示意图。
[0017] 图10是用于例示清洗喷嘴部61的示意截面图。
[0018] 图11A至11E是用于例示喷嘴清洗单元51的作用及喷嘴清洗方法的示意工序图。
【具体实施方式】
[0019] 以下，参照【专利附图】
【附图说明】实施方式。在各图中，对于同样的构成要素赋予同一符号，并 适当省略详细说明。
[0020] [第1实施方式]
[0021] 图1是用于例示第1实施方式的喷嘴清洗单元1的示意图。另外，在图1中，作为 一例，还一并画出了具备作为清洗对象的喷嘴102的涂敷装置100。
[0022] 首先，对涂敷装置100进行说明。
[0023] 在涂敷装置100中设有载置台101、喷嘴102、涂敷液供给部103、检测部104以及 移动单元105。
[0024] 载置台101保持被载置的基板W。此外，载置台101通过未图示的驱动部在水平面 内旋转。基板W的保持例如可以通过使用未图示的真空泵等实现的吸附来进行。
[0025] 喷嘴102朝向基板W的表面喷出涂敷液L。喷嘴102连续地喷出涂敷液L，将涂敷 液L涂敷到基板W的表面。例如，基板W是半导体芯片等，涂敷液L是防蚀刻液等。
[0026] 涂敷液供给部103经由喷嘴102向基板W的表面供给涂敷液L。涂敷液供给部103 例如可以具备收纳涂敷液L的槽、供给涂敷液L的泵、流量调节阀及开闭阀等。
[0027] 检测部104检测与基板W的表面之间的距离。通过未图示的控制部，基于检测到 的与基板W的表面之间的距离，控制喷嘴102的前端面与基板W的表面之间的距离。检测 部104例如可以采用反射型激光传感器等。
[0028] 移动单元105具有升降部105a和移动部105b。升降部105a保持喷嘴102并使 喷嘴102升降。移动部105b保持升降部105a并使喷嘴102沿着与升降方向正交的方向移 动。移动单元105例如可以采用2轴控制的机器人等。
[0029] 在这样的涂敷装置100中进行涂敷时，有时会在喷嘴102的前端部分附着涂敷液 L。如果在喷嘴102的前端部分附着了涂敷液L，则基板W的表面的涂敷量可能会变得不稳 定。例如，可能会发生附着的涂敷液L加入到基板W侧的涂敷液L而涂敷量变多，或者基板 W侧的涂敷液L被附着的涂敷液L粘走而涂敷量变少。
[0030] 通过设置本实施方式的喷嘴清洗单元1，能够有效地去除附着在喷嘴102的前端 部分的涂敷液L。因此，能够使基板W的表面的涂敷量稳定。
[0031] 接着，回到图1，说明本实施方式的喷嘴清洗单元1。如图1所示，在喷嘴清洗单元 1中设有清洗部10、浸泡部20以及擦拭部30。
[0032] 图2是用于例示清洗部10的示意图。
[0033] 图3是用于例示清洗喷嘴部11的示意截面图。
[0034] 如图2所示，在清洗部10中设有清洗喷嘴部11、容器12、连接部13、气体供给部 14、减压部15及回收槽16。
[0035] 清洗喷嘴部11朝向作为清洗对象的喷嘴102的前端部分喷射气体200。气体200 没有特别限定，例如可以采用空气或氮气等。
[0036] 如图3所示，清洗喷嘴部11具有主体部11a、喷射孔11M相当于第1喷射孔的一 例)、供给孔11c及清洗孔lid。
[0037] 主体部11a形成为圆筒状，具有使中心沿轴方向贯通的清洗孔lid。喷射孔lib在 清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面上开口为圆环状。因此，能够遍及插入到插入部lldl 的喷嘴102的前端部分的整周喷射气体200。
[0038] 此外，喷射孔lib朝向清洗孔lid的排出部lld2侧倾斜。因此，从喷射孔lib喷 射的气体200容易向清洗孔lid的排出部lld2侧流动。
[0039] 供给孔11c的一个端部在主体部11a的外壁面开口，另一个端部与喷射孔lib连 接。
[0040] 供给孔11c与气体供给部14连接。
[0041] 清洗孔lid具有插入部lldl和排出部lld2。
[0042] 插入部lldl的一个端部在主体部11a的端部开口。在插入部lldl的内部，插入 作为清洗对象的喷嘴102的前端部分。插入部lldl的截面尺寸比喷嘴102的前端部分的 截面尺寸大。这种情况下，喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间的间隙g设置 得较小，以使得从喷射孔lib喷射的气体200不易从插入部lldl的开口 lld3向外部泄露。
[0043] 排出部lld2的一个端部与插入部lldl连接，另一个端部在主体部11a的端部开 口。排出部lld2与连接部13连接。
[0044] 为了容易排出从喷射孔lib喷射的气体200,排出部lld2的截面尺寸比插入部 lldl的截面尺寸大。
[0045] 容器12形成为箱状，在上表面12a经由连接部13连接着清洗喷嘴部11的排出部 lld2 侧。
[0046] 此外，在容器12的上表面12a连接着减压部15,在容器12的下表面12b连接着回 收槽16。因此，重量较轻的气体220能够通过减压部15排出，重量较重的附着物或清洗液 201等能够排出到回收槽16。
[0047] 连接部13将清洗喷嘴部11和容器12连接。连接部13例如可以采用蛇腹管等具 有挠性的配管部件。
[0048] 气体供给部14向清洗喷嘴部11供给气体200。
[0049] 在气体供给部14中能够设置供给部14a、压力控制部14b及开闭阀14c。
[0050] 供给部14a例如可以是收纳高压气体200的槽或工厂配管等。
[0051] 压力控制部14b将从供给部14a供给的气体200的压力控制在规定的范围。
[0052] 开闭阀14c对气体200的供给和停止进行控制。
[0053] 这种情况下，可以设置多组压力控制部14b和开闭阀14c。如果设置多组压力控制 部14b和开闭阀14c，则能够根据附着在喷嘴102上的附着物的粘度等来切换喷射的气体 200的流速。
[0054] 例如，对于粘度较低的附着物，能够经由使压力设定变低的压力控制部14b喷射 气体200。此外，对于粘度较高的附着物，能够经由使压力设定变高的压力控制部14b喷射 气体200。这样，能够容易地去除粘度较高的附着物，能够抑制粘度较低的附着物飞散。
[0055] 减压部15对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧 相反的一侧的气氛进行减压。
[0056] 例如，减压部15经由容器12和连接部13从清洗喷嘴部11将气体200排出。
[0057] 在减压部15中可以设置开闭阀15a和排气装置15b。
[0058] 开闭阀15a对气体200的排气和停止进行控制。
[0059] 排气装置15b例如可以采用真空喷射器等。
[0060] 这种情况下，可以设置多组开闭阀15a和排气装置15b。通过设置多组开闭阀15a 和排气装置15b，能够根据附着在喷嘴102上的附着物的粘度等切换被排出的气体200的排 气量。
[0061] 例如，对于粘度较低的附着物，能够经由将排气量较少地设定的排气装置15b来 排出气体200。此外，对于粘度较高的附着物，能够经由将排气量较多地设定的排气装置 15b来排出气体200。这样，能够提高能量效率。
[0062] 回收槽16回收附着物及清洗液201等。
[0063] 回收槽16形成为箱状，经由配管16a与容器12的下表面12b连接。
[0064] 本实施方式的清洗部10具有：清洗喷嘴部11，具有喷射孔11b，该喷射孔lib在清 洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状；以及减压部15,对清洗孔lid的、隔着设 置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
[0065]因此，能够抑制从作为清洗对象的喷嘴102去除的附着物飞散而再次附着到喷嘴 102上。结果，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0066] 此外，在喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间设有间隙g。即，清洗喷 嘴部11的清洗孔lid不密闭。因此，能够通过减压部15将气体200从清洗喷嘴部11高效 地排出。
[0067] 接下来说明浸泡部20。
[0068] 图4是用于例示浸泡部20的示意图。
[0069] 图5是用于例不浸泡槽21的不意截面图。
[0070] 如图4所示，在浸泡部20中设有浸泡槽21、收纳部22、送液部23、流量控制部24 及废液部25。
[0071] 如图5所示，浸泡槽21具有清洗槽21a和回收槽21b。
[0072] 通过将作为清洗对象的喷嘴102的前端部分插入清洗槽21a的内部，进行附着物 的溶解及去除。
[0073] 清洗槽2la形成为有底的圆筒状。在清洗槽2la的底面开口有供给孔2lal。供给 孔21al经由流量控制部24与收纳部22连接。清洗槽21a的上端位置比回收槽21b的上 端位置高。因此，能够使从清洗槽21a的底面侧供给的清洗液201从清洗槽21a的上端侧 溢出，从而流入设置于下方的回收槽21b的内部。这样，能够始终使新的清洗液201与喷嘴 102接触。
[0074] 回收槽21b形成为有底的圆筒状。在回收槽21b的内部设置清洗槽21a。回收槽 21b与废液部25连接，从清洗槽21a流入回收槽21b的内部的清洗液201被送入废液部25。
[0075] 收纳部22收纳清洗液201。
[0076] 清洗液201没有特别限定，可以根据附着物的材质来适当选择。例如，附着物为防 蚀刻剂的情况下，清洗液201可以采用包含酮系溶剂或酒精系溶剂等的清洗液。
[0077] 送液部23通过向收纳部22的内部供给气体，将收纳在收纳部22中的清洗液201 朝向浸泡槽21压送。
[0078] 送液部23具有压力控制部23a、开闭阀23b及供给部23c。
[0079] 压力控制部23a对从供给部23c向收纳部22的内部供给的气体的压力进行控制。 从供给部23c供给的气体没有特别限定，例如可以是空气或氮气等。
[0080] 开闭阀23b进行向收纳部22的气体的供给和停止。
[0081] 供给部23c例如可以采用收纳高压气体的槽或工厂配管等。
[0082] 流量控制部24具有流量调节阀24a和开闭阀24b。
[0083] 流量调节阀24a对向清洗槽21a的内部供给的清洗液201的流量进行调节。
[0084] 开闭阀24b进行向清洗槽21a的清洗液201的供给和停止。
[0085] 在本实施方式中，收纳部22、送液部23及流量控制部24成为向清洗槽21a供给清 洗液的清洗液供给部(相当于第2清洗液供给部的一例)。
[0086] 废液部25形成为箱状，收纳从浸泡槽21流出的清洗液201。
[0087] 根据本实施方式的浸泡部20,能够始终使新的清洗液201与作为清洗对象的喷嘴 102接触。因此，能够有效去除或溶解附着在喷嘴102上的附着物。
[0088] 接下来说明擦拭部30。
[0089] 图6A及6B是用于例示擦拭部30的示意图。
[0090] 另外，图6A是图6B中的B-B线截面图，图6B是图6A中的A-A线截面图。
[0091] 如图6A及6B所示，在擦拭部30中设有基台31、支撑部32、引导部33、保持部34、 垫片35、弹性部36、支撑板37、按压板38、布部39、供给部40及卷绕部41。
[0092] 基台31形成为板状，设置在供给部39与卷绕部40之间。
[0093] 支撑部32在基台31的长边方向的两端部分别设置。支撑部32形成为柱状。
[0094] 引导部33设置于支撑部32。引导部33沿支撑部32的轴方向延伸。
[0095] 保持部34保持垫片35,并且沿着引导部33移动。
[0096] 垫片35与布部39的接触有喷嘴102的前端面的一侧的相反侧接触。垫片35形 成为板状，两端部被保持部34保持。垫片35的长边方向与基台31的长边方向相同。
[0097] 弹性部36设置在基台31与垫片35之间，将垫片35朝向布部39施力。弹性部36 例如可以采用压缩弹簧等。
[0098] 支撑板37与布部39的接触有喷嘴102的前端面的一侧的相反侧接触。支撑板37 在与垫片35的长边方向正交的方向上隔着垫片35设置有2个。支撑板37例如被支撑部 32保持。
[0099] 按压板38在2个支撑板37的上方分别设置。即，按压板38隔着布部39与支撑 板37相对置地设置。按压板38被未图示的弹性部朝向支撑板37施力。
[0100] 另外，虽然例示了设置2组支撑板37和按压板38的情况，但是组数可以适当变 更。例如，可以设置1组支撑板37和按压板38,也可以设置3组以上。
[0101] 布部39形成为带状。布部39的一端被供给部40的卷芯40a保持，另一端被卷绕 部41的卷芯41a保持。
[0102] 布部39从供给部40侧的支撑板37与按压板38之间、垫片35的上表面、以及卷 绕部41侧的支撑板37与按压板38之间穿过。
[0103] 通过使作为清洗对象的喷嘴102的前端面与布部39接触，并使喷嘴102的前端面 维持接触状态地在布部39上移动，能够擦拭喷嘴102的前端面。这时，通过弹性部36的作 用，经由垫片35将布部39按压到喷嘴102的前端面。因此，能够维持布部39与喷嘴102 的前端面之间的紧贴性。
[0104] 供给部40保持卷绕有布部39的卷芯40a。此外，卷芯40a设置为能够旋转。
[0105] 卷绕部41保持卷芯41a。此外，通过未图示的驱动装置使卷芯41a旋转而卷绕布 部39。
[0106] 本实施方式的擦拭部30通过支撑板37和按压板38来夹持布部39。因此，即使 被喷嘴102按压而垫片35的位置向下方移动，也能够抑制布部39在供给部40侧和卷绕部 41侧之间挠曲。因此，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0107] 接着，说明喷嘴清洗单元1的作用及本实施方式的喷嘴清洗方法。
[0108] 图7是用于例示喷嘴清洗单元1的作用及喷嘴清洗方法的流程图。
[0109] 如图7所示，首先，将附着有附着物的喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl (步 骤 S1)。
[0110] 例如，通过移动单元105使附着有附着物的喷嘴102移动到清洗喷嘴部11的上 方，接着将喷嘴102的前端部分插入清洗孔lid的插入部lldl。
[0111] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200 (步骤S2)。
[0112] 这时，清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的 一侧的气氛被减压部15减压。即，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0113] 接着，将喷嘴102的前端部分放入清洗液201中（步骤S3)。
[0114] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗槽21a的上方，接着将喷嘴102的 前端部分插入清洗槽21a的清洗液201中。
[0115] 接着，从喷嘴102喷出涂敷液L (步骤S4)。
[0116] 通过将喷嘴102的前端部分放入清洗液201中，在位于喷嘴102的前端部分的涂 敷液L中混入清洗液201。因此，将混入了清洗液201的涂敷液L排出。
[0117] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗喷嘴部11的上方，接着将喷嘴102 的前端部分插入到插入部lldl。然后，从喷嘴102喷出涂敷液L。
[0118] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200 (步骤S5)。
[0119] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0120] 接着，擦拭喷嘴102的前端面(步骤S6)。
[0121] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到擦拭部30的上方，接着使喷嘴102的 前端面与布部39接触，并使喷嘴102的前端面维持接触状态地在布部39上移动，从而擦拭 喷嘴102的前端面。
[0122] 如以上说明，本实施方式的喷嘴清洗方法可以具备以下的工序。
[0123] 从喷射孔lib向喷嘴102喷射气体200的工序，该喷射孔lib在供喷嘴102插入 的清洗孔lid的内壁面上开口为圆环状。
[0124] 对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
[0125] [第2实施方式]
[0126] 图8是用于例示第2实施方式的喷嘴清洗单元51的示意图。
[0127] 另外，在图8中，作为一例，还一并画出了具备作为清洗对象的喷嘴102的涂敷装 置 100。
[0128] 图9是用于例示清洗部60的示意图。
[0129] 图10是用于例示清洗喷嘴部61的示意截面图。
[0130] 如图8所示，在喷嘴清洗单元51中设有清洗部60及擦拭部30。
[0131] 如图9所示，在清洗部60中设有清洗喷嘴部61、容器12、连接部13、气体供给部 14、减压部15、清洗液供给部70 (相当于第1清洗液供给部的一例）及回收槽16。
[0132] 在清洗液供给部70中设有收纳部22、送液部23及流量控制部24。
[0133] 送液部23通过向收纳部22的内部供给气体，将收纳在收纳部22中的清洗液201 朝向清洗喷嘴部61压送。
[0134] S卩，清洗液供给部70向喷射孔61a (相当于第2喷射孔的一例）供给清洗液201。
[0135] 如图10所示，清洗喷嘴部61具有主体部11a、喷射孔lib、供给孔11c、清洗孔lid、 喷射孔61a及供给孔61b。
[0136] 喷射孔61a在清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状。因此，能够遍及 插入到插入部lldl的喷嘴102的前端部分的整周喷射清洗液201。
[0137] 供给孔61b的一个端部在主体部11a的外壁面开口，另一个端部与喷射孔61a连 接。
[0138] 供给孔61b与清洗液供给部70连接。
[0139] S卩，在喷嘴清洗单元51中不设置浸泡部20。取代于此，设有清洗液供给部70,在 清洗喷嘴部61的插入部lldl，向喷嘴102的前端部分喷射清洗液201。
[0140] 另外，喷射的清洗液201经由容器12流入回收槽16。
[0141] 本实施方式的清洗部60具有清洗喷嘴部61和前述的减压部15,该清洗喷嘴部61 具有在清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状的喷射孔lib和喷射孔61a。
[0142] 因此，能够抑制从作为清洗对象的喷嘴102去除的附着物飞散而再次附着到喷嘴 102上。结果，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0143] 此外，在喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间设有间隙g。即，清洗喷 嘴部61的清洗孔lid不密闭。因此，能够通过减压部15将气体200从清洗喷嘴部61高效 地排出。
[0144] 此外，对喷嘴102进行清洗时，有时在清洗孔lid的内部附着有附着物。在清洗孔 lid的内部附着有附着物的情况下，能够从喷射孔61a喷射清洗液201而对清洗孔lid的内 部进行清洗。
[0145] 接着，说明喷嘴清洗单元51的作用及本实施方式的喷嘴清洗方法。
[0146] 图11A至11E是用于例示喷嘴清洗单元51的作用及喷嘴清洗方法的示意工序图。
[0147] 首先，如图11A所示，将附着有附着物的喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl (步骤S11)。
[0148] 例如，通过移动单元105使附着有附着物的喷嘴102移动到清洗喷嘴部61的上 方，接着将喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl。
[0149] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0150] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0151] 接着，如图11B所示，从喷射孔61a向喷嘴102的前端部分喷射清洗液201 (步骤 S12)。
[0152] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。这样，能够抑制清洗液201 从插入部lldl的开口 lld3向外部泄露。
[0153] 接着，如图11C所示，从喷嘴102喷出涂敷液L (步骤S13)。
[0154] 向喷嘴102的前端部分喷射了清洗液201时，有时会在位于喷嘴102的前端部分 的涂敷液L中混入清洗液201。因此，将可能混入有清洗液201的涂敷液L排出。
[0155] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0156] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0157] 接着，如图11D所示，擦拭喷嘴102的前端面(步骤S14)。例如，通过移动单元105 使喷嘴102移动到擦拭部30的上方，接着使喷嘴102的前端面与布部39接触，并使喷嘴 102的前端面维持接触状态地在布部39上移动，从而擦拭喷嘴102的前端面。
[0158] 接着，如图11E所示，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0159] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗喷嘴部61的上方，接着将喷嘴102 的前端部分插入到插入部lldl。
[0160] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0161] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0162] 通过从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200,使喷嘴102的前端部分干 燥。
[0163] 如以上示例的那样，本实施方式的喷嘴清洗方法可以具备以下的工序。
[0164] 从喷射孔lib向喷嘴102喷射气体200的工序，该喷射孔lib在供喷嘴102插入 的清洗孔lid的内壁面开口为圆环状。
[0165] 对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
[0166] 从喷射孔61a向喷嘴102喷射清洗液201的工序，该喷射孔61a在供喷嘴102插 入的清洗孔lid的内壁面开口为圆环状。
[0167] 以上说明了本发明的若干实施方式，但是这些实施方式只是作为例子提示，不意 图限定发明的范围。这些新的实施方式能够通过其他各种方式来实施，在不脱离发明的主 旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围及 主旨中，也包含在权利要求书所记载的发明及其等同范围内。
【权利要求】
1. 一种喷嘴清洗单元，其中，具备： 清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的插入部的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔； 气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及 减压部，对所述插入部的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧 相反的一侧的气氛进行减压。
2. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述清洗喷嘴部还具有在所述插入部的内壁面开口为圆环状的第2喷射孔， 所述喷嘴清洗单元还具备向所述第2喷射孔供给清洗液的第1清洗液供给部。
3. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述喷嘴清洗单元还具备浸泡部，该浸泡部具有： 浸泡槽，供所述喷嘴插入；以及 第2清洗液供给部，向所述浸泡槽供给清洗液。
4. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述喷嘴清洗单元还具备擦拭部，该擦拭部具有： 布部，与所述喷嘴的前端面接触； 垫片，与所述布部的接触有所述喷嘴的前端面的一侧的相反侧接触； 弹性部，将所述垫片朝向所述布部施力； 支撑板，与所述布部的接触有所述喷嘴的前端面的一侧的相反侧接触；以及 按压板，隔着所述布部与所述支撑板对置地设置。
5. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述清洗喷嘴部具有排出部，该排出部与所述插入部连接，具有比所述插入部的截面 尺寸大的截面尺寸。
6. 如权利要求5所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述第1喷射孔朝向所述排出部的一侧倾斜。
7. 如权利要求5所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备形成为箱状的容器， 在所述容器的上表面连接着所述排出部和所述减压部。
8. 如权利要求7所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备回收槽，该回收槽与所述容器的下表面连接。
9. 如权利要求7所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备连接部，该连接部具有挠性，将所述容器的上表面和所述排出部连接。
10. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备压力控制部，该压力控制部对向所述第1喷射孔供给的气体的压力进行控制。
11. 如权利要求10所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备开闭阀，该开闭阀对向所述第1喷射孔供给的气体的供给和停止进行控制。
12. 如权利要求11所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述压力控制部和所述开闭阀设有多组。
13. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述减压部具有多组开闭阀和排气装置。
14. 如权利要求4所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述擦拭部还具有供给部和卷绕部， 所述布部的一端被所述供给部的卷芯保持，另一端被所述卷绕部的卷芯保持。
15. -种喷嘴清洗方法，其中，包括以下工序： 从第1喷射孔向所述喷嘴喷射气体的工序，该第1喷射孔在供喷嘴插入的插入部的内 壁面开口为圆环状；以及 对所述插入部的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
16. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括从第2喷射孔向所述喷嘴喷射清洗液的工序，该第2喷射孔在所述插入部的内 壁面开口为圆环状。
17. 如权利要求16所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的内部的混入了所述清洗液的涂敷液喷出的工序。
18. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括将所述喷嘴插入到浸泡槽中的清洗液的工序。
19. 如权利要求18所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的内部的混入了所述清洗液的涂敷液喷出的工序。
20. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的前端面与布部接触、并使所述喷嘴的前端面维持接触状态地在所 述布部上移动的工序。
【文档编号】B05B15/02GK104056748SQ201410082149
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2013年3月21日
【发明者】大城健一, 佐藤强, 小林浩秋 申请人:株式会社东芝
【专利摘要】本发明涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。一实施方式的喷嘴清洗单元具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对供所述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
【专利说明】喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法
[0001] 本申请以2013年3月21日在先提出的日本专利申请第2013-0059141号为基础 并要求其优先权，其全部内容通过引用包含于此。
【技术领域】
[0002] 在此说明的多个实施方式整体上涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。
【背景技术】
[0003] 有一种喷嘴清洗单元，向作为清洗对象的喷嘴喷射清洗液，然后向喷嘴喷射干燥 用的空气。但是，在密闭的空间中，当喷射清洗液时，从作为清洗对象的喷嘴去除的附着物 可能会飞散而再次附着到喷嘴上。
[0004] 因此，希望开发一种能够有效去除附着在作为清洗对象的喷嘴上的附着物的技 术。
【发明内容】
[0005] 本发明的实施方式提供一种能够有效去除附着在喷嘴上附着物的喷嘴清洗单元 及喷嘴清洗方法。
[0006] 实施方式的喷嘴清洗单元具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开 口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对供所 述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧 的气氛进行减压。
[0007] 根据上述构成，能够有效去除附着在喷嘴上的附着物。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 图1是用于例示第1实施方式的喷嘴清洗单元1的示意图。
[0009] 图2是用于例示清洗部10的示意图。
[0010] 图3是用于例示清洗喷嘴部11的示意截面图。
[0011] 图4是用于例示浸泡部20的示意图。
[0012] 图5是用于例示浸泡槽21的示意截面图。
[0013] 图6A及6B是用于例示擦拭部30的示意图。
[0014] 图7是用于例示喷嘴清洗单元1的作用及喷嘴清洗方法的流程图。
[0015] 图8是用于例示第2实施方式的喷嘴清洗单元51的示意图。
[0016] 图9是用于例示清洗部60的示意图。
[0017] 图10是用于例示清洗喷嘴部61的示意截面图。
[0018] 图11A至11E是用于例示喷嘴清洗单元51的作用及喷嘴清洗方法的示意工序图。
【具体实施方式】
[0019] 以下，参照【专利附图】
【附图说明】实施方式。在各图中，对于同样的构成要素赋予同一符号，并 适当省略详细说明。
[0020] [第1实施方式]
[0021] 图1是用于例示第1实施方式的喷嘴清洗单元1的示意图。另外，在图1中，作为 一例，还一并画出了具备作为清洗对象的喷嘴102的涂敷装置100。
[0022] 首先，对涂敷装置100进行说明。
[0023] 在涂敷装置100中设有载置台101、喷嘴102、涂敷液供给部103、检测部104以及 移动单元105。
[0024] 载置台101保持被载置的基板W。此外，载置台101通过未图示的驱动部在水平面 内旋转。基板W的保持例如可以通过使用未图示的真空泵等实现的吸附来进行。
[0025] 喷嘴102朝向基板W的表面喷出涂敷液L。喷嘴102连续地喷出涂敷液L，将涂敷 液L涂敷到基板W的表面。例如，基板W是半导体芯片等，涂敷液L是防蚀刻液等。
[0026] 涂敷液供给部103经由喷嘴102向基板W的表面供给涂敷液L。涂敷液供给部103 例如可以具备收纳涂敷液L的槽、供给涂敷液L的泵、流量调节阀及开闭阀等。
[0027] 检测部104检测与基板W的表面之间的距离。通过未图示的控制部，基于检测到 的与基板W的表面之间的距离，控制喷嘴102的前端面与基板W的表面之间的距离。检测 部104例如可以采用反射型激光传感器等。
[0028] 移动单元105具有升降部105a和移动部105b。升降部105a保持喷嘴102并使 喷嘴102升降。移动部105b保持升降部105a并使喷嘴102沿着与升降方向正交的方向移 动。移动单元105例如可以采用2轴控制的机器人等。
[0029] 在这样的涂敷装置100中进行涂敷时，有时会在喷嘴102的前端部分附着涂敷液 L。如果在喷嘴102的前端部分附着了涂敷液L，则基板W的表面的涂敷量可能会变得不稳 定。例如，可能会发生附着的涂敷液L加入到基板W侧的涂敷液L而涂敷量变多，或者基板 W侧的涂敷液L被附着的涂敷液L粘走而涂敷量变少。
[0030] 通过设置本实施方式的喷嘴清洗单元1，能够有效地去除附着在喷嘴102的前端 部分的涂敷液L。因此，能够使基板W的表面的涂敷量稳定。
[0031] 接着，回到图1，说明本实施方式的喷嘴清洗单元1。如图1所示，在喷嘴清洗单元 1中设有清洗部10、浸泡部20以及擦拭部30。
[0032] 图2是用于例示清洗部10的示意图。
[0033] 图3是用于例示清洗喷嘴部11的示意截面图。
[0034] 如图2所示，在清洗部10中设有清洗喷嘴部11、容器12、连接部13、气体供给部 14、减压部15及回收槽16。
[0035] 清洗喷嘴部11朝向作为清洗对象的喷嘴102的前端部分喷射气体200。气体200 没有特别限定，例如可以采用空气或氮气等。
[0036] 如图3所示，清洗喷嘴部11具有主体部11a、喷射孔11M相当于第1喷射孔的一 例)、供给孔11c及清洗孔lid。
[0037] 主体部11a形成为圆筒状，具有使中心沿轴方向贯通的清洗孔lid。喷射孔lib在 清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面上开口为圆环状。因此，能够遍及插入到插入部lldl 的喷嘴102的前端部分的整周喷射气体200。
[0038] 此外，喷射孔lib朝向清洗孔lid的排出部lld2侧倾斜。因此，从喷射孔lib喷 射的气体200容易向清洗孔lid的排出部lld2侧流动。
[0039] 供给孔11c的一个端部在主体部11a的外壁面开口，另一个端部与喷射孔lib连 接。
[0040] 供给孔11c与气体供给部14连接。
[0041] 清洗孔lid具有插入部lldl和排出部lld2。
[0042] 插入部lldl的一个端部在主体部11a的端部开口。在插入部lldl的内部，插入 作为清洗对象的喷嘴102的前端部分。插入部lldl的截面尺寸比喷嘴102的前端部分的 截面尺寸大。这种情况下，喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间的间隙g设置 得较小，以使得从喷射孔lib喷射的气体200不易从插入部lldl的开口 lld3向外部泄露。
[0043] 排出部lld2的一个端部与插入部lldl连接，另一个端部在主体部11a的端部开 口。排出部lld2与连接部13连接。
[0044] 为了容易排出从喷射孔lib喷射的气体200,排出部lld2的截面尺寸比插入部 lldl的截面尺寸大。
[0045] 容器12形成为箱状，在上表面12a经由连接部13连接着清洗喷嘴部11的排出部 lld2 侧。
[0046] 此外，在容器12的上表面12a连接着减压部15,在容器12的下表面12b连接着回 收槽16。因此，重量较轻的气体220能够通过减压部15排出，重量较重的附着物或清洗液 201等能够排出到回收槽16。
[0047] 连接部13将清洗喷嘴部11和容器12连接。连接部13例如可以采用蛇腹管等具 有挠性的配管部件。
[0048] 气体供给部14向清洗喷嘴部11供给气体200。
[0049] 在气体供给部14中能够设置供给部14a、压力控制部14b及开闭阀14c。
[0050] 供给部14a例如可以是收纳高压气体200的槽或工厂配管等。
[0051] 压力控制部14b将从供给部14a供给的气体200的压力控制在规定的范围。
[0052] 开闭阀14c对气体200的供给和停止进行控制。
[0053] 这种情况下，可以设置多组压力控制部14b和开闭阀14c。如果设置多组压力控制 部14b和开闭阀14c，则能够根据附着在喷嘴102上的附着物的粘度等来切换喷射的气体 200的流速。
[0054] 例如，对于粘度较低的附着物，能够经由使压力设定变低的压力控制部14b喷射 气体200。此外，对于粘度较高的附着物，能够经由使压力设定变高的压力控制部14b喷射 气体200。这样，能够容易地去除粘度较高的附着物，能够抑制粘度较低的附着物飞散。
[0055] 减压部15对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧 相反的一侧的气氛进行减压。
[0056] 例如，减压部15经由容器12和连接部13从清洗喷嘴部11将气体200排出。
[0057] 在减压部15中可以设置开闭阀15a和排气装置15b。
[0058] 开闭阀15a对气体200的排气和停止进行控制。
[0059] 排气装置15b例如可以采用真空喷射器等。
[0060] 这种情况下，可以设置多组开闭阀15a和排气装置15b。通过设置多组开闭阀15a 和排气装置15b，能够根据附着在喷嘴102上的附着物的粘度等切换被排出的气体200的排 气量。
[0061] 例如，对于粘度较低的附着物，能够经由将排气量较少地设定的排气装置15b来 排出气体200。此外，对于粘度较高的附着物，能够经由将排气量较多地设定的排气装置 15b来排出气体200。这样，能够提高能量效率。
[0062] 回收槽16回收附着物及清洗液201等。
[0063] 回收槽16形成为箱状，经由配管16a与容器12的下表面12b连接。
[0064] 本实施方式的清洗部10具有：清洗喷嘴部11，具有喷射孔11b，该喷射孔lib在清 洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状；以及减压部15,对清洗孔lid的、隔着设 置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
[0065]因此，能够抑制从作为清洗对象的喷嘴102去除的附着物飞散而再次附着到喷嘴 102上。结果，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0066] 此外，在喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间设有间隙g。即，清洗喷 嘴部11的清洗孔lid不密闭。因此，能够通过减压部15将气体200从清洗喷嘴部11高效 地排出。
[0067] 接下来说明浸泡部20。
[0068] 图4是用于例示浸泡部20的示意图。
[0069] 图5是用于例不浸泡槽21的不意截面图。
[0070] 如图4所示，在浸泡部20中设有浸泡槽21、收纳部22、送液部23、流量控制部24 及废液部25。
[0071] 如图5所示，浸泡槽21具有清洗槽21a和回收槽21b。
[0072] 通过将作为清洗对象的喷嘴102的前端部分插入清洗槽21a的内部，进行附着物 的溶解及去除。
[0073] 清洗槽2la形成为有底的圆筒状。在清洗槽2la的底面开口有供给孔2lal。供给 孔21al经由流量控制部24与收纳部22连接。清洗槽21a的上端位置比回收槽21b的上 端位置高。因此，能够使从清洗槽21a的底面侧供给的清洗液201从清洗槽21a的上端侧 溢出，从而流入设置于下方的回收槽21b的内部。这样，能够始终使新的清洗液201与喷嘴 102接触。
[0074] 回收槽21b形成为有底的圆筒状。在回收槽21b的内部设置清洗槽21a。回收槽 21b与废液部25连接，从清洗槽21a流入回收槽21b的内部的清洗液201被送入废液部25。
[0075] 收纳部22收纳清洗液201。
[0076] 清洗液201没有特别限定，可以根据附着物的材质来适当选择。例如，附着物为防 蚀刻剂的情况下，清洗液201可以采用包含酮系溶剂或酒精系溶剂等的清洗液。
[0077] 送液部23通过向收纳部22的内部供给气体，将收纳在收纳部22中的清洗液201 朝向浸泡槽21压送。
[0078] 送液部23具有压力控制部23a、开闭阀23b及供给部23c。
[0079] 压力控制部23a对从供给部23c向收纳部22的内部供给的气体的压力进行控制。 从供给部23c供给的气体没有特别限定，例如可以是空气或氮气等。
[0080] 开闭阀23b进行向收纳部22的气体的供给和停止。
[0081] 供给部23c例如可以采用收纳高压气体的槽或工厂配管等。
[0082] 流量控制部24具有流量调节阀24a和开闭阀24b。
[0083] 流量调节阀24a对向清洗槽21a的内部供给的清洗液201的流量进行调节。
[0084] 开闭阀24b进行向清洗槽21a的清洗液201的供给和停止。
[0085] 在本实施方式中，收纳部22、送液部23及流量控制部24成为向清洗槽21a供给清 洗液的清洗液供给部(相当于第2清洗液供给部的一例)。
[0086] 废液部25形成为箱状，收纳从浸泡槽21流出的清洗液201。
[0087] 根据本实施方式的浸泡部20,能够始终使新的清洗液201与作为清洗对象的喷嘴 102接触。因此，能够有效去除或溶解附着在喷嘴102上的附着物。
[0088] 接下来说明擦拭部30。
[0089] 图6A及6B是用于例示擦拭部30的示意图。
[0090] 另外，图6A是图6B中的B-B线截面图，图6B是图6A中的A-A线截面图。
[0091] 如图6A及6B所示，在擦拭部30中设有基台31、支撑部32、引导部33、保持部34、 垫片35、弹性部36、支撑板37、按压板38、布部39、供给部40及卷绕部41。
[0092] 基台31形成为板状，设置在供给部39与卷绕部40之间。
[0093] 支撑部32在基台31的长边方向的两端部分别设置。支撑部32形成为柱状。
[0094] 引导部33设置于支撑部32。引导部33沿支撑部32的轴方向延伸。
[0095] 保持部34保持垫片35,并且沿着引导部33移动。
[0096] 垫片35与布部39的接触有喷嘴102的前端面的一侧的相反侧接触。垫片35形 成为板状，两端部被保持部34保持。垫片35的长边方向与基台31的长边方向相同。
[0097] 弹性部36设置在基台31与垫片35之间，将垫片35朝向布部39施力。弹性部36 例如可以采用压缩弹簧等。
[0098] 支撑板37与布部39的接触有喷嘴102的前端面的一侧的相反侧接触。支撑板37 在与垫片35的长边方向正交的方向上隔着垫片35设置有2个。支撑板37例如被支撑部 32保持。
[0099] 按压板38在2个支撑板37的上方分别设置。即，按压板38隔着布部39与支撑 板37相对置地设置。按压板38被未图示的弹性部朝向支撑板37施力。
[0100] 另外，虽然例示了设置2组支撑板37和按压板38的情况，但是组数可以适当变 更。例如，可以设置1组支撑板37和按压板38,也可以设置3组以上。
[0101] 布部39形成为带状。布部39的一端被供给部40的卷芯40a保持，另一端被卷绕 部41的卷芯41a保持。
[0102] 布部39从供给部40侧的支撑板37与按压板38之间、垫片35的上表面、以及卷 绕部41侧的支撑板37与按压板38之间穿过。
[0103] 通过使作为清洗对象的喷嘴102的前端面与布部39接触，并使喷嘴102的前端面 维持接触状态地在布部39上移动，能够擦拭喷嘴102的前端面。这时，通过弹性部36的作 用，经由垫片35将布部39按压到喷嘴102的前端面。因此，能够维持布部39与喷嘴102 的前端面之间的紧贴性。
[0104] 供给部40保持卷绕有布部39的卷芯40a。此外，卷芯40a设置为能够旋转。
[0105] 卷绕部41保持卷芯41a。此外，通过未图示的驱动装置使卷芯41a旋转而卷绕布 部39。
[0106] 本实施方式的擦拭部30通过支撑板37和按压板38来夹持布部39。因此，即使 被喷嘴102按压而垫片35的位置向下方移动，也能够抑制布部39在供给部40侧和卷绕部 41侧之间挠曲。因此，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0107] 接着，说明喷嘴清洗单元1的作用及本实施方式的喷嘴清洗方法。
[0108] 图7是用于例示喷嘴清洗单元1的作用及喷嘴清洗方法的流程图。
[0109] 如图7所示，首先，将附着有附着物的喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl (步 骤 S1)。
[0110] 例如，通过移动单元105使附着有附着物的喷嘴102移动到清洗喷嘴部11的上 方，接着将喷嘴102的前端部分插入清洗孔lid的插入部lldl。
[0111] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200 (步骤S2)。
[0112] 这时，清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的 一侧的气氛被减压部15减压。即，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0113] 接着，将喷嘴102的前端部分放入清洗液201中（步骤S3)。
[0114] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗槽21a的上方，接着将喷嘴102的 前端部分插入清洗槽21a的清洗液201中。
[0115] 接着，从喷嘴102喷出涂敷液L (步骤S4)。
[0116] 通过将喷嘴102的前端部分放入清洗液201中，在位于喷嘴102的前端部分的涂 敷液L中混入清洗液201。因此，将混入了清洗液201的涂敷液L排出。
[0117] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗喷嘴部11的上方，接着将喷嘴102 的前端部分插入到插入部lldl。然后，从喷嘴102喷出涂敷液L。
[0118] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200 (步骤S5)。
[0119] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0120] 接着，擦拭喷嘴102的前端面(步骤S6)。
[0121] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到擦拭部30的上方，接着使喷嘴102的 前端面与布部39接触，并使喷嘴102的前端面维持接触状态地在布部39上移动，从而擦拭 喷嘴102的前端面。
[0122] 如以上说明，本实施方式的喷嘴清洗方法可以具备以下的工序。
[0123] 从喷射孔lib向喷嘴102喷射气体200的工序，该喷射孔lib在供喷嘴102插入 的清洗孔lid的内壁面上开口为圆环状。
[0124] 对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
[0125] [第2实施方式]
[0126] 图8是用于例示第2实施方式的喷嘴清洗单元51的示意图。
[0127] 另外，在图8中，作为一例，还一并画出了具备作为清洗对象的喷嘴102的涂敷装 置 100。
[0128] 图9是用于例示清洗部60的示意图。
[0129] 图10是用于例示清洗喷嘴部61的示意截面图。
[0130] 如图8所示，在喷嘴清洗单元51中设有清洗部60及擦拭部30。
[0131] 如图9所示，在清洗部60中设有清洗喷嘴部61、容器12、连接部13、气体供给部 14、减压部15、清洗液供给部70 (相当于第1清洗液供给部的一例）及回收槽16。
[0132] 在清洗液供给部70中设有收纳部22、送液部23及流量控制部24。
[0133] 送液部23通过向收纳部22的内部供给气体，将收纳在收纳部22中的清洗液201 朝向清洗喷嘴部61压送。
[0134] S卩，清洗液供给部70向喷射孔61a (相当于第2喷射孔的一例）供给清洗液201。
[0135] 如图10所示，清洗喷嘴部61具有主体部11a、喷射孔lib、供给孔11c、清洗孔lid、 喷射孔61a及供给孔61b。
[0136] 喷射孔61a在清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状。因此，能够遍及 插入到插入部lldl的喷嘴102的前端部分的整周喷射清洗液201。
[0137] 供给孔61b的一个端部在主体部11a的外壁面开口，另一个端部与喷射孔61a连 接。
[0138] 供给孔61b与清洗液供给部70连接。
[0139] S卩，在喷嘴清洗单元51中不设置浸泡部20。取代于此，设有清洗液供给部70,在 清洗喷嘴部61的插入部lldl，向喷嘴102的前端部分喷射清洗液201。
[0140] 另外，喷射的清洗液201经由容器12流入回收槽16。
[0141] 本实施方式的清洗部60具有清洗喷嘴部61和前述的减压部15,该清洗喷嘴部61 具有在清洗孔lid (插入部lldl)的内壁面开口为圆环状的喷射孔lib和喷射孔61a。
[0142] 因此，能够抑制从作为清洗对象的喷嘴102去除的附着物飞散而再次附着到喷嘴 102上。结果，能够有效去除附着在喷嘴102上的附着物。
[0143] 此外，在喷嘴102的前端部分和插入部lldl的内壁面之间设有间隙g。即，清洗喷 嘴部61的清洗孔lid不密闭。因此，能够通过减压部15将气体200从清洗喷嘴部61高效 地排出。
[0144] 此外，对喷嘴102进行清洗时，有时在清洗孔lid的内部附着有附着物。在清洗孔 lid的内部附着有附着物的情况下，能够从喷射孔61a喷射清洗液201而对清洗孔lid的内 部进行清洗。
[0145] 接着，说明喷嘴清洗单元51的作用及本实施方式的喷嘴清洗方法。
[0146] 图11A至11E是用于例示喷嘴清洗单元51的作用及喷嘴清洗方法的示意工序图。
[0147] 首先，如图11A所示，将附着有附着物的喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl (步骤S11)。
[0148] 例如，通过移动单元105使附着有附着物的喷嘴102移动到清洗喷嘴部61的上 方，接着将喷嘴102的前端部分插入到插入部lldl。
[0149] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0150] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0151] 接着，如图11B所示，从喷射孔61a向喷嘴102的前端部分喷射清洗液201 (步骤 S12)。
[0152] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。这样，能够抑制清洗液201 从插入部lldl的开口 lld3向外部泄露。
[0153] 接着，如图11C所示，从喷嘴102喷出涂敷液L (步骤S13)。
[0154] 向喷嘴102的前端部分喷射了清洗液201时，有时会在位于喷嘴102的前端部分 的涂敷液L中混入清洗液201。因此，将可能混入有清洗液201的涂敷液L排出。
[0155] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0156] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0157] 接着，如图11D所示，擦拭喷嘴102的前端面(步骤S14)。例如，通过移动单元105 使喷嘴102移动到擦拭部30的上方，接着使喷嘴102的前端面与布部39接触，并使喷嘴 102的前端面维持接触状态地在布部39上移动，从而擦拭喷嘴102的前端面。
[0158] 接着，如图11E所示，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0159] 例如，通过移动单元105使喷嘴102移动到清洗喷嘴部61的上方，接着将喷嘴102 的前端部分插入到插入部lldl。
[0160] 接着，从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200。
[0161] 这时，清洗孔lid的排出部lld2侧被减压部15减压。
[0162] 通过从喷射孔lib向喷嘴102的前端部分喷射气体200,使喷嘴102的前端部分干 燥。
[0163] 如以上示例的那样，本实施方式的喷嘴清洗方法可以具备以下的工序。
[0164] 从喷射孔lib向喷嘴102喷射气体200的工序，该喷射孔lib在供喷嘴102插入 的清洗孔lid的内壁面开口为圆环状。
[0165] 对清洗孔lid的、隔着设置有喷射孔lib的位置而与喷嘴102的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
[0166] 从喷射孔61a向喷嘴102喷射清洗液201的工序，该喷射孔61a在供喷嘴102插 入的清洗孔lid的内壁面开口为圆环状。
[0167] 以上说明了本发明的若干实施方式，但是这些实施方式只是作为例子提示，不意 图限定发明的范围。这些新的实施方式能够通过其他各种方式来实施，在不脱离发明的主 旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围及 主旨中，也包含在权利要求书所记载的发明及其等同范围内。
【权利要求】
1. 一种喷嘴清洗单元，其中，具备： 清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的插入部的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔； 气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及 减压部，对所述插入部的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧 相反的一侧的气氛进行减压。
2. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述清洗喷嘴部还具有在所述插入部的内壁面开口为圆环状的第2喷射孔， 所述喷嘴清洗单元还具备向所述第2喷射孔供给清洗液的第1清洗液供给部。
3. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述喷嘴清洗单元还具备浸泡部，该浸泡部具有： 浸泡槽，供所述喷嘴插入；以及 第2清洗液供给部，向所述浸泡槽供给清洗液。
4. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述喷嘴清洗单元还具备擦拭部，该擦拭部具有： 布部，与所述喷嘴的前端面接触； 垫片，与所述布部的接触有所述喷嘴的前端面的一侧的相反侧接触； 弹性部，将所述垫片朝向所述布部施力； 支撑板，与所述布部的接触有所述喷嘴的前端面的一侧的相反侧接触；以及 按压板，隔着所述布部与所述支撑板对置地设置。
5. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述清洗喷嘴部具有排出部，该排出部与所述插入部连接，具有比所述插入部的截面 尺寸大的截面尺寸。
6. 如权利要求5所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述第1喷射孔朝向所述排出部的一侧倾斜。
7. 如权利要求5所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备形成为箱状的容器， 在所述容器的上表面连接着所述排出部和所述减压部。
8. 如权利要求7所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备回收槽，该回收槽与所述容器的下表面连接。
9. 如权利要求7所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备连接部，该连接部具有挠性，将所述容器的上表面和所述排出部连接。
10. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备压力控制部，该压力控制部对向所述第1喷射孔供给的气体的压力进行控制。
11. 如权利要求10所述的喷嘴清洗单元，其中， 还具备开闭阀，该开闭阀对向所述第1喷射孔供给的气体的供给和停止进行控制。
12. 如权利要求11所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述压力控制部和所述开闭阀设有多组。
13. 如权利要求1所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述减压部具有多组开闭阀和排气装置。
14. 如权利要求4所述的喷嘴清洗单元，其中， 所述擦拭部还具有供给部和卷绕部， 所述布部的一端被所述供给部的卷芯保持，另一端被所述卷绕部的卷芯保持。
15. -种喷嘴清洗方法，其中，包括以下工序： 从第1喷射孔向所述喷嘴喷射气体的工序，该第1喷射孔在供喷嘴插入的插入部的内 壁面开口为圆环状；以及 对所述插入部的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一 侧的气氛进行减压的工序。
16. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括从第2喷射孔向所述喷嘴喷射清洗液的工序，该第2喷射孔在所述插入部的内 壁面开口为圆环状。
17. 如权利要求16所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的内部的混入了所述清洗液的涂敷液喷出的工序。
18. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括将所述喷嘴插入到浸泡槽中的清洗液的工序。
19. 如权利要求18所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的内部的混入了所述清洗液的涂敷液喷出的工序。
20. 如权利要求15所述的喷嘴清洗方法，其中， 还包括使所述喷嘴的前端面与布部接触、并使所述喷嘴的前端面维持接触状态地在所 述布部上移动的工序。
【文档编号】B05B15/02GK104056748SQ201410082149
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2013年3月21日
【发明者】大城健一, 佐藤强, 小林浩秋 申请人:株式会社东芝
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