涂胶喷嘴分布装置和方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体匀胶显影设备中涂胶喷嘴的技术领域，具体地说是一种涂胶喷嘴分布装置和方法。
【背景技术】
[0002]目前，半导体晶圆生产过程中，为了达到工艺要求，需要在同一个单元中使用不同种类的光刻胶，这样在有限的空间内会集合多个胶嘴和其所携带的管路系统。在不同胶嘴工作过程中，胶嘴和其所连接的胶管在移动中会合其他胶嘴和胶管发生干扰，会形成系统的颗粒增多和不稳定，影响生产。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种涂胶喷嘴分布装置和方法。该装置在多个喷嘴更换时避免由于胶嘴和其携带的胶管在使用中互相干扰。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种涂胶喷嘴分布装置，包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯及涂胶平台，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯均设置于涂胶平台上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯的相邻两侧，所述喷嘴系统中的各涂胶喷嘴通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯圆心的直线上运动。
[0006]所述喷嘴系统包括多个涂胶喷嘴和胶管，所述胶杯的一侧设有托架，多个涂胶喷嘴依次排列于托架上、并各涂胶喷嘴分别与一个胶管连接，各胶管分别分布于通过胶杯圆心的各直线上。
[0007]所述喷嘴拾取装置包括气爪、电缸I及电缸II，其中电缸II连接于涂胶平台上，所述电缸I连接于电缸II的输出端，电缸I的输出方向与电缸II的输出方向垂直，所述气爪连接在电缸I的输出端、并与涂胶喷嘴相对应。
[0008]多个涂胶喷嘴在同一单元内使用时，与各涂胶喷嘴连接的胶管呈胶杯圆心的放射状分布，各涂胶喷嘴和其所连接的胶管通过喷嘴拾取装置驱动的运动轨迹在通过胶杯圆心的放射线上，形成涂胶路线。
[0009]所述喷嘴拾取装置上的气爪拾取涂胶喷嘴，通过电缸I和电缸II的运动控制使涂胶喷嘴沿着通过胶杯圆心的放射线上运动。
[0010]本发明的优点及有益效果是:
[0011]本发明通过使喷嘴和其所连接的管路以相对于胶杯中心的放射状分布方式和喷嘴拾取装置通过直角坐标系的沿着这个通过胶杯圆心的放射线运动来解决。可以做到多路胶嘴互不干扰，使得系统稳定。
【附图说明】
[0012]图1为本发明中涂胶喷嘴分布装置的立体示意图；
[0013]图2为本发明中涂胶喷嘴分布装置的俯视图；
[0014]图3为本发明中喷嘴拾取装置拾取胶嘴的立体示意图；
[0015]图4为本发明中喷嘴拾取装置拾取胶嘴的主视图。
[0016]其中:1为胶嘴，2为胶管，3为托架，4为胶杯，5为气爪，6为电缸1，7为电缸II。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0018]如图1-2所示，本发明包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯4及涂胶平台8，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯4均设置于涂胶平台8上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯4的相邻两侧，所述喷嘴系统中的涂胶喷嘴I通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯4圆心的直线上运动。
[0019]所述喷嘴系统包括多个涂胶喷嘴I和胶管2，所述胶杯4的一侧设有托架3，多个涂胶喷嘴I依次排列于托架3上、并各涂胶喷嘴I分别与一个胶管2连接，各胶管2分别分布于通过胶杯4圆心的各直线上，形成放射状分布。涂胶喷嘴I相对于喷嘴拾取装置呈直线排列、并靠近胶杯4，胶管2在朝向相反方向。
[0020]所述喷嘴拾取装置包括气爪5、电缸16及电缸117，其中电缸117设置于涂胶平台8上、并输出方向与多个涂胶喷嘴I的排列方向垂直。所述电缸16连接于电缸117的输出端，电缸16的输出方向与电缸117的输出方向垂直,所述气爪5连接在电缸16的输出端、并与涂胶喷嘴I相对应。气爪5由电缸16带动相对于涂胶喷嘴I排列方向平行直线运动，电缸16由电缸117带动相对于涂胶喷嘴I排列方向垂直直线运动，气爪5在电缸16和电缸Π7的共同作用下选取所需涂胶喷嘴I。喷嘴拾取装置通过电缸16和电缸117形成的直角坐标系，使涂胶喷嘴I形成特定的通过胶杯4圆心的直线运动轨迹，控制涂胶喷嘴I运动，使得胶管2跟随涂胶喷嘴I在这条直线上运动。
[0021]如图3、图4所示，本发明涂胶喷嘴的分布方法，多个涂胶喷嘴I在同一单元内使用时，与各涂胶喷嘴I连接的胶管2呈胶杯4圆心的放射状分布，各涂胶喷嘴I和其所连接的胶管2的运动轨迹在通过胶杯4圆心的放射线上运动，形成涂胶路线。
[0022]喷嘴拾取装置拾取涂胶喷嘴1，带动涂胶喷嘴I运动到胶杯4中心涂胶。喷嘴拾取装置上的气爪5拾取涂胶喷嘴1，通过电缸16和电缸117的运动控制使涂胶喷嘴I沿着通过胶杯4圆心的放射线上运动，也就是涂胶喷嘴I和其所连接的胶管2所通过的圆心放射线，通过这个轨迹运动，使得整个系统各个涂胶喷嘴I和其所携带的胶管2互不干扰。
【主权项】
1.一种涂胶喷嘴分布装置，其特征在于:包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯(4)及涂胶平台(8)，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯(4)均设置于涂胶平台(8)上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯(4)的相邻两侧，所述喷嘴系统中的各涂胶喷嘴(I)通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯(4)圆心的直线上运动。
2.按权利要求1所述的涂胶喷嘴分布装置，其特征在于:所述喷嘴系统包括多个涂胶喷嘴(I)和胶管(2)，所述胶杯(4)的一侧设有托架(3)，多个涂胶喷嘴(I)依次排列于托架(3)上、并各涂胶喷嘴(I)分别与一个胶管(2)连接，各胶管(2)分别分布于通过胶杯(4)圆心的各直线上。
3.按权利要求1所述的涂胶喷嘴分布装置，其特征在于:所述喷嘴拾取装置包括气爪(5)、电缸I (6)及电缸II (7)，其中电缸11(7)连接于涂胶平台⑶上，所述电缸I (6)连接于电缸II (7)的输出端，电缸I (6)的输出方向与电缸II (7)的输出方向垂直,所述气爪(5)连接在电缸I (6)的输出端、并与涂胶喷嘴⑴相对应。
4.一种涂胶喷嘴的分布方法，其特征在于:多个涂胶喷嘴(I)在同一单元内使用时，与各涂胶喷嘴连接的胶管(2)呈胶杯(4)圆心的放射状分布，各涂胶喷嘴(I)和其所连接的胶管(2)通过喷嘴拾取装置驱动的运动轨迹在通过胶杯(4)圆心的放射线上，形成涂胶路线。
5.按权利要求4所述的方法，其特征在于:所述喷嘴拾取装置上的气爪(5)拾取涂胶喷嘴(I)，通过电缸I (6)和电缸11(7)的运动控制使涂胶喷嘴(I)沿着通过胶杯(4)圆心的放射线上运动。
【专利摘要】本发明涉及半导体匀胶显影设备中涂胶喷嘴的技术领域，具体地说是一种涂胶喷嘴分布装置和方法。所述装置包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯及涂胶平台，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯均设置于涂胶平台上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯的相邻两侧，所述喷嘴系统中的涂胶喷嘴通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯圆心的直线上运动。本发明多个喷嘴更换时避免由于胶嘴和其携带的胶管在使用中互相干扰。
【IPC分类】G03F7-16
【公开号】CN104597714
【申请号】CN201310526298
【发明人】王阳
【申请人】沈阳芯源微电子设备有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2013年10月30日