一种pecvd工序用的防倾斜小推车的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及晶硅太阳能电池片制备领域，具体地涉及一种PECVD工序用的防倾斜小推车。
【背景技术】
[0002]在晶硅太阳能电池片的制备技术中，通常采用PECVD工艺镀膜。在镀膜工艺中，将经过制绒、扩散、刻蚀工艺的硅片，通过背对背地方式将硅片插入石墨舟中，然后使用小推车将石墨舟运输至设备的上料口，进行PECVD镀膜工艺。在现有技术中，首先将石墨舟置于小推车上，承载石墨舟的平板设置方式有两种，其一是水平方向设置，由此决定了员工采用垂直方式插片，该种方式增加了员工的操作强度，同时增加了硅片报废的比例；其二是通过小推车的设计结构来调整石墨舟的倾斜角度，有利于员工操作，但是在调整石墨舟倾斜角度的过程中，容易出现石墨舟滑落等导致石墨舟破损的现象。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种PECVD工序用的防倾斜小推车，防止员工在使用小推车过程中将小推车倾斜，导致石墨舟的报废。
[0004]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术解决方案是:一种PECVD工序用的防倾斜小推车，包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，石墨舟支撑平板的支架，控制倾斜角度的支架，所述的直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；所述的弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端；所述的下压手柄挡板的上端的宽度A小于挡板的宽度B，通过弹簧和下压手柄挡板控制石墨舟倾斜角度。
[0005]本发明的有益效果是通过使用防倾斜小推车，能防止小推车意外倾斜时自动卡死，很大程度上减少了石墨舟的报废，大大降低了生产成本。
【附图说明】
[0006]图1本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的正视图
图中:1代表支架，2代表下压手柄，3代表石墨舟支撑平板，4代表锥形弹簧固定杆，5代表石墨舟支撑平板的支架
图2本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的侧视图图3本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的防倾斜装置正视图图中:a代表直角固定支架，b代表弹簧，c代表下压手柄挡板，A代表下压手柄挡板的上端宽度，B代表下压手柄挡板宽度
图4本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的防倾斜装置侧视图图5本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的锥形弹簧固定杆的正视图图6本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的锥形弹簧固定杆的侧视图图7本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的控制倾斜角度的支架的正视图图8本发明提供的PECVD工序用的防倾斜小推车的控制倾斜角度的支架的侧视图。
【具体实施方式】
[0007]下面结合附图对本发明提供的技术方案作进一步详细说明。
[0008]在本【具体实施方式】中，一种PECVD工序用的防倾斜小推车主要包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，控制倾斜角度的支架，石墨舟支撑平板的支架。将直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端；下压手柄挡板的上端的宽度A小于挡板的宽度B，通过弹簧和下压手柄挡板控制石墨舟倾斜角度。当石墨舟发生侧滑时，下压手柄挡板阻挡下压手柄继续下滑，并通过弹簧控制下滑距离。当使用过程中不涉及到插片及旋转石墨舟时，将下压手柄挡板插在直角固定支架和石墨舟支撑平板的支架之间，方便且不影响使用。
【主权项】
1.一种PECVD工序用的防倾斜小推车，包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，石墨舟支撑平板的支架，控制倾斜角度的支架，其特征在于:所述的直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；所述的弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端。
【专利摘要】本发明公开了一种PECVD工序用的防倾斜小推车，包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，石墨舟支撑平板的支架，控制倾斜角度的支架，所述的直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；所述的弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端；所述的下压手柄挡板的上端的宽度A小于挡板的宽度B，通过弹簧和下压手柄挡板控制石墨舟倾斜角度。本发明的有益效果是通过使用防倾斜小推车，能防止小推车意外倾斜时自动卡死，很大程度上减少了石墨舟的报废，大大降低了生产成本。
【IPC分类】B62B3/02, H01L31/18
【公开号】CN105711626
【申请号】CN201410715066
【发明人】缪爱群
【申请人】浙江鸿禧能源股份有限公司