专利名称：防尘薄膜组件收纳容器的制作方法
技术领域：
本发明涉及将在半导体部件，印刷基板或者液晶显示装置等的制造中使用的，防尘薄膜贴附于防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件收纳于防尘薄膜组件收纳容器。
背景技术：
LSI以及超LSI等的半导体制造或为液晶显示装置等的制造中，要进行将半导体晶单或者液晶用原板用光进行照射来进行图案的制作的光刻。此时，光掩模或者中间掩模如果有灰尘附着，所述灰尘对光进行吸收，使光弯曲，由此就会使转印的图案变形，边缘不齐，并且基底变黑等的现象发生。所述的作业通常在无尘室中进行，即使如此，也难以使光掩模总是保持清洁，所以，使用透明的防尘薄膜在防尘薄膜组件框架上贴附的防尘薄膜组件。如此，所述防尘薄膜组件在光掩模上载置而进行曝光，异物不在光掩模的表面直接附着，而是在防尘薄膜上附着，所以光刻时，只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜上的异物就与转印无关了。所述的防尘薄膜组件如其本身有异物附着，就会有可能波及到光掩模，所以要求高的清净性。由此，在所述保管以及运送时，要使用防尘薄膜组件收纳容器。作为所述的防尘薄膜组件收纳容器或者防尘 薄膜组件的收纳方法，可以例举下所述专利文献1，2，3中所述之物。具体地说，专利文献I中，记载了一种防尘薄膜组件用容器，其为在硬质树脂制的容器本体的内底部，防尘薄膜组件框架的一个侧面被密接载置，其通过在容器本体的内底部竖直设立多个的支持体，由此从周围将内底部上载置的防尘薄膜组件框架进行支持，进一步，在容器本体上覆盖有开闭自由的硬质树脂制的盖体，并在所述内面具有在所述盖体具有在闭盖时，与内底部上载置的防尘薄膜组件框架的所述一个侧面相接触的相接触部。专利文献2，记载了一种大型防尘薄膜组件的收纳在容器中的方法，其中防尘薄膜组件具有框体，在所述框体的上缘面接着防尘薄膜，所述框体的下缘面涂布粘着材料，为了保护所述粘着材料在框体的粘着材料下面设置保护薄膜，所述收纳容器有盘以及盖，其中，所述大型防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或全部向外侧突起，而形成压边余量，并且所述压边余量通过粘着条，固定，由此将大型防尘薄膜组件收纳在其中。专利文献3，记载了一种防尘薄膜组件收纳容器，包括:防尘薄膜组件载置容器本体；在将防尘薄膜组件盖住的同时，与容器本体相互在周缘部嵌合卡定的盖体；在所述容器本体接合的金属部件；在防尘薄膜组件框架的相互平行的一组的边的各外侧面至少设置I个，共设置3个以上的孔，在这些孔中分别插入同数的框架保持针；对所述框架保持针的位置进行决定的位置决定部件，在该防尘薄膜组件收纳容器中，所述位置决定部件被机械固定在所述金属部件上。专利文献专利文献I日本实公平6— 45965号公报专利文献2日本特开2004- 361647号公报专利文献3日本特许第4391435号公报
专利文献I所述的防尘薄膜组件用容器，为射出成型，有部件少的优点，作为半导体用防尘薄膜组件的收纳而使用。但是，所述防尘薄膜组件用容器，盖体以及容器本体都要高精度成形，不能用于边长为大与500_那样的液晶用防尘薄膜组件的收纳。因为这样的大型的容器难于在真空中进行精度良好地形成，加之容器本身的刚性也难以确保。由此，在容器的处理时以及搬送时容易引起容器的变形，从而容器和防尘薄膜组件框架相磨擦，发生粉尘，从而使品质变差。作为所述的边长超过500_的那样的大型的防尘薄膜组件的收纳容器，如专利文献2所述的那样，使保护光掩模粘着层的衬层的一部向外侧突起，用粘着条将其固定于容器本体，或者如专利文献3所述的那样，在防尘薄膜组件框架外侧面设置的凹部中将针插入，在容器本体上固定，在现有文献中也提出了将防尘薄膜组件在容器本体上确实地固定的方法。但是，专利文献2的那样，将防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或为全部突起于外侧形成的压边余量用粘着条将其在容器本体上贴附固定的场合，所述作业不得不用人工进行，难于在清净的状态下固定在盘上。进一步，在将粘着条剥离取出时，人手接近于防尘薄膜组件框架附近，有异物附着的危险。另一方面，如专利文献3的那样，向防尘薄膜组件框架外侧面的孔中进行针插入拔出使防尘薄膜组件向容器本体装卸的场合，防尘薄膜组件的装卸时，人手不太接近防尘薄膜组件，异物附着少。但是，在将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器进行运送时，有必要对防尘薄膜组件框架外侧面的孔中插入的针的插入位置进行持续维持。为此，可以考虑使用将针进一步用其他的螺钉等的结合装置进行固定的固定装置，或者使针形成有些象锥体而嵌合，用所述摩擦力进行固定的固定装置。但是，用螺钉等的结合装置将针固定的场合，针可以确实用被固定，但是有灰尘发生的危险。另外，将针制成大略锥性，用摩擦力进行固定的场合，将摩擦力调节为适当的大小有困难，可信赖性差。为了对所述课题进行解决，本发明提供了一种防尘薄膜组件收纳容器，其既在容器本体的规定位置处于固定状态的防尘薄膜组件用盖体覆盖以防止异物附着，又在运送中对所述固定状态进行确实的维持，并且在盖体封闭的状态下，将所述固定状态解除后，打开盖体，将防尘薄膜组件的取出。
发明内容
本发明的所述的目的由下列技术方案达成:1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括将贴附有防尘薄膜的防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜组件载置的容器本体；将与所述容器本体在周缘部嵌合卡定的，将所述防尘薄膜组件覆盖的盖体，其特征在于:在所述防尘薄膜组件收纳收纳容器，设置多个防尘薄膜组件固定部，该防尘薄膜组件固定部包括:前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部的状态下可以转动的针；安装于所述容器本体，可以将所述针的前端部从所述防尘薄膜组件框架的凹部拔出地装设所述针的针装设部；在所述盖体上形成的开口部，由此，可以从装在所述容器本体上的所述盖体的外侧，使所述针装设部的所述针转动；所述开口部的闭塞部件，设有将所述针进行保持的针保持装置，由此，安装在所述针装设部，前端部插入所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针按规定角度转动后，所述针的前端部不能从所述凹部拔出或脱落。2.技术方案I所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针保持装置包括，在所述针上形成的突起部；在所述针装设部形成的，在所述针进行规定角度转动后可以与所述突起部卡定的切口部。3.技术方案I所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在将装在所述容器本体上的所述盖体的开口部闭塞的所述闭塞部件上，设置有防止前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针的转动的转动防止部。4.技术方案3所述防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述转动防止部包括，在将所述盖体的开口部闭塞的闭塞板上突起设置的柱状部；在所述柱状部的前端部设置的与所述针的后端部结合的结合部；所述盖体上设置的，对所述柱状部插入的所述开口部的所述闭塞板进行保持的闭塞板保持部。5.技术方案2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针进行30-180度转动后，所述针的突起部和所述针装设部的切口部卡定。6.技术方案1-5中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的前端部设有作为与所述防尘薄膜组件框架相接触时的缓冲部件的弹性体。7.技术方案1-6中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的后端面，设有使所述针的转动用的工具插入的工具用凹部。发明的效果本发明的防尘薄膜组件收纳容器，具有简单的结构，同时可以对将防尘薄膜组件固定在容器的本体的针进行确实的保持，由此，运送中可以防止由于针脱落等而造成的防尘薄膜组件的脱落，并且 收纳的防尘薄膜组件没有破损以及异物附着的危险，可信性高。另夕卜，在从防尘薄膜组件收纳容器将防尘薄膜组件取出时，在盖体装着在容器本体上的状态，将闭塞部件除去，利用盖体的开口部，将针进行规定角度的转动，将其从针装设部卸下，由此防尘薄膜组件的固定状态被解除。由此，可以简单地将固定解除了的防尘薄膜组件从防尘薄膜组件收纳容器本体中取出。如此，用简便的操作，就可以从防尘薄膜组件收纳容器中将防尘薄膜组件取出，同时伴随着取出作业的防尘薄膜组件的异物附着的危险也少。
图1本发明防尘薄膜组件收纳容器的一例的正面图。图2图1表示的防尘薄膜组件收纳容器的X— X面的横截面图。图3图2表示的包括防尘薄膜组件收纳容器10的防尘薄膜组件固定部18的扩大部分截面图。图4图3中的针28的斜视图。图5图3表示针装设部32的斜视图。图6图3表示的作为闭塞板部件的闭塞板40的斜视图。图7图3表示的闭塞板保持部42的斜视图。图8为说明图4中表示针的28的在装设部32上装设的样子的说明斜视图。
图9针28被安装的针装设部32，闭塞板保持部42以及盖体14的相互关系的说明斜视图。图10图9表示的盖体14的闭塞板保持部42上闭塞板40的装设状态的说明斜视图。图11从防尘薄膜组件收纳容器10内针28拔出的状态的说明斜视图。图12利用装设孔的摩擦力对针装设部装设的针进行保持的比较例的斜视图。
具体实施例方式以下，对本具体实施方式
进行详细说明，但是本发明的范围不受它们的限定。本发明中防尘薄膜组件收纳容器的一例用图1进行表示。图1表示的防尘薄膜组件收纳容器10，由长方形状的容器本体12和盖体14构成。所述防尘薄膜组件收纳容器10的容器本体12的中央部，如图1的X — X面的横截面2表示的那样，防尘薄膜组件16被收纳。防尘薄膜组件16，为在长方形状的用铝等的金属制成的防尘薄膜组件框架16a上贴附透明的氟树脂等的防尘薄膜16b而成的。将防尘薄膜组件16载置的容器本体12，如图
2表示的那样，在容器本体12的底部，有突起12a，12a形成而补强。所述的容器本体12和盖体14，是用ABS树脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯树脂)以及丙烯酸等的合成树脂真空成型之物。真空成型方法为，在模具上将加热的树脂片覆盖，仅进行真空吸引就可以容易地成形大型容器。在一处或数处的开口向模具内高速注入树脂的射出成形方法，树脂的流动的距离为过长，大型容器的制造有困难 的倾向。 所述容器本体12和盖体14，如图2表示的那样，所述周缘部嵌合卡定从而一体化。所述的防尘薄膜组件收纳容器10内，如图3表示的那样，介于衬层22和光掩模粘着层24，在容器本体12的中央部载置的防尘薄膜组件16被收纳。所述防尘薄膜组件16，如图1表示的那样，在防尘薄膜组件收纳容器10的长边侧的角部近傍的4个地方设有防尘薄膜组件固定部18，从而被固定。防尘薄膜组件固定部18，如图3表示的那样，包括:针28 ;沿着容器本体12的长边侧形成的平坦面20的角部近傍配置的针装设部32 ;在盖体14形成的开口部14a ;作为将开口部14a闭塞的闭塞部件的闭塞板40 ;对闭塞板40进行保持的闭塞板保持部42。所述的针28，将其前端部插入在容器本体12的规定位置载置的防尘薄膜组件框架16a的侧面形成的凹部26的状态下可以转动。所述针28，在针装设部32上装设，其前端部可以从防尘薄膜组件框架16a的凹部26拔出。如此在针装设部32装设的针28，可以经由盖体14的开口部14a拔出。所述的开口部14a，通过盖体14上装设的闭塞板保持部42保持的闭塞板40而被闭塞。由此，就可以防止防尘薄膜组件收纳容器10内经由开口部14a而进入的灰尘等。所述的闭塞板40的一个侧面，如图3表示的那样，作为防止针装设部32装设的针28的转动的转动防止部，在前端具有与针28的后端的端部凹凸卡定的卡定部的柱状物44被突起设置。针28为，如图4表示的那样，由前端部28a，中间部28b以及后端部28c形成，中间部28b和后端部28c之间，作为针28的保持装置构成的突起部30被形成。突起部30为，形成前端部为尖细状的倾斜面。针28的后端部28c为进行针28转动等的操作部，比前端部28a以及中间部28b粗。所述的后端部28c的端部，作为转动防止部，形成与柱状部44的前端部进行凹凸卡定的凸部28d。进一步，凸部28d的端面，形成针28的转动用的工具插入的工具用凹部36。图4表示的工具用凹部36，为六角扳手的前端部可以插入的六角形。另外，针28的中间部28b，比前端部28a要粗，在针28的前端部28a和中间部28b的境界处有阶梯28e形成。所述阶梯28e与防尘薄膜组件框架16a的侧面相相接触。作为对所述的阶梯28e和防尘薄膜组件框架16a的侧面的接触进行缓和的缓冲部件，在阶梯28e上设置环状的弹性体34。作为弹性体34，可以适用丁腈橡胶，乙烯丙烯橡胶，硅氧烷橡胶，氟橡胶等的橡胶。所述的针28为，由树脂射出成型，传递模塑等的一体成型来进行制作。作为材质，可以使用环氧树脂，ABS树脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂)，PPS树脂，PE树脂(聚乙烯树脂)，PEEK树脂(聚醚醚酮树脂)等，根据必要，优选混入玻璃纤维等的填料等而提高强度。针28为转动可能并且拔出可能地装设的针装设部32，如图3表示的那样，在容器本体12的平坦面20上安装。所述的针装设部32，如图5表示的那样，为四面体，针28的突起部30以及后端部28c插入的U形沟32a的一端在四面体的一个侧面开口。所述U形沟32a的另一端，在四面体的中央部近傍的四角形状的切口部32b的内壁面的一个侧面形成。所述的切口部32b，与针28的突起部30 —起构成针保持装置，针28的中间部28b和后端部28c之间的突起部30以转动可能的方式插入。进一步，切口部32b的内壁面中的与U形沟32a的开口的侧面相对应的另一侧面，针28的前端部28a以及中间部28b的一部分插入的孔32c形成。在所述的针装设部32，拔出可能并且转动可能地装设的针28以规定方向转动，由此针28的突起部30的外周面的一部分和切口部32b的内壁面的一部分相接触，进行卡定保持，使将针28不能从针装设部32中拔出或脱落。针装设部32为，树脂射出成型，传递模塑等一体成型制作的。作为材质，可以使用环氧树脂，ABS树脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂)，PPS树脂，PE树脂(聚乙烯树脂)，PEEK树脂(聚醚醚酮树脂)等。所述的针装设部32，在沿着容器本体12的长边形成的平坦面20的规定地方装设。此时，如后述的图9表示的那样，在针装设部32上将针28装设时，是将作为针28的前端部28a插入防尘薄膜组件框架16a的凹部26。所述的安装，用螺钉等的结合装置进行。作为所述结合装置，是在针装设部32中设置金属的插入部件等中设置内螺纹部，从容器本体12的外侧将螺栓固定，所以在防尘薄膜组件收纳容器10内没有螺钉等的部件露出，这从维持清洁的点来看优越。进一步，优选螺栓固定介于树脂垫片等进行。特别是，在将针装设部32在容器本体12固定后，进一步将树脂部件于树脂部件之间的接线部用有机溶剂等进行溶解，这从防止灰尘发生的点来看，是优选的。在所述的针装设部32如图3表示的那样，转动可能地安装的针28，其后端部28c的端部的凸部28d与在闭塞板40的一个侧面突起设置的柱状部44的前端部凹凸卡定，由此防止针28的转动。所述的柱状部44的前端部，如图6表示的那样，形成口字去掉左边一竖的形状的切口 44a。所述的切口部44a，如图3表示的那样，与针28的凸部28d进行凹凸卡定。优选所述柱状部44的切口部44a和凸部28d，在针28的转动被针装设部32被保持时，如图3表示的那样进行调整，使切口部44a与呈大略水平状态的凸部28d凹凸卡定。图6表示的闭塞板40，被如图7表示的闭塞板保持部42保持。闭塞板保持部42结构是，在插入安装在盖体14的外侧面的安装孔42d，42d中的螺栓等连接装置的板部42a上，凹沟42b形成。所述凹沟42b的底面，与盖体14的开口部14a(图3)连通的贯通孔42c形成。所述的凹沟42b为，图6表示的闭塞板40被插入，此时，在闭塞体40上突起设置的柱状部44插入贯通孔42c。图6表示的柱状部44突起设置的闭塞板40以及图7表示的闭塞板保持部42，可以用不锈钢，铝合金等制作，但是从防止灰尘发生以及与盖体14的密着性的观点来看，优选用ABS树脂(丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂)，PPS树脂，P O M树脂(聚氧亚甲基树脂)，PA树月旨(聚酰胺树脂)等的射出成型，传递模塑或者机械加工而制作。另外，优选闭塞板保持部42在盖体14上，用螺栓，螺帽等的螺钉连接机构，粘结或者两者并用来固定。特别是，优选先用螺栓连接，然后将闭塞板保持部42和盖体14之间隙用溶剂溶解，或者用接着剂充填而使其完全封装。图5所示的针装设部32，如图3表示的那样，在中央部防尘薄膜组件16被载置的容器本体12的平坦面20上被安装。在所述的针装设部32，如图8表示的那样，针28为拔出可能地装设的(图8中，容器本体12的平坦面20的记载被省略)。所述针28的在针装设部32的装设，在盖体14装在容器本体12前进行，如图8表示的那样，所述突起部30在从U形沟32a向切口部32b插入的同时，后端部28c向U形沟32a插入。从针装设部32突起的前端部28a，如图3表示的那样，向在容器本体12载置的防尘薄膜组件框架16a的凹部26插入。此时，针28的阶梯28e，介于环状的弹性体34与防尘薄膜组件框架16a的侧面相接触。图8表示的状态的针28，为前端部28a可以从防尘薄膜组件框架16a的凹部26拔出。由此，按图8表示的箭头的方向将针28转动，将突起部30，如图9表示的那样，与切口部32b的内壁面卡定。由所述的卡定，针28被针装设部32保持，变得不能拔出或脱落，如图3表示的那样，防尘薄膜组件16在防尘薄膜组件收纳容器10的规定位置上固定。另一方面，突起部30和切口部32b的卡定被解除时，针28如图8表示的按箭头相反方向进行转动，突起部30和切口部32b的卡定就可以被解除，可以将针28的前端部28a从防尘薄膜组件框架16a的凹部26拔出。为了使所述的突起部30和切口部32b卡定或解除，针28的转动角从操作性以及卡定的确实性的观点等，优选为30-180度，特别是优选45-90度的范围。所述针28的转动，可以通过向针28的后端面的工具用凹部36中插入六角扳手来进行。如图8表示的那样，在针装设部32将针28保持后，容器本体12装上盖体14覆盖。所述盖体14，如图9表示的那样，通过将螺栓等插入构成闭塞板保持部42的板部42a的安装孔42d，42d而被连接。在板部42a的凹沟42b的底面形成的贯通孔42c与盖体14的开口部14a (图3)连通。所述的贯通孔42c以及开口部14a，如图10表示的那样，通过在闭塞板保持部42的凹沟42b将图6表示的闭塞板40插入而闭塞。通过所述的贯通孔42c以及开口部14a的闭塞，防尘薄膜组件收纳容器10内处于密闭状态。所述闭塞板40向凹沟42b插入时，在闭塞体40突起设置的柱状部44，通过贯通孔42c以及盖体14的开口部14a，如图10表示的那样，所述前端部的切口部44a和针28的凸部28d进行凹凸卡定。通过所述的凹凸卡定，在针装设部32装设的针28成为不能转动，防尘薄膜组件16被收纳固定的防尘薄膜组件收纳容器10在运送等时，针28转动，防尘薄膜组件16的固定解除的危险就会被消除。向图10表示的凹沟42b中插入的闭塞板40，通过粘着条48的贴附，从凹沟42b的脱落可以被确实地防止。
根据图1-图10表示的防尘薄膜组件收纳容器10，用容器本体12上安装的针装设部32，将前端部28a插入容器本体12载置的防尘薄膜组件框架16a的凹部26，针28装设后，通过针28的转动，将防尘薄膜组件16在容器本体12中进行确实固定。接着，将装有闭塞板保持部42的盖体14装在容器本体12后，盖体14的开口部14a以及闭塞板保持部42的贯通孔42c被闭塞板40闭塞，使防尘薄膜组件收纳容器10内处于密闭状态，同时，闭塞板40上突起设置的柱状部44的前端部的切口部44a和针28的后端部28c的凸部28d进行凹凸卡定，从而将针28的转动加以防止。由此，将防尘薄膜组件16收纳的防尘薄膜组件收纳容器10即使进行运送，由于运送中的振动等造成针28的转动就可以得到防止，由此运送中针28为脱落等造成的防尘薄膜组件16的固定脱落就可以得到确实的防止。所述的防尘薄膜组件收纳容器10，密闭状态收纳的防尘薄膜组件16的破损以及异物附着的危险就可以防止，可信性高。另外，从防尘薄膜组件收纳容器10中将防尘薄膜组件16取出时，最初将粘着条48剥离，将闭塞板40从闭塞板保持部42的凹沟42b卸下。此时，闭塞板40上突起设置的柱状部44也从闭塞板保持部42的贯通孔42c以及盖体14的开口部14a拔出，贯通孔42c以及开口部14a被解放。接着，从解放的贯通孔42c以及开口部14a将六角扳手46插入，通过将插入针28的后端面的工具用凹部36的六角扳手46进行规定角度转动，防尘薄膜组件16的固定状态被解除。由此，如图11表示的那样，在盖体14装在容器本体12的状态下，将针28从针装设部32卸下。进一步，打开盖体14，将防尘薄膜组件16从容器本体12取出。由此，在从防尘薄膜组件收纳容器10将防尘薄膜组件16的取出时，防尘薄膜组件16的破损以及异物附着的危险就会被解消，从而可以将防尘薄膜组件16简单取出。图1-图6表示的防尘薄膜组件收纳容器10，通过在所述长边的各角部近傍配置的4个防尘薄膜组件固定部18，将收纳的防尘薄膜组件16进行固定，但是，也可以配置4个以上的防尘薄膜组件固定部18。另外，防尘薄膜组件固定部18的配置，也可以沿着防尘薄膜组件收纳容器10的短边进行配置，沿着长边以及短`边的各边进行配置也可以。另外，作为图6表示的闭塞板40，可以使用前端部具有切口部44a的柱状部44被突起设置之物。但是，在将防尘薄膜组件16收纳的防尘薄膜组件收纳容器10在工场内进行搬送等时，由于该搬送仔细，可以使用没有设置柱状部44的闭塞板40。实施例1以下，对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明的范围不受这些实施例的限定。(实施例1)用防止带电的ABS树脂制的片材，用真空成型法制作图1表示的形状的容器本体12以及盖体14。容器本体12和盖体14，在所述周缘部嵌合卡定，形成图1表示的防尘薄膜组件收纳容器10。在所述的盖体14的各长方向的角部近傍的4个地方使开口部14a形成。所述防尘薄膜组件收纳容器10容器的大小为，外形1005X937mm，高70mm。成形使用的片材为，作为盖体14用透明的5mm之物，容器本体12用黑色的5mm之物进一步，用射出成型，用ABS树脂，将图5表示的针装设部32以及用PPS树脂，制备图4所示的针28。针28由前端部28a，中间部28b，后端部28c形成，中间部28b和后端部28c之间，作为构成针28的保持装直的关起部30被形成。关起部30在如纟而部形成尖细状的倾斜面。针28的后端部28c,具有将针28进行转动等的操作用操作部，比前端部28a以及中间部28b更粗。此后端部28c的端面，具有将针28的转动用的六角扳手的前端部插入的工具用凹部36。所述的针28中间部28b比前端部28a粗，针28的前端部28a和中间部28b的境界上有阶梯28e。所述阶梯28e安装有厚度0.5mm的氟橡胶制的环状的弹性体34。另外，针装设部32为四面体，针28的突起部30以及后端部28c插入的U形沟32a的一端在四面体的一个侧面开口。所述U形沟32a的另一端，四面体的中央部近傍的四角形状的切口部32b的内壁面的一个侧面被开出所述的切口部32b，其与针28的突起部30构成保持装置，针28的中间部28b和后端部28c之间的突起部30被可转动地插入。进一步，在切口部32b的一个内壁面，即与U形沟32a的开口的侧面相对应的另一侧面，形成针28的前端部28a以及中间部28b插通的孔32c。所述的针装设部32的下面侧，设置了黄铜制的插入螺帽(未图示)4个。图6表示的闭塞板40和图7表示的闭塞板保持部42用防止带电的P O M树脂机械加工制作。闭塞板40，有前端部形成切口部44a的柱状部44突起设置。另外，闭塞板保持部42利用板部42a的安装孔42d，42d和盖体14在机械加工中穿设的穿设孔(未图示)将螺栓以及六角螺帽(未图示)进行止动。所述螺帽，在盖体14的内侧设置，螺帽外面以ABS树脂覆盖。螺帽止动后，螺帽周边为了密封性提高和防止变松，用有机溶剂(MEK)溶解接着。进一步，与盖体14的外面相接触的板部42a的相接触面与盖体14之间的间隙用接着剂(商品名；M O S8，小西株式会社)进行充填，以确保密封性。在如此盖体14上安装闭塞板保持部42时，对闭塞板保持部42的凹沟42b的底面用机械加工形成的贯通孔42c以及盖体14的开口部14a进行调整，使它们一致。将如此形成的容器本体12和盖体14搬入10级的无尘室，用界面活性剂和纯水进行良好的洗净后，完全干燥。所述的防尘薄膜组件收纳容器10的制造之外，另行在无尘室中，制作外尺寸910X 750mm,内寸902X 740mm，高7.0mm的防尘薄膜组件16。在所述防尘薄膜组件16为碳钢S45C制的防尘薄膜组件框架16a (厚度5.8_，表面黑色铬电镀)的一个端面，将厚度
3μ m的用氟树脂构成的防尘薄膜16b用硅氧烷粘着剂贴附，并且防尘薄膜组件框架16a的另一端面形成光掩模粘着层24。另外，防尘薄膜组件框架16a的各长边，以860mm之间隔设置2个直径2.5mmX深度1.8mm的凹部26。将所述防尘薄膜组件16在暗室内中的集光灯进行异物检查后，载置于容器本体12的中央部，将图8表示的那样的针28在针装设部32装设，将针28的前端部28a插入对应的防尘薄膜组件框架16a的凹部26内。进一步，将针28转动，针28的突起部30和针装设部32的切口部32b卡定，将针28固定在针装设部32。接着，在将图9表示的那样容器本体12上安装盖体14后，将图6表示的闭塞板40插入图10表示的闭塞板保持部42的凹沟42b。此时，闭塞体40上突起设置的柱状部44，通过贯通孔42c以及盖体14的开口部14a，如图10表示的那样，柱状部44的前端部的切口部44a和针28的凸部28d凹凸卡定。所述的闭塞板40用P VC粘着条48固定在闭塞板保持部42上。进一步，将防尘薄膜组件16收纳的防尘薄膜组件收纳容器10的周缘部用宽35mm的P V C制粘着条(未图示)进行贴附固定后，用聚尿烷制夹子(未图示)在各长边的2个地方安装。然后，最后，将内部清洗的带电防止PE制袋进行2重包装，将其收纳于内部配合有缓冲材料的强化瓦棱纸箱(未图示)。将如此防尘薄膜组件收纳容器10包装的强化瓦棱纸箱，从群马至福网进行了往复的运送测试(群马県□东京用卡车，东京□福R间用飞机)。运送后的防尘薄膜组件收纳容器10搬入无尘室，在容器本体12被盖体14覆盖的状态下对防尘薄膜组件收纳容器10的内部进行确认。针28被装设部32确实地保持，所述前端部28a也在插入防尘薄膜组件框架16a的凹部26的状态下，防尘薄膜组件16被确实地在容器本体12中被固定。在所述的状态下，集光灯照射，对容器本体12上的灰尘发生状况进行确认，防尘薄膜组件固定部18附近以及容器本体12上没有发现异物。进一步，将粘着条48剥离，在将闭塞板40从闭塞板保持部42的凹沟42b卸下的同时，将柱状部44从闭塞板保持部42的贯通孔42c以及盖体14的开口部14a中拔出。接着，从解放的贯通孔42c以及盖体14将六角扳手46插入，在针28的后端面的工具用凹部36中将前端部插入转动，解除针28的突起部30和针装设部32的切口部32b的卡定。进一步，从图11表示的贯通孔42c以及盖体14将针28拔出后，从容器本体12将盖体14拿掉，开封，将防尘薄膜组件16取出。将取出的防尘薄膜组件16放入暗室内，用集光灯来对表面是否附着有异物进行检查。结果，在防尘薄膜组件16上完全没有发现异物，维持了极清洁的状态。(比较例I)制作图12表示的防尘薄膜组件固定部100。构成图12表示的防尘薄膜组件固定部100的针102，由PPS树脂制的圆柱状部件形成，由前端部102a，中间部102b以及后端部102c构成。粗细为，前端部102a <中间部102b <后端部102c的顺序，前端部102a和中间部102b的境界有阶梯形成，装有氟橡胶制的环状的弹性体106。所述的针102上，没有如图5表示的那样，形成在针28上形成的突起部30。所述针102被装设的针装设部104为，由ABS树脂射出成型而形成的。针装设部104为，针28的前端部102a以及中间部102b的一部可以通过，中间部102b的剩余部分以及后端部102c插入的贯通孔108而形成。所述的针装设部104，没有如图5表示的针装设部32那样，形成U形沟32a以及切口部32b。由此，针装设部104中，贯通孔108的内径沿着针102的插入方向逐渐变小，由此插入贯通孔108的针102，通过其外壁面和贯通孔108的内壁面的摩擦力将针28固定。如此图12表示的防尘薄膜组件固定部100，在针装设部104的贯通孔108中，用摩擦力将针102固定。将图12表示的防尘薄膜组件固定部100如实施例1同样，安装于容器本体12。接着，向容器本体12载置的防尘薄膜组件16的防尘薄膜组件框架16a的凹部26，将构成防尘薄膜组件固定部100的针102的前端部102a插入，将防尘薄膜组件16在容器本体12上固定。进一步，在容器本体12上将盖体14覆盖，由此，形成将防尘薄膜组件16收纳的防尘薄膜组件收纳容器10。此后，如实施例1同样，将防尘薄膜组件收纳容器10包装，进行运送实验。运送后的防尘薄膜组件收纳容器10被搬入无尘室，进行内部确认。防尘薄膜组件16还在容器本体12上，但是，4个地方的防尘薄膜组件固定部100中，有I个地方的针102正在要从针装设部104脱出。另外，所述前端部102a也从防尘薄膜组件框架16a的凹部26脱出，前端部102a与防尘薄膜组件框架16a的外面磨擦，附着有直径数十μ m的异物数十个。另外，在该状态下，集光灯照射，对容器本体12上的灰尘发生状况进行确认，结果，正要拔出的防尘薄膜组件固定部100对面的防尘薄膜组件固定部100的周围也看到异物的附着。进一步，针102，戴上聚丁腈制手套的手，将针装设部104仔细地拔出，防尘薄膜组件16被搬入暗室内，用集光灯进行表面附着的异物的检查。结果，防尘薄膜16b上附着有直径10-20μπι程度的异物12个。另外，它们之中，约半数分布在防尘薄膜组件固定部100的周边。产业上的利用可能性本发明的防尘薄膜组件收纳容器，可以作为半导体装置用的防尘薄膜组件收纳容器使用，也可以用于比半导体装置用的防尘薄膜组件大的液晶用的防尘薄膜组件收纳容器。符号的说明10为防尘薄膜组件收纳容器,12为容器本体，12a为突起，14为盖体,14a为开口部，16为防尘薄膜组件，16a为防尘薄膜组件框架，16b为防尘薄膜，18，100为防尘薄膜组件固定部，20为平坦面，22为衬层，24为光掩模粘着层，26为凹部，28，102为针，28a，102a为前端部，28b，102b为中间部，28c，102c为后端部，28d为凸部，28e为阶梯，30为突起部，32，104为针装设部，32a为U形沟，32b为切口部，32c为孔，34，106为弹性体，36为工具用凹部，40为闭塞板,42为闭塞板保持部,42a为板部,42b为凹沟,42c为贯通孔，42d为安装孔，44为柱状部,44a为切口 部,46为六角扳手,48为粘着条，108为贯通孔的。
权利要求
1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括将贴附有防尘薄膜的防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜组件载置的容器本体；将与所述容器本体在周缘部嵌合卡定的，将所述防尘薄膜组件覆盖的盖体，其特征在于: 在所述防尘薄膜组件收纳容器，设置多个防尘薄膜组件固定部，该防尘薄膜组件固定部包括:前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部的状态下可以转动的针；安装于所述容器本体，可以将所述针的前端部从所述防尘薄膜组件框架的凹部拔出地装设所述针的针装设部；在所述盖体上形成的开口部，由此，可以从装在所述容器本体上的所述盖体的外侧，使所述针装设部的所述针转动；所述开口部的闭塞部件，设有将所述针进行保持的针保持装置，由此，安装在所述针装设部，前端部插入所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针按规定角度转动后，所述针的前端部不能从所述凹部拔出。
2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针保持装置包括，在所述针上形成的突起部；在所述针装设部形成的，在所述针进行规定角度转动后可以与所述突起部卡定的切口部。
3.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在将装在所述容器本体上的所述盖体的开口部闭塞的所述闭塞部件上，设置有防止前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针的转动的转动防止部。
4.根据权利要求3所述防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述转动防止部包括，在将所述盖体的开口部闭塞的闭塞板上突起设置的柱状部；在所述柱状部的前端部设置的与所述针的后端部结合的结合部；所述盖体上设置的，对所述柱状部插入的所述开口部的所述闭塞板进行保持的闭塞板保持部。
5.根据权利要求2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针进行30-180度转动后，所述针的突起部和所述针装设部的切口部卡定。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的前端部设有作为与所述防尘薄膜组件框架相接触时的缓冲部件的弹性体。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的后端面，设有使所述针的转动用的工具插入的工具用凹部。
全文摘要
提供一种防尘薄膜组件收纳容器，防尘薄膜组件在容器本体的规定位置固定，用盖体进行覆盖，以防止异物附着，运送中所述固定状态可以确实地被维持，并且所述固定状态可以简单地解除，将防尘薄膜组件取出。该防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件(16)的容器本体(12)和盖体(14)构成，其特征在于设置多个防尘薄膜组件固定部(18)，该固定部(18)包括在防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)，前端部(28a)插入的状态下转动可能的针(28)，在容器本体(12)设置的可以从防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)将前端部(28a)拔出可能地将针(28)装设的针装设部(32)，从装于容器本体(12)的盖体(14)的外侧将针装设部(32)的针(28)转动的盖体(14)的开口部(14a)，开口部(14a)的闭塞板(40)。针装设部(32)具有其装设的针(28)以规定角度转动时，针(28)被保持的突起部(30)和切口部(32b)。
文档编号B65D75/52GK103086071SQ20121042111
公开日2013年5月8日 申请日期2012年10月29日 优先权日2011年10月28日
发明者关原一敏 申请人:信越化学工业株式会社