一种芯片吸嘴的制作方法

文档序号:11599873阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及芯片加工领域,尤其涉及一种芯片吸嘴。一种芯片吸嘴,包括基座,以及设置于基座上的嘴部;所述基座内部设有气道,气道上端口处的基座上设有用于连接真空发生装置的贯串孔,气道下端口处开设在基座的工作端面上;所述基座的工作端面是矩形,嘴部由且仅由沿基座工作端面边缘设置的三条吸嘴壁,三条吸嘴壁的吸附端面齐平,三条吸嘴壁与基座的工作端面之间形成负压腔。该芯片吸嘴采用三条吸嘴壁吸附芯片,具有便于定位吸附、不易压伤芯片和芯片洁净度高的优势。

技术研发人员:范建良;张青;张海洋;成炯;胡高翔
受保护的技术使用者:宁波舜宇光电信息有限公司
文档号码:201621375207
技术研发日:2016.12.14
技术公布日:2017.08.04

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