输送用支架和输送方法与流程

本发明的各种技术方案和实施方式涉及输送用支架和输送方法。

背景技术：

平板显示器基板的母板玻璃基板的尺寸越大，可从一张母板玻璃基板取得的面板的数量越多，因此能够降低成本。因此，近年来，母板玻璃基板日趋大型化。另外，伴随着母板玻璃基板的大型化，用于制造玻璃基板或检查玻璃基板的装置也不断朝大型化发展。

不过，用于制造平板显示器基板等的装置在被生产者制造了之后，被搬运并设置到生产现场。不过，若装置变得大型，则由于大小、重量的关系，难以将一台装置保持原样地输送。

因此，公知有如下技术：通过将装置沿着宽度方向或进深方向分割，将分割出的零部件逐个输送，并在输送目的地进行接合，从而将大型的装置输送到输送目的地。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-73688号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

然而，制造平板显示器基板等的装置大多要求气密性。但是，在将沿着宽度方向或进深方向分割开的装置再次接合了的情况下，难以抑制气密性的降低。因此，沿着宽度方向或进深方向将装置分割来输送并不理想。

另外，也想到将装置沿着上下方向分割，但对于仅沿着上下方向进行了分割而言，虽然通过分割能够抑制装置的重量，但无法缩小装置的宽度、进深的尺寸。因此，导致装置从输送用车辆的车厢露出，难以输送装置。

用于解决问题的方案

本发明的一个技术方案是用于输送能够沿着上下分割的腔室的输送用支架，其具备：中央框架，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架，其在所述中央框架的所述第1方向上的两端沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸；以及多个固定件，其用于将所述腔室固定于所述中央框架。所述腔室被分割成包括所述腔室的顶面的上部零部件和包括所述腔室的底面的下部零部件。所述多个固定件分别将所述上部零部件和所述下部零部件中的至少任一者以所述顶面或所述底面成为沿着所述中央框架的侧面的朝向的方式固定于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面。

发明的效果

采用本发明的各种技术方案和实施方式，能够容易地输送腔室。

附图说明

图1是表示输送用支架的一个例子的图。

图2是表示输送用支架固定到输送用车辆的车厢的状态的一个例子的图。

图3是表示腔室的一个例子的剖视图。

图4是用于说明腔室的装载顺序的一个例子的图。

图5是安装板附近的放大图。

图6是表示上部零部件和下部零部件固定到车厢上的输送用支架的状态的一个例子的图。

图7是表示固定有腔室的下部零部件的状态的输送用支架的一个例子的剖视图。

图8是表示固定有腔室的输送用支架的一个例子的剖视图。

图9是表示固定有腔室的输送用支架的一个例子的俯视图。

图10是表示梯子的拉出状态和收容状态的一个例子的图。

图11是表示使用了输送用支架的腔室的输送顺序的一个例子的流程图。

附图标记说明

10、输送用支架；20、中央框架；21、柱；22、梁；23、斜撑；24、安装板；25、保护垫；26、螺栓；27、吊钩；28、底架；30、侧方框架；31、柱；32、梁；33、斜撑；34、吊钩；35、安装件；36、底架；37、加强件；40、作业用踏板；41、栅栏；50、梯子；51、扶手；52、梯子主体；53、引导件；54、滑动片；60、车厢；70、腔室；71、上部零部件；710、顶面；711、喷头；72、下部零部件；720、底面；721、基座；73、密封构件；7、吊钩。

具体实施方式

在1个实施方式中，本发明的输送用支架是一种用于输送上下可分割的腔室的输送用支架，其具备：中央框架，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架，其在中央框架的第1方向上的两端沿着与第1方向交叉的第2方向延伸；多个固定件，其用于将腔室固定于中央框架。腔室能够被分割成包括腔室的顶面的上部零部件和包括腔室的底面的下部零部件。多个固定件分别将上部零部件和下部零部件中的至少任一者以顶面或底面成为沿着中央框架的侧面的朝向的方式固定于两个侧方框架之间的中央框架的侧面。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，多个固定分别用于将从1个腔室分割出的上部零部件固定于中央框架的一个侧面，将从该1个腔室分割出的下部零部件固定于中央框架的另一个侧面。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，多个固定件的至少一部分设置于中央框架，设置到中央框架的固定件用于将上部零部件的顶面和下部零部件的底面固定于中央框架。

另外，在1个实施方式中，也可以是，本发明的输送用支架还具备设置到中央框架和侧方框架的上方的作业用踏板和包围作业用踏板的防止跌落部。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，在侧方框架设有用于供作业者登上作业用踏板的梯子。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，梯子可收容于侧方框架。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，中央框架具有：多个柱，其沿着上下方向延伸；梁，其沿着第1方向延伸；多个斜撑，其倾斜地设置到多个柱之间。

另外，在本发明的输送用支架的1个实施方式中，也可以是，腔室是fpd(平板显示器，flatpaneldisplay)用的处理腔室、fpd用的输送腔室、或fpd用的加载互锁腔室。

另外，在1个实施方式中，本发明的输送方法是输送上下可分割的腔室的输送方法，其中，该输送方法包括如下工序：设置工序，在该设置工序中，将输送用支架设置于输送用车辆的车厢，该输送用支架具备：中央框架，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架，其在中央框架的第1方向上的两端沿着与第1方向交叉的第2方向延伸；配置工序，在该配置工序中，对于被分割成包括腔室的顶面的上部零部件和包括腔室的底面的下部零部件的腔室，将上部零部件和下部零部件中的至少任一者以顶面或底面成为沿着中央框架的侧面的朝向的方式配置于两个侧方框架之间的中央框架的侧面；固定工序，在该固定工序中，利用设置到输送用支架的多个固定件将上部零部件的顶面和下部零部件的底面中的至少任一者固定于中央框架的侧面；输送工序，在该输送工序中，利用输送用车辆输送被固定到中央框架的侧面的上部零部件和下部零部件中的至少任一者。

另外，在本发明的输送方法的1个实施方式中，也可以是，从1个腔室分割出的上部零部件被多个固定件固定于中央框架的一个侧面，也可以是，从该1个腔室分割出的下部零部件被多个固定件固定于中央框架的另一个侧面。

另外，在本发明的输送方法的1个实施方式中，也可以是，多个固定件的至少一部分设置于中央框架，也可以是，上部零部件的顶面和下部零部件的底面被设置到中央框架的固定件固定于中央框架。

另外，在本发明的输送方法的1个实施方式中，也可以是，在固定工序包括如下工序：将收容到侧方框架的梯子拉出的工序；作业者使用梯子登上作业用踏板的工序，该作业用踏板设置于侧方框架的上方和中央框架的上方，周围由防止跌落用的栅栏包围；通过作业用踏板的上的作业者的作业将腔室的上部零部件的顶面和下部零部件的底面中的至少任一者固定于中央框架的工序；作业者使用梯子从作业区域下来、将梯子收容于侧方框架的工序。

另外，在本发明的输送方法的1个实施方式中，也可以是，腔室是fpd用的处理腔室、fpd用的输送腔室、或fpd用的加载互锁腔室。

以下，基于附图详细地对本发明的输送用支架和输送方法的实施方式进行说明。此外，本发明的输送用支架和输送方法并不被以下的本实施方式限定。

[输送用支架10的结构]

图1是表示输送用支架10的一个例子的图。例如，如图1所示，本实施方式中的输送用支架10具备：中央框架20，其沿着图1的y轴方向延伸；两个侧方框架30，其在中央框架20的y轴方向上的两端沿着x轴方向延伸。在本实施方式中，中央框架20所延伸的方向与各侧方框架30所延伸的方向正交。y轴方向是第1方向的一个例子，x轴方向是第2方向的一个例子。

例如，如图1所示，中央框架20具有：梁22和底架28，其沿着图1的y轴方向延伸；多个柱21，其沿着上下方向、即图1的z轴方向延伸；以及多个斜撑23，其倾斜地设置于多个柱21之间。在柱21的侧面和梁22的侧面设有用于固定随后叙述的腔室的零部件的多个安装板24。通过在柱21之间设置斜撑23，能抑制中央框架20的图1的y轴方向上的变形。

例如，如图1所示，各侧方框架30具有：梁32和底架36，其沿着图1的x轴方向延伸；多个柱31，其沿着上下方向、即图1的z轴方向延伸；以及多个斜撑33，其倾斜地设置于柱31与梁32之间以及柱31与底架36之间。在各侧方框架30的柱31设有用于将输送用支架10固定于输送用车辆的车厢的吊钩34。在各侧方框架30的底架36与中央框架20的底架28之间设有加强件37。通过在沿着y轴方向延伸的中央框架20的两端设置沿着与y轴方向交叉的x轴方向延伸的侧方框架30，能够提高输送用支架10的x轴方向上的强度。

在中央框架20的上部和侧方框架30的上部设有用于作业者进行作业的作业用踏板40。作业用踏板40的周围由用于防止在作业用踏板40上进行作业的作业者跌落的栅栏41包围。栅栏41是防止跌落部的一个例子。

在侧方框架30设有用于作业者登上作业用踏板40的梯子50。另外，在输送用支架10被固定到输送用车辆的车厢的状态下，多个保护垫25被配置于中央框架20的底架28的侧方且是输送用车辆的车厢上。保护垫25对载置到保护垫25上的随后叙述的腔室进行保护，以免于受伤、冲击。

[输送用支架10的固定方法]

图2是表示输送用支架10固定到输送用车辆的车厢60的状态的一个例子的图。输送用支架10被搭载于输送用车辆的车厢60。如图2所示，在侧方框架30的柱31设有多个例如吊环螺栓等吊钩34，例如链条、带等安装件35穿过各吊钩34。并且，通过将安装件35固定于车厢60，从而将输送用支架10固定于输送用车辆的车厢60。

[腔室70的结构]

图3是表示腔室70的一个例子的剖视图。本实施方式中的腔室70具有上部零部件71和下部零部件72。上部零部件71和下部零部件72能沿着例如图3所示的虚线上下分割。在上部零部件71和下部零部件72被上下分割开的情况下，在上部零部件71的下部和下部零部件72的上部形成有开口。

在上部零部件71和下部零部件72被接合了的状态下，在由上部零部件71和下部零部件72构成的处理空间内设置喷头711和基座721等。在上部零部件71与下部零部件72之间的接合面配置有例如o形密封圈等密封构件73。由于腔室70被上下分割，因此，在上部零部件71和下部零部件72被接合了的情况下，上部零部件71的自重的作用导致密封构件73被压扁，从而能较高地确保处理空间的气密性。此外，以下，将上部零部件71的上表面称为顶面710，将下部零部件72的下表面称为底面720。

本实施方式中的腔室70例如是fpd用的处理腔室。在腔室70设有未图示的输入/输出口，从该输入/输出口输入的作为处理对象的玻璃基板被载置于基座721上。然后，输入/输出口被关闭，处理空间内被真空排气，从喷头711向处理空间内供给处理气体。然后，例如，对喷头711与基座721之间施加预定频率的高频电力，在处理空间内生成处理气体的等离子体。然后，利用所生成的等离子体对作为处理对象的玻璃基板实施成膜、蚀刻等预定的处理。

在输送腔室70的情况下，腔室70被分割成上部零部件71和下部零部件72。并且，根据需要将喷头711等零部件从上部零部件71卸下，将基座721等零部件从下部零部件72卸下。并且，使用在图1中进行了说明的输送用支架10将上部零部件71和下部零部件72固定于输送用车辆的车厢60来进行输送。

[腔室70的装载方法]

图4是用于说明腔室70的装载顺序的一个例子的图。首先，输送用支架10被装载于输送用车辆的车厢60。然后，穿过侧方框架30的吊钩34的安装件35被固定于车厢60，从而输送用支架10被固定于输送用车辆的车厢60。然后，多个保护垫25被配置于中央框架20的侧方的车厢60上。

接着，在由腔室70分割出的上部零部件71和下部零部件72分别安装吊钩74。然后，上部零部件71使用穿过吊钩74的钢索等被吊机等吊起，例如像图4的箭头所示那样移动，以顶面710成为沿着中央框架20的侧面的朝向的方式配置于侧方框架30之间且是中央框架20的侧方的车厢60上。在本实施方式中，例如，如图4所示，上部零部件71以顶面710朝向中央框架20侧的方式配置于中央框架20的侧方。并且，设置到中央框架20的柱21、梁22的安装板24和上部零部件71的顶面710被螺栓等固定，从而上部零部件71被固定于输送用支架10。安装板24是固定件的一个例子。

同样地，下部零部件72使用穿过吊钩74的钢索等被吊机等吊起，例如像图4的箭头所示那样移动，以底面720成为沿着中央框架20的侧面的朝向的方式配置于侧方框架30之间且是中央框架20的侧方的车厢60上。在本实施方式中，例如，如图4所示，下部零部件72以底面720朝向中央框架20侧的方式配置于中央框架20的侧方。并且，设置于中央框架20的柱21、梁22的安装板24和下部零部件72的底面720被螺栓等固定，从而下部零部件72被固定于输送用支架10。

图5是安装板24附近的放大图。图5中示出下部零部件72固定到设置于中央框架20的梁22的安装板24的状态。例如，如图5所示，螺栓26穿过设于安装板24的贯通孔，下部零部件72的底面720被螺栓26固定于安装板24。对设置到梁22的安装板24固定底面720可由作业用踏板40上的作业者进行。另外，在设置到中央框架20的柱21的安装板24，下部零部件72的底面720也被螺栓26固定。对于上部零部件71的顶面710相对于安装板24的固定也是同样的。

此外，例如，如图5所示，在中央框架20设有多个吊钩27。输送用支架10使用穿过各吊钩27的钢索等被吊机等吊起，被装载于输送用车辆的车厢60。

若图示上部零部件71和下部零部件72固定到输送用支架10的状态，则例如如图6～图9所示。图6是表示上部零部件71和下部零部件72固定到车厢60上的输送用支架10的状态的一个例子的图。图7是表示固定有腔室70的下部零部件72的状态的输送用支架10的一个例子的剖视图。图8是表示固定有腔室70的输送用支架10的一个例子的剖视图。图9是表示固定有腔室70的输送用支架10的一个例子的俯视图。

这样，以上部零部件71的顶面710朝向中央框架20侧的方式将上部零部件71配置于中央框架20的侧方，以下部零部件72的底面720朝向中央框架20侧的方式将下部零部件72配置于中央框架20的侧方，从而能够容易地将上部零部件71和下部零部件72固定于中央框架20。另外，通过以顶面710和底面720朝向中央框架20侧的方式配置上部零部件71和下部零部件72，在将上部零部件71和下部零部件72固定于中央框架20之际，作业者无需接触上部零部件71和下部零部件72的内部。因此，在上部零部件71和下部零部件72的固定作业中，能够防止弄伤、弄脏上部零部件71的内侧和下部零部件72的内侧。

此外，在各安装板24以与上部零部件71和下部零部件72各自的螺纹孔相对应的方式形成有1个或多个贯通孔。由此，即使在配置有上部零部件71和下部零部件72中的任一者的情况下，也能够利用螺栓26将上部零部件71或下部零部件72与安装板24固定。因而，在本实施方式的输送用支架10中，在中央框架20的侧面的哪一侧均能够固定上部零部件71和下部零部件72中的任一者。另外，本实施方式的输送用支架10既可以将两个上部零部件71固定于中央框架20，也可以将两个下部零部件72固定于中央框架20。

上部零部件71和下部零部件72固定到中央框架20的安装板24的状态下的截面例如如图8所示那样。另外，从上面观察上部零部件71和下部零部件72固定到中央框架20的安装板24的状态的图例如如图9所示那样。如图8和图9所示，在上部零部件71和下部零部件72固定到中央框架20的状态下，包括上部零部件71、下部零部件72、以及中央框架20在内的宽度比车厢60的宽度窄。这样，通过上下分割开的腔室70的上部零部件71和下部零部件72横向地装载，能够将包括输送用支架10在内的腔室70整体的宽度抑制在车厢60的宽度以内。因而，通过使用本实施方式的输送用支架10，即使是大型的腔室70，也能够使用输送用车辆来容易地输送。

此外，在本实施方式中，包括中央框架20、上部零部件71以及下部零部件72的装载物整体的宽度是约2米，车厢60的宽度是约2.49米。因而，包括车厢60在内的装载物整体的宽度小于2.5米。在此，在包括车厢60在内的装载物整体的宽度是2.5米以上的情况下，将装载物分解到确保装载物的功能的最小单位是在道路交通法中规定的义务。是所谓的“体量限制”。因此，在包括车厢60在内的装载物整体的宽度超过2.5米的情况下，无法利用1台输送用车辆输送腔室70，输送效率降低。

与此相对，在使用了本实施方式的输送用支架10的输送方法中，包括车厢60在内的装载物整体的宽度小于2.5米，因此，未超过“体量限制”，能够利用1台输送用车辆输送构成1个腔室70的上部零部件71和下部零部件72。因而，能够提高腔室70的输送效率。

另外，设于侧方框架30的梯子50例如如图10所示那样能收容于侧方框架30。图10是表示梯子50的拉出状态和收容状态的一个例子的图。例如，如图10所示，梯子50具有扶手51、梯子主体52、以及引导件53。梯子主体52通过使设于上部的两边的滑动片54沿着引导件53移动，从而能够沿着侧方框架30收容或倾斜地拉出梯子主体52。

例如，如图10的左侧的图所示，通过使梯子主体52的滑动片54沿着引导件53向下方移动，能够拉出梯子主体52。由此，作业者爬上梯子50而能够在作业用踏板40上进行作业。另外，例如，如图10的右侧的图所示，通过使梯子主体52的滑动片54沿着引导件53向上方移动，能够将梯子主体52收容于侧方框架30。由于能够将梯子主体52收容于侧方框架30，因此，能够将上部零部件71和下部零部件72与梯子50一起输送。由此，每次将上部零部件71和下部零部件72固定于输送用支架10或从输送用支架10拆卸都能够节省另外准备梯子的劳力和时间。因此，可迅速地进行上部零部件71和下部零部件72相对于输送用支架10的固定和拆卸。

[输送顺序]

图11是表示使用了输送用支架10的腔室70的输送顺序的一个例子的流程图。

首先，输送用支架10设置于输送用车辆的车厢60(s100)。具体而言，例如，如图2所示，输送用支架10被装载于车厢60，穿过侧方框架30的吊钩34的安装件35被固定于车厢60，从而输送用支架10被设置于输送用车辆的车厢60。并且，多个保护垫25配置于中央框架20的侧方的车厢60上。

接着，由腔室70分割出的上部零部件71和下部零部件72被分别配置于侧方框架30之间且是中央框架20的侧方的车厢60上(s101)。具体而言，例如，如图4所示，上部零部件71和下部零部件72分别使用穿过吊钩74的钢索等被吊机等吊起。并且，上部零部件71以顶面710朝向中央框架20侧的方式、下部零部件72以底面720朝向中央框架20侧的方式分别配置于中央框架20的侧方。

接着，收容于侧方框架30的梯子50被拉出(s102)。具体而言，通过使设于梯子主体52的滑动片54沿着设于侧方框架30的引导件53向下方移动，例如，如图10的左侧的图所示，梯子主体52被拉出。

接着，作业者使用梯子50登上中央框架20和侧方框架30上的作业用踏板40(s103)。然后，作业者在作业用踏板40上使用螺栓26将上部零部件71的顶面710和下部零部件72的底面720分别固定于设置到中央框架20的梁22的安装板24(s104)。

接着，作业者使用在步骤s102拉出来的梯子50从作业用踏板40下来，将梯子50收容于侧方框架30(s105)。具体而言，通过使设于梯子主体52的滑动片54沿着设于侧方框架30的引导件53向上方移动，从而例如如图10的右侧的图所示那样梯子主体52被收容于侧方框架30。

接着，作业者使用螺栓26将上部零部件71的顶面710和下部零部件72的底面720分别固定于设置到中央框架20的柱21的安装板24。然后，固定有上部零部件71和下部零部件72的输送用支架10整体由罩覆盖(s106)。然后，固定有输送用支架10的车厢60被输送用车辆牵引，腔室70被输送(s107)。

以上，对输送用支架10和输送方法的实施方式进行了说明。如根据上述说明明确可知，根据本实施方式的输送用支架10，能够利用1台输送用车辆容易地输送构成1个腔室70的上部零部件71和下部零部件72。因此，能够效率良好地输送腔室70。

[其他]

在上述的实施方式中，构成同一腔室70的上部零部件71和下部零部件72固定到输送用支架10，但本发明的技术并不限于此，也可以是将构成不同的腔室70的上部零部件71和下部零部件72固定到输送用支架10。另外，在输送用支架10上，既可以是构成不同的腔室70的两个上部零部件71固定于输送用支架10的各侧面，也可以是构成不同的腔室70的两个下部零部件72固定于输送用支架10的各侧面。另外，也可以是，仅1个上部零部件71或1个下部零部件72被固定于在输送用支架10的任一者侧面。

另外，在上述的实施方式中，上部零部件71的顶面710和下部零部件72的底面720固定到中央框架20的安装板24，但本发明的技术并不限于此。也可以是，例如，在侧方框架30的柱31、梁32设置安装板24，上部零部件71、下部零部件72的侧面被螺栓26等固定于该安装板24。

另外，在上述的实施方式中，以顶面710朝向中央框架20侧的方式上部零部件71被固定于中央框架20，以底面720朝向中央框架20侧的方式下部零部件72被固定于中央框架20，但只要以顶面710和底面720成为沿着中央框架20的侧面的朝向的方式固定于中央框架20，并不限于上述的固定方法。

例如，既可以以上部零部件71的开口朝向中央框架20侧的方式将上部零部件71固定于输送用支架10，也可以以下部零部件72的开口朝向中央框架20侧的方式将下部零部件72固定于输送用支架10。例如，在侧方框架30的柱31、梁32设置安装板24，上部零部件71的侧面、下部零部件72的侧面被螺栓26固定于该安装板24。这样，以上部零部件71的开口和下部零部件72的开口朝向中央框架20侧的方式将上部零部件71和下部零部件72固定于输送用支架10，从而能够防止在输送过程中弄伤、弄脏上部零部件71和下部零部件72的内侧。

另外，在上述的实施方式中，作为腔室70，以例如fpd用的处理腔室为例进行了说明，但本发明的技术并不限于此。只要是在fpd的制造、检查等中使用的真空腔室，腔室70也可以是fpd用的输送腔室、fpd用的加载互锁腔室等。