移载设备以及移载方法与流程

本发明涉及在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。

背景技术：

作为上述移载设备，例如存在将收纳有基板的盒体(物品)向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。专利文献1的移载设备中，盒体输送单元(第一移载机)将由输送台车单元输送的盒体向设备内输入，盒体移载单元(第二移载机)将由盒体输送单元输入的盒体向腔室输入。或者，盒体移载单元将输入到腔室内的盒体输出，盒体输送单元将由盒体移载单元输送的盒体向输送台车单元移载。

对于由盒体输送单元从输送台车单元移载的盒体，在利用盒体移载单元将该盒体向腔室输入之前，将该盒体载置于在腔室的上方所设置的承接台。同样地，对于由盒体移载单元从腔室输出的盒体，在利用盒体输送单元将该盒体向输送台车单元移载之前，将该盒体载置于承接台。

盒体移载单元从上方对盒体进行把持并使其进行升降移动，由此，将载置于承接台的盒体向腔室输入、或者将从腔室输出的盒体向承接台输入。

专利文献

专利文献1：韩国登记专利第10－1511963号公报

技术实现要素：

但是，如上所述的移载设备中，当在盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间对盒体(物品)进行移载时，需要在移载中途暂时将盒体(物品)载置于承接台的动作。此外，当盒体移载单元(第二移载机)对盒体(物品)进行把持并使其进行升降移动时，盒体(物品)与承接台发生干扰，因此，为了避免与承接台发生干扰，需要使盒体(物品)回旋等动作。因此，存在如下问题，即，盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间的盒体(物品)的移载耗费时间。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够高效地对第一移载机与第二移载机之间的物品进行移载的移载设备，其中，所述第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，所述第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。

本发明所要解决的课题如上所述，接下来，对用于解决该课题的方案进行说明。

即，本发明的移载设备是在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动，其中，具备位置限制装置，该位置限制装置与载置于所述第一移载机的载置面的物品的侧面抵接而对所述物品在所述载置面的位置进行限制，所述第一移载机在其载置面上具备浮动单元，所述浮动单元是将具备物品载置支承用的支承部的活动部托挡支承为相对于固定部在水平方向上移动自如的构造，所述物品支承于所述物品载置支承用的支承部，使得所述活动部能够相对于所述固定部沿水平方向移动、且利用所述位置限制装置对所述物品的位置进行限制，由此在所述载置面上进行物品相对于所述第二移载机的升降位置的定位。

上述结构中，载置于第一移载机的载置面的物品被定位于第二移载机的升降位置。

本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，具备定位机构，该定位机构进行所述第一移载机相对于所述第二移载机的升降位置的定位。

上述结构中，第一移载机被定位于第二移载机的升降位置。

本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，所述物品为在该物品的上部形成有与所述第二移载机卡止的卡止部的近似箱状的结构，并且所述卡止部形成为钩状。

上述结构中，在第一移载机与第二移载机之间对具有钩状的卡止部的近似箱状的物品进行移载。

根据本发明的移载设备，无需借助承接台而能够直接进行第一移载机与第二移载机之间的物品的移载，因此，不需要在移载中途将物品载置于承接台的动作、以及在利用第二移载机使物品进行升降移动时使物品回旋等动作。因此，能够高效地进行第一移载机与第二移载机之间的物品的移载。

附图说明

图1是本发明所涉及的移载设备的俯视图。

图2是上述移载设备的主视图。

图3是上述移载设备的浮动单元(floatingunit)的侧视截面图。

图4是示出上述移载设备的货叉单元将盒体从输送台车输出时的概况的侧视截面图。

图5a是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的侧视图。

图5b是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的俯视图。

图6是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的侧视截面图。

图7a是示出上述移载设备的移载机将盒体从货叉单元输出时的概况的侧视图。

图7b是示出上述移载设备的移载机将盒体从货叉单元输出时的概况的俯视图。

图8是示出上述移载设备的移载机将盒体向蒸镀装置的载物口移载时的概况的主视截面图。

附图标记的说明：

10…移载设备、20…移载机(第二移载机)、25…推动件(位置限制装置)、40…货叉单元(第一移载机)、41a…载置面、50…浮动单元、51…支承部、52…活动部、53…固定部、90…盒体。

具体实施方式

对本发明所涉及的移载设备10进行说明。

如图1及图2所示，移载设备10是附加设置于蒸镀装置80的设备，该蒸镀装置80对作为半导体产品或者液晶显示元件产品的半成品的基板91进行蒸镀处理。移载设备10将收纳有板状体的基板91的盒体90(“物品”的一例)向蒸镀装置80的载物口83移载。对于移载设备10而言，将输入至移载设备10的盒体90向蒸镀装置80的载物口83移载，并且，将从蒸镀装置80的载物口83输出的盒体90向移载设备10的外部输出。

输送至移载设备10中的盒体90由一侧面或者两侧面开口的近似箱状的部件形成。盒体90构成为能够在其内部收纳多个基板91。盒体90在其上部形成有多个与后述的移载机20卡止的凸缘部92(“卡止部”的一例)。凸缘部92由设置成从盒体90的上表面突出的钩状的部件构成。凸缘部92设置于盒体90的上表面的多处部位。

移载设备10附加设置于蒸镀装置80的上方。附加设置有移载设备10的蒸镀装置80的装置整体由装置壳体81覆盖。装置壳体81在其内部具有能够容纳蒸镀装置80的内部空间。装置壳体81在其上部形成有用于将盒体90向内部输送的盒体输入口82。

装置壳体81在其内部空间设置有用于供盒体90载置的载物口83。具体而言，载物口83设置于盒体输入口82的正下方(后述的移载机20的正下方、且是借助移载机20而进行升降的盒体90的升降路径上)。

在移载设备10的侧方且在蒸镀装置80的上方设置有相对于移载设备10而对盒体90进行输送的货叉单元40(“第一移载机”的一例)。即，从蒸镀装置80的上方且从移载设备10的侧方对盒体90进行输入或输出。

如图1所示，货叉单元40供盒体90载置并使该盒体90沿水平方向进行进入或退出移动。货叉单元40将盒体90从沿着台车移动轨道85移动的输送台车86输出，并将输出的盒体90向移载设备10输入。另外，货叉单元40将盒体90从移载设备10输出，并将输出的盒体90向输送台车86移载。

货叉单元40构成为主要包括：货叉41，在其上表面具有用于供盒体90载置的载置面41a；屈伸式臂42，其用于使货叉41沿水平方向进行进入或退出移动；以及回旋台43，其使屈伸式臂42进行回旋。

货叉41由能够供盒体90载置且对其进行移载的近似长方形状的板构成。通过使屈伸式臂42屈伸而使得货叉41相对于输送台车86或者移载设备10(移载机20)进行进入或退出移动。

屈伸式臂42构成为：使一对臂伸长而使得货叉41水平移动至输出输入位置45、或者盒体输出输入位置11，其中，输出输入位置45是用于相对于输送台车86而进行盒体90的输出或输入的位置，盒体输出输入位置11是供移载机20相对于货叉41而对盒体90进行输出或输入的位置。

如图1、图5a以及图5b所示，在货叉41的载置面41a设置有浮动单元50。浮动单元50用于将载置于载置面41a的盒体90托挡支承为在所有水平方向上移动自如。浮动单元50在货叉41的宽度方向(相对于货叉41的进入或退出方向水平地正交的方向)上的两端部以沿着货叉41的长度方向(货叉的进入或退出方向)排列有多个(图1、图5a以及图5b中各2个，合计为4个)的状态而配置于载置面41a上。

如图3所示，浮动单元50收纳于构成货叉41的框体的内部。浮动单元50具有如下构造：具备用于供盒体90载置并对该盒体90进行支承的支承部51的活动部52被托挡支承为相对于固定部53在水平方向上移动自如。浮动单元50构成为：利用以由保持件55将多个转动部件54保持为旋转自如的状态而具备的转动式支承体56，将具备物品载置支承用的支承部51的活动部52托挡支承为相对于固定部53在所有水平方向上移动自如、且在俯视时旋转自如。

转动式支承体56设置成以如下状态而相对于活动部52以及固定部53在所有水平方向上移动自如：使得多个转动部件54位于以朝上的状态配备于固定部53的平坦状的固定部侧接触面形成部件57a、与以朝下的状态配备于活动部52的平坦状的活动部侧接触面形成部件57b之间。

浮动单元50具有：位置固定机构kf，其使得活动部52相对于固定部53的位置在水平方向上固定；以及支承体恢复机构sf，其使得转动式支承体56以相对于固定部53向水平方向上的基准位置恢复的方式移动。

位置固定机构kf为利用由电磁铁58a产生的磁吸引力而将活动部52相对于固定部的水平位置固定的固定机构。位置固定机构kf利用磁力使固定部53侧的电磁铁58a和活动部52侧的强磁性体58b接合，由此使得活动部52的俯视时的位置固定。

支承体恢复机构sf为利用螺旋弹簧59的弹性作用力的弹性施力式的恢复机构。支承体恢复机构sf在圆环状的转动式支承体56的径向外侧沿周向隔开相等间隔地设置有多个按压操作式的螺旋弹簧59，利用以位置固定状态设置于固定部53的弹簧托架59a对螺旋弹簧59的径向外侧进行托挡，并朝向径向内侧对转动式支承体56进行按压操作，由此使得转动式支承体56以向基准位置恢复的方式移动。

如图2及图4所示，货叉41在其长度方向上的端部(货叉41的伸长方向上的前端部)形成有与后述的定位导辊26嵌合的辊嵌合部41b。辊嵌合部41b为沿着货叉41的宽度方向形成的、侧视时呈凹状的长条状的部件。辊嵌合部41b形成为凹状部分朝向下方的状态。

如图1所示，在货叉单元40的两侧设置有用于暂时保管盒体90的缓冲站(bufferstation)95。在缓冲站95设置有用于供盒体90载置的载置台96。

如图1及图2所示，移载设备10在其下部设置有用于将盒体90相对于蒸镀装置80的载物口83而输出的盒体输出口14。盒体输出口14设置成与装置壳体81的盒体输入口82连通。

移载设备10具备：移载机20(“第二移载机”的一例)，其是移载设备10的针对盒体90的输送部；推动件(pusher)25(“位置限制装置”的一例)，其对在货叉单元40的货叉41的载置面41a载置的盒体90的位置进行限制；以及定位导辊26(“定位机构”的一例)，其进行货叉单元40的货叉41相对于移载机20的升降位置的定位。

如图2所示，移载机20将盒体90相对于货叉单元40的货叉41而输出或输入，并使得输出或输入的盒体90在货叉41与蒸镀装置80的载物口83之间进行升降移动。即，对于移载设备10而言，移载机20直接将利用货叉单元40输送的盒体90从货叉单元40输出而不将其暂时载置于承接台等处，并且，移载机20直接将从蒸镀装置80的载物口83输出的盒体90向货叉单元40输入而不将其暂时载置于承接台等处。

移载机20设置于蒸镀装置80的载物口83的上方，并配置于俯视下与蒸镀装置80的载物口83重叠的位置。移载机20将输送至盒体输出输入位置11的盒体90从货叉41输出，或者，将盒体90向移动至盒体输出输入位置11的货叉41输入。移载机20构成为：在蒸镀装置80的上方使得盒体90的上部卡止并使该盒体90沿铅直方向进行升降移动，由此对盒体90进行输送。移载机20构成为主要包括：升降机构21，其用于使盒体90进行升降移动；以及卡止机构24，其用于使得盒体90的上部卡止。

升降机构21利用支承框22a以悬吊的状态对卡止机构24进行支承。升降机构21构成为包括：第一升降部22，其使卡止机构24(盒体90)进行升降移动；以及第二升降部23，其使第一升降部22以及卡止机构24(盒体90)进行升降移动。即，升降机构21通过两个阶段的升降移动而使盒体90升降。

第一升降部22构成为主要包括：支承框22a，其对卡止机构24进行悬吊支承；滚珠丝杠22b，其用于使支承框22a升降；以及第一马达22c，其使滚珠丝杠22b的螺纹轴22d转动。

支承框22a是形成为主视时的倒u字状的框部件。支承框22a在设置于其两端的一对腿部22a将螺纹轴22d支承为能够转动，在架设于一对腿部22a的支承部22b以悬吊的状态对卡止机构24进行支承。滚珠丝杠22b构成为：将螺纹轴22d支承于支承框22a，并且，将螺母22e支承于第二升降部23。第一马达22c设置于支承框22a的两端上部。

第一升降部22构成为：通过第一马达22c的驱动使螺纹轴22d转动，由此使得螺纹轴22d相对于支承于第二升降部23的螺母22e而升降。由此，将螺纹轴22d支承为能够转动的支承框22a进行升降，卡止机构24(盒体90)因该支承框22a的升降而进行升降移动。第一升降部22通过螺纹轴22d的转动而使卡止机构24(盒体90)进行升降移动，因此，能够容易地进行盒体90相对于蒸镀装置80的载物口83的精细的对位。

第二升降部23构成为主要包括：引导体23a，其以能够升降的方式对滚珠丝杠22b的螺母22e进行引导；驱动带23b，其使螺母22e进行升降移动；以及第二马达23c，其用于使驱动带23b转动。

引导体23a由一对长条状的部件构成。驱动带23b以能够转动的方式架设于引导体23a的上端部与下端部之间。第二马达23c设置于引导体23a的下端部。

第二升降部23构成为：第二马达23c进行驱动而使驱动带23b转动，由此使得滚珠丝杠22b的螺母22e进行升降移动。由此，使得对螺母22e进行支承的支承框22a(螺纹轴22d)升降，卡止机构24(盒体90)因该支承框22a的升降而进行升降移动。第二升降部23使引导框23a在沿铅直方向延伸设置的长条状的一对引导体23a之间进行升降移动，由此进行盒体90相对于蒸镀装置80的载物口83的大致的对位。

这样，升降机构21利用第二升降部23使盒体90相对于蒸镀装置80的载物口83下降至大致准确的位置，接下来，利用第一升降部22使盒体90下降至接近蒸镀装置80的载物口83的位置，由此能够进行盒体90相对于蒸镀装置80的载物口83的对位。

如图1及图2所示，卡止机构24被第一升降部22的支承框22a(支承部22b)支承，并且，使得盒体90的上部的凸缘部92卡止。卡止机构24具有在盒体90的卡止时用于使盒体90的凸缘部92卡止于与盒体90对置的那侧的卡止部24a。在与盒体90的凸缘部92相对应的位置设置有多个(图1中为4个)卡止部24a。卡止部24a由能够卡止于凸缘部92的钩状的部件形成。卡止部24a构成为：该钩状的部件能够向规定方向旋转。卡止机构24利用卡止部24a使得凸缘部92卡止而以悬吊的状态对盒体90进行支承。

如图1及图7b所示，推动件25对在货叉单元40的货叉41的载置面41a载置的盒体90的位置进行限制。推动件25与载置于货叉41的盒体90的角部90a(下方角部的侧面)抵接，由此对盒体90在货叉41上的位置进行限制。推动件25配置于与成对的推动件25一同对输送至盒体输出输入位置11的盒体90进行夹持的盒体90的对角位置附近。推动件25具备：推动件主体25a；以及臂部25b，其支承于推动件主体25a、且能够沿水平方向进行进入或退出移动。臂部25b构成为：能够与盒体90的角部90a(下方角部的侧面)抵接。推动件25使臂部25b以与成对的推动件25的臂部25b一同从货叉41上的盒体90的对角位置进行夹持的方式与盒体90的角部90a(下方角部的侧面)抵接，由此将货叉41上的盒体90的位置限制于规定的位置。此处，规定的位置是指：移载机20能够以保持货叉41上的盒体90的姿势的状态而卡止并进行升降的位置(盒体输出输入位置11)。当移载机20将盒体90相对于货叉41而输出或输入时，臂部25b朝向盒体90进行伸长移动而与盒体90的角部90a(下方角部的侧面)抵接。当利用移载机20使盒体90升降时，臂部25b以离开盒体90的方式进行收缩移动而向避开盒体90的升降路径的方向移动。

如图2、图7a以及图7b所示，定位导辊26为设置成在水平方向上相对于货叉单元40的货叉41的进入或退出移动方向正交的长条状的辊。定位导辊26设置于在货叉41移动至盒体输出输入位置11时能够使得货叉41的辊嵌合部41b嵌合的位置。通过使移动至盒体输出输入位置11的货叉41的辊嵌合部41b与定位导辊26嵌合而能够将货叉41定位于利用移载机20相对于货叉41而进行盒体90的输出或输入的位置(盒体输出输入位置11)。定位导辊26根据与辊嵌合部41b的凹状部分的形状相应的辊径而构成。定位导辊26借助支承为能够转动的转动轴而转动。定位导辊26构成为能够借助转动轴而转动，由此，朝向定位导辊26移动的辊嵌合部41b容易被定位导辊26引导并与之嵌合。

接下来，对移载设备10中的盒体90的移载方法进行说明。

如图4所示，当利用输送台车86将盒体90输送至规定的位置时，货叉单元40使屈伸式臂42伸长而使得货叉41相对于输送台车86进行水平移动，由此将输送台车86上的盒体90载置并支承于货叉41上。当盒体90载置于货叉41上时，浮动单元50进行动作(活动部52无法在水平方向上相对于固定部53移动)而使得盒体90形成为无法在货叉41上移动的状态。

如图5a、图5b以及图6所示，当浮动单元50进行动作时，货叉单元40在盒体90载置于货叉41的状态下使屈伸式臂42弯曲，并且使货叉41回旋。此外，货叉单元40使屈伸式臂42伸长而使得货叉41水平移动至移载设备10的盒体输出输入位置11。由此，盒体90被输送至盒体输出输入位置11。

如图6、图7a以及图7b所示，当盒体90被输送至盒体输出输入位置11时，货叉41下降，并且，货叉41的辊嵌合部41b与定位导辊26嵌合。由此，货叉41被定位于盒体输出输入位置11。当货叉41被定位于盒体输出输入位置11时，浮动单元50的动作得以解除(活动部52在水平方向上能够相对于固定部53移动)，盒体90形成为能够在货叉41上移动的状态。接下来，推动件25的臂部25b朝向盒体90进行伸长移动而与盒体90的角部90a抵接。由此，形成为盒体90的一对对角部被一对臂部25b夹持的状态。

推动件25使一对臂部25b彼此进行伸缩移动，由此使得盒体90向四个方向移动。然后，推动件25使盒体90移动至利用移载机20的卡止部24a(卡止机构24)而能够使得盒体90的凸缘部92卡止的位置(盒体输出输入位置11)。即，推动件25使盒体90向四个方向移动而进行盒体90相对于移载机20的升降位置的定位。当利用推动件25完成盒体90的定位时，浮动单元50进行动作(活动部52无法在水平方向上相对于固定部53移动)而使得盒体90形成为无法在货叉41上移动的状态。由此，盒体90被保持于盒体输出输入位置11。

当盒体90保持于盒体输出输入位置11时，移载机20的第二升降部23进行驱动而使得移载机20的卡止机构24下降至盒体90的上方位置。然后，卡止机构24的卡止部24a向规定方向回旋，由此，利用卡止部24a而使得盒体90的凸缘部92卡止。当凸缘部92卡止于卡止部24a时，浮动单元50的动作得以解除(活动部52能够在水平方向上相对于固定部53移动)。由此，形成为能够利用移载机20而使盒体90进行升降移动的状态。

当浮动单元50的动作被解除时，货叉单元40使屈伸式臂42弯曲而使得货叉41水平移动至离开盒体输出输入位置11的位置。另外，推动件25使臂部25b向离开盒体90的方向(避开盒体90的升降路径的方向)进行收缩移动。

当货叉41以及臂部25b移动至离开盒体输出输入位置11的位置时，移载机20的第二升降部23进行驱动，使得盒体90卡止的卡止机构24朝向蒸镀装置80的载物口83下降。具体而言，第二马达23c进行驱动而使得驱动带23b进行动作，驱动带23b进行动作而使得滚珠丝杠22b的螺母22e沿着引导体23a下降。然后，对螺母22e进行支承的支承框22a(螺纹轴22d)下降，卡止机构24(盒体90)因支承框22a的下降而下降至规定位置。

如图8所示，当卡止机构24下降至规定位置时，第二升降部23停止驱动，第一升降部22进行驱动。由此，将卡止于卡止机构24的盒体90向蒸镀装置80的载物口83移载。具体而言，第二马达23c的驱动停止，由此，第一马达22c进行驱动而使得滚珠丝杠22b的螺纹轴22d转动。由此，对螺纹轴22d进行支承的支承框22a下降，卡止机构24(盒体90)因支承框22a的升降而下降。

另一方面，当在蒸镀装置80中针对基板91的处理完毕时，卡止机构24的卡止部24a使得盒体90的凸缘部92卡止。然后，第一马达22c进行驱动而使得滚珠丝杠22b的螺纹轴22d转动。由此，支承框22a上升，卡止机构24与支承框22a的上升相应地上升，从而将盒体90从载物口83输出。当卡止机构24上升至规定位置时，第一马达22c停止驱动，第二马达23c进行驱动。由此，驱动带23b进行动作，通过驱动带23b的动作而使得滚珠丝杠22b的螺母22e沿着引导体23a上升。然后，对螺母22e进行支承的支承框22a(螺纹轴22d)上升，卡止机构24(盒体90)因支承框22a的上升而上升。

当卡止于卡止机构24的盒体90上升至盒体输出输入位置11时，货叉单元40使货叉41水平移动至盒体输出输入位置11。此时，辊嵌合部41b与定位导辊26嵌合。

当货叉41水平移动至盒体输出输入位置11时，第二马达23c进行驱动而使得卡止机构24下降。由此，盒体90下降并载置于货叉41。当盒体90载置于货叉41时，卡止机构24的卡止部24a向规定方向回旋，由此，卡止部24a对凸缘部92的卡止得以解除。当卡止部24对凸缘部92的卡止被解除时，货叉单元40在载置有盒体90的状态下使货叉41上升，从而将辊嵌合部41b与定位导辊26的嵌合解除并使得屈伸式臂42弯曲，并且，使载置有盒体90的货叉41回旋。此外，货叉单元40使屈伸式臂42伸长而使得货叉41水平移动至输送台车86，并将货叉41上的盒体90向输送台车86移载。

如上所述，对于本发明所涉及的移载设备10，无需借助承接台而能够直接进行货叉单元40与移载机20之间的盒体90的移载，因此，不需要在移载中途将盒体90载置于承接台的动作、以及利用移载机20使盒体90进行升降移动时使盒体90回旋等动作。因此，能够高效地进行货叉单元40与移载机20之间的盒体90的移载。另外，由于不需要承接台，所以即便移载设备10被设备壳体覆盖，也能够进行盒体90的移载。

此外，本实施方式中，在移载设备10中移载的物品并不限定于盒体90，只要是能够在货叉单元40与移载机20之间进行移载的物品即可。

本实施方式中，移载机20在利用移载机20的卡止部24a使得盒体90的上部的钩状的凸缘部92卡止的状态下使盒体90进行升降移动，但并不限定于此，例如，移载机20可以在对盒体90的侧面进行把持的状态下使盒体90进行升降移动。

本实施方式中，移载机20通过第一升降部22和第二升降部23的两个阶段的升降移动而使盒体90升降，但并不限定于此，也可以仅通过第一升降部22或第二升降部23中的任一方、即一个阶段的升降移动而使盒体90升降。另外，第一升降部22利用滚珠丝杠22b而使盒体90进行升降，但并不限定于此，也可以通过对安装于卡止机构24的升降带进行卷取以及绕出而使盒体90进行升降。

本实施方式中，浮动单元50在货叉41的宽度方向上的两端部以沿着货叉41的长度方向排列有多个的状态而配置于载置面41a上，不过，只要能够在货叉41上充分对盒体90进行支承即可，浮动单元50的配置位置、个数并未限定。

本实施方式中，支承体恢复机构sf由弹性施力式的恢复机构构成，不过，也可以由磁铁式的恢复机构构成。

本实施方式中，推动件25与盒体90的角部90a抵接而限制盒体90的位置，不过，并不限定于此，只要能够在盒体90的侧面且在抵接时限制盒体90的位置，也可以构成为：使得盒体90的侧面的中央部与推动件25抵接。另外，利用2个推动件25对盒体90的位置进行限制，不过，并不限定于此，也可以利用1个或者3个以上的推动件25对位置进行限制。

本实施方式中，利用作为辊的定位导辊26而进行货叉单元40的货叉41相对于移载机20的升降位置的定位，不过，并不限定于此，只要是能够将货叉41保持于盒体输出输入位置11的结构即可，例如，可以由能够使得货叉41的辊嵌合部41b嵌合的凸状的部件构成。