一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置的制作方法

本实用新型属于硅片承载领域，具体涉及一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置。

背景技术：

硅片进行清洗时需放置于硅片花篮中，相邻的硅片通过隔板隔开，避免清洗过程中硅片发生粘片。在硅片清洗过程中，薄硅片在花篮内通常都是隔槽摆放，25片花篮只能放13片，存在放置效率低、容易发生粘片的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅片专用花篮装置以解决硅片与花篮面接触不易干燥和容易留有水痕的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架、多个定位装置、多个间隔柱，所述多个定位装置设置在支撑框架上用于实现与硅片花篮的连接定位，所述支撑框架包括一中间支架，所述中间支架上设置有所述多个间隔柱，所述多个定位装置和多个间隔柱位于支撑框架的同一侧。

进一步地，所述支撑框架为矩形。

进一步地，所述定位装置数量为四个，分别位于所述支撑框架的边角位置。

进一步地，所述间隔柱为圆柱形。

进一步地，所述间隔柱的数量为24根。

进一步地，所述间隔柱长30mm，直径为3mm。

进一步地，所述多个间隔柱依次均匀排列在中间支架上。

进一步地，所述间隔柱之间的间距为4.76mm。

本实用新型与现有技术相比，其显著优点在于：

本实用新型的高效防黏粘的薄硅片隔片装置可配合设置在硅片花篮上，其上的多个间隔柱正好隔在薄硅片之间，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，同时由于设置多个间隔柱可使得花篮硅片盛放效率提高了一倍，本装置结构简单、体积小、成本低。

附图说明

图1是本实用新型高效防黏粘的薄硅片隔片装置的结构示意图。

图2是本实用新型高效防黏粘的薄硅片隔片装置与花篮配合使用状态图。

图3是间隔柱间隔硅片的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

结合图1-3，一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架2、多个定位装置1、多个间隔柱3，所述多个定位装置1设置在支撑框架2上用于实现与硅片花篮5的连接定位，所述支撑框架2包括一中间支架2-1，所述中间支架2-1上设置有所述多个间隔柱3，所述多个定位装置1和多个间隔柱3位于支撑框架2的同一侧。

优选地，所述支撑框架2为矩形。

优选地，所述定位装置1数量为四个，分别位于所述支撑框架2的边角位置。

优选地，所述间隔柱3为圆柱形。

优选地，所述间隔柱3的数量为24根。

优选地，所述间隔柱3长30mm，直径为3mm。

优选地，所述多个间隔柱3依次均匀排列在中间支架2-1上。

图2示出了本实用新型高效防黏粘的薄硅片隔片装置与花篮5配合使用状态，标椎花篮5上正好有四个点，四个定位装置1可实现与花篮5的连接固定，间隔柱3之间的间距为4.76mm，与花篮5的本身的槽间距一致，把隔片装置安装在花篮上，圆柱体正好隔在每个薄硅片4之间(图3)，由于薄硅片4自身比较软，变形量大，所以在硅片被顶出水面的时候，由于水的拉力，如果没有安装隔片装置，相邻的两片就会在水的拉力作用下使硅片弯曲变形后导致两个硅片之间的表面互相粘在一起，粘在一起的硅片之间留有大量的水而无法干燥，而且很难分开，操作不当还可能导致碎片。

由于现在薄硅片在花篮中都是隔槽摆放，25片的标椎花篮只能摆放13片，这样大大降低了设备的使用效率。使用了该装置，就能满花篮摆放，由原来的13片/篮增加到25片/篮，效率提高到一倍，由于两片硅片之间有3mm圆柱隔开(图3)，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，从而有效的提高了设备的使用效率，而且操作简单。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，包括支撑框架(2)、多个定位装置(1)、多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)设置在支撑框架(2)上用于实现与硅片花篮(5)的连接定位，所述支撑框架(2)包括一中间支架(2-1)，所述中间支架(2-1)上设置有所述多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)和多个间隔柱(3)位于支撑框架(2)的同一侧。

2.根据权利要求1所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述支撑框架(2)为矩形。

3.根据权利要求2所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述定位装置(1)数量为四个，分别位于所述支撑框架(2)的边角位置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)为圆柱形。

5.根据权利要求4所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)的数量为24根。

6.根据权利要求4所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)长30mm，直径为3mm。

7.根据权利要求5或6所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述多个间隔柱(3)依次均匀排列在中间支架(2-1)上。

8.根据权利要求7所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)之间的间距为4.76mm。

技术总结
本实用新型公开了一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架(2)、多个定位装置(1)、多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)设置在支撑框架(2)上用于实现与硅片花篮(5)的连接定位，所述支撑框架(2)包括一中间支架(2‑1)，所述中间支架(2‑1)上设置有所述多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)和多个间隔柱(3)位于支撑框架(2)的同一侧。本实用新型的高效防黏粘的薄硅片隔片装置可配合设置在硅片花篮上，其上的多个间隔柱正好隔在薄硅片之间，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，同时由于设置多个间隔柱可使得花篮硅片盛放效率提高了一倍。

技术研发人员：杨志勇;刘芳亮;田飞
受保护的技术使用者：扬州思普尔科技有限公司
技术研发日：2020.02.25
技术公布日：2020.10.27