倾斜平台及基板传输装置的制作方法

本实用新型有关于一种倾斜平台及基板传输装置，尤其是指一种借由具倾斜角度的平台以使所传输的基板表面的湿式制程的药液能够散逸的倾斜平台及以此倾斜平台制备的基板传输装置。

背景技术：

常见的基板传输装置，通常是由输送线将基板传送至由复数个输送滚轮所组合而成的输送结构上，再借由设置于输送结构附近的机械手臂将基板移动至指定位置，或是由机械手臂截取基板后，将基板提送至另一组传输结构上，而机械手臂虽然能将基板横向或上下移动，但介于机械手臂的需要一步一步的进行动作，并且对于移动基板时的大小也有所限制，因而局限基板传输时的大小，并且在机械手臂移动时需花费过多不必要的时间，进而连带影响了基板传输时的效率；此外，在湿式制程过后仍有许多的蚀刻药液残留在基板表面，严重者将使基板表面发生过度蚀刻的问题产生；因此，如何借由创新的设计，解决药液残留在基板表面而造成危害的缺点，仍是基板传输装置等相关产业的开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。

技术实现要素：

缘是，创作人有鉴于此，并借由其丰富的专业知识及多年的实务经验所辅佐，而加以改良创作一种倾斜平台及以的制备的基板传输装置，其目的在于提供一种借由具倾斜角度的平台以使所传输的基板表面的湿式制程的药液能够散逸的倾斜平台及以此倾斜平台制备的基板传输装置，主要借由在基板传输装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液的残留而对其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传递的基板的产品品质等主要优势。

本实用新型的次一目的在于提供一种倾斜平台，借由倾斜平台上的输送辊及导辊的设计，能够使基板在倾斜时不致于造成滑落破损，使其能有效承载基板并进行传输的作业的优势。

本实用新型的又一目的在于另提供一种基板传输装置，其透过第一升降机构、横移机构及转轴的设计，借此能够稳定的进行上下层的基板传输动作，有效使第一及第二牙叉组件由倾斜自转水平并微调至相对位置后同步上升，据此可提升大面积的基板传输动作等优势。

本实用新型的再一目的在于提供一种基板传输装置，其透过可动滚轮、固定滚轮、平行轨道及垂直轨道的配置设计，借由位于轨道内可移动的可动滚轮，使在移送基板时可以减少大量的位移时间，同时另可以减少运输装置循环移动的时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

为了达到本新型的前揭目的，实用新型人提出一种倾斜平台，适用于一基板传输装置，其中基板传输装置至少包括有一基座，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角。

在本实用新型的一个实施例中，夹角介于3度至10度之间。

在本实用新型的一个实施例中，基座由二长边及二短边所构成。

在本实用新型的一个实施例中，倾斜平台更包含复数个输送辊，各该输送辊沿着该基座的该二长边以不同高度形成该夹角的配置并且平行设置。

在本实用新型的一个实施例中，其中各该输送辊设有复数个导辊。

在本实用新型的一个实施例中，倾斜平台借由一转速以传输至少一基板。

此外，根据本实用新型的目的，本实用新型人提出一种基板传输装置，至少包括有一如上所述的倾斜平台；至少一第一升降机构，设置于该基座上且位于该倾斜平台的一侧部，该第一升降机构至少包括有二第一升降轨道，以及一设置于该第一升降轨道的一端部的第一升降驱动器；以及至少一横移机构，该横移机构设置于该第一升降机构的该第一升降轨道内并与其呈90度配置，且该横移机构包括有至少一横移轨道，以及一设置于该横移轨道的一端部的横移驱动器；至少一第二升降机构，该第二升降机构设置于该横移机构的该横移轨道内并与其呈90度配置，且该第二升降机构与该第一升降机构平行设置，其中，该第二升降机构包括有至少一第二升降轨道，以及一设置于该第二升降轨道的一端部的第二升降驱动器；一第一牙叉组件，设置于该第二升降机构，该第一牙叉组件包括有一嵌入于该第二升降机构的该第二升降轨道的第一转轴；一第二牙叉组件，设置于该横移机构，该第二牙叉组件包括有一嵌入于该横移轨道的第二转轴。

在本实用新型的一个实施例中，其中该第一升降轨道、该横移轨道及该第二升降轨道内各自可进一步设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件，其得以借由升降驱动器驱动叉组件移动的传动组件。

在本实用新型的一个实施例中，该第一牙叉组件更包括一设置于该第一转轴一端的第一牙叉架，以及复数根与该第一牙叉架垂直设置的第一牙叉，且复数个该第一牙叉彼此并列排制而成。

在本实用新型的一个实施例中，该第二牙叉组件更包括一设置于该第二转轴一端的第二牙叉架，以及复数根与该第二牙叉架垂直设置的第二牙叉，且复数个该第二牙叉彼此并列排制而成。

在本实用新型的一个实施例中，倾斜平台借由一转速以传输至少一基板。

在本实用新型的一个实施例中，其中该第一牙叉组件及该第二牙叉组件顶抵基板。

在本实用新型的一个实施例中，进一步由一上层输送机构接收第一牙叉组件及该第二牙叉组件顶抵的基板。

在本实用新型的一个实施例中，其中该横移机构的两侧更进一步设有二导轨，各该导轨内更设有一导轨轨道，该导轨轨道能够使该横移机构嵌入并进行上下滑移。

在本实用新型的一个实施例中，其中第一牙叉组件的第一转轴另一端设置有第二升降机构。

在本实用新型的一个实施例中，其中第二牙叉组件的第二转轴另一端设置有第二升降机构。

此外，根据本实用新型的目的，本实用新型人再提出一种基板传输方法，适用于一如上所述的基板传输装置，其至少包含以下步骤：步骤a：首先，第一牙叉组件及第二牙叉组件在一预备位置待命，且与一倾斜平台平行；步骤b：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则该第一牙叉组件及该第二牙叉组件即往上抬升并与该倾斜平台交错后再持续上升；步骤c：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件完全远离该倾斜平台；步骤d：该第一牙叉组件及该第二牙叉组件由倾斜自转为水平，同时其一牙叉组件透过微调上升或下降至另一牙叉组件的相对位置；步骤e：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件平行后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件向上传输后，当该基板传输远离后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件再同时自转呈垂直，并往两侧分开后再下降，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件下降至该预备位置；以及步骤f：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a至步骤e。

在本实用新型的一个实施例中，其中该步骤d更包含第一牙叉组件透过第二升降机构微调下降至第二牙叉组件的相对位置。

在本实用新型的一个实施例中，其中该步骤d更包含第二牙叉组件透过第二升降机构微调上升至第一牙叉组件的相对位置。

再者，根据本实用新型的目的，本实用新型人另提出一种基板传输装置，至少包括有一如上所述的倾斜平台；其中该基座的二该短边分别设置有一第一支撑壁与一第二支撑壁，该第一支撑壁与该第二支撑壁借由至少一轨道连接，该轨道包括有二平行轨道与复数个垂直轨道，且该基座底部设置有一驱动器；该倾斜平台的该输送辊为复数个固定滚轮，复数个该固定滚轮分别倾斜连接该第一支撑壁与该第二支撑壁之间，且分别于各该些垂直轨道的二侧并靠近下方的平行轨道，其中该些固定滚轮倾斜且相互平行设置而形成该倾斜平台；以及复数个可动滚轮，相互平行并设置于该第一支撑壁与该第二支撑壁之间，且该可动滚轮的二侧部分别嵌入于该第一支撑壁与该第二支撑壁的该轨道内，并得以同时移动该些可动滚轮于该轨道内。

在本实用新型的一个实施例中，轨道设置有皮带、炼条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件或其他得以借由驱动器驱动轨道移动的传动组件。

在本实用新型的一个实施例中，驱动器提供一动力以使该复数个可动滚轮自体旋转，并同时带动可动滚轮于轨道内移动。

在本实用新型的一个实施例中，其中复数个该固定滚轮与复数个该可动滚轮为交叉设置。

另外，根据本实用新型的目的，本实用新型人更提出一种基板传输方法，适用于一如上所述的基板传输装置，其至少包含以下步骤：步骤a：首先，复数个可动滚轮至预备位置待命，且与倾斜平台的复数个固定滚轮平行；步骤b：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则复数个该可动滚轮往上抬升交错该倾斜平台的复数个该固定滚轮后，再持续上升；步骤c：待复数个该可动滚轮同时承载并抬升该基板，当复数个该可动滚轮完全远离该倾斜平台后，复数个该可动滚轮即会以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调为水平；步骤d：待各该可动滚轮平行后，再借由复数个垂直轨道向上垂直升起至各该垂直轨道顶点，待各该可动滚轮上升至顶点后，该复数个可动滚轮透过驱动器提供动力并自体旋转；步骤e：当该基板透过一上层输送机构移出后，该复数个可动滚轮透过上方的平行轨道横向位移至最边侧的垂直轨道，并由该垂直轨道垂直下降至该垂直轨道底点，并透过下方的平行轨道横移至待命的预备位置；以及步骤f：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a至步骤e。

借此，本实用新型的倾斜平台及基板传输装置主要借由在基板传输装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液的残留而对其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传递的基板的产品品质等主要优势。

附图说明

图1：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的整体装置立体图；

图2：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的整体装置剖视图；

图3：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的基板置入示意图；

图4：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的装置运作开始示意图；

图5：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件交错倾斜平台示意图；

图6：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的基板及牙叉组件动作示意图；

图7：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件水平抬升示意图；

图8：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件承载基板抬升至顶点示意图；

图9：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的上层输送机构接近示意图；

图10：本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件自转动作示意图；

图11：本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的整体装置立体图；

图12：本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的整体装置剖视图；

图13：本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮在预备位置示意图；

图14：本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮由倾斜到水平的动作示意图；

图15：本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮抬升的另一视角剖视示意图；

图16：本实用新型基板传输方法其一较佳实施例的流程图；以及

图17：本实用新型基板传输方法其二较佳实施例的流程图。

图号说明：

10:倾斜平台

11:长边

12:短边

13:输送辊

131:导辊

20:基板传输装置

21:基座

211:第一支撑壁

212:第二支撑壁

213:轨道

2131:平行轨道

2132:垂直轨道

214:驱动器

22:第一升降机构

221:第一升降轨道

222:第一升降驱动器

23:横移机构

231:横移轨道

232:横移驱动器

24:第二升降机构

241:第二升降轨道

242:第二升降驱动器

25:第一牙叉组件

251:第一转轴

252:第一牙叉架

2521:第一牙叉

26:第二牙叉组件

261:第二转轴

262:第二牙叉架

2621:第二牙叉

27:导轨

271:导轨轨道

30:固定滚轮

40:可动滚轮

3:基板

4:上层输送机构

5:下层输送机构

s10:基板传输方法

s11～s16:步骤a～步骤f

s20:基板传输方法

s21～s26:步骤a～步骤f

θ:夹角。

具体实施方式

首先，请参阅图1与图2所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的整体装置立体图，以及整体装置剖视图，其中本实用新型的倾斜平台10适用于该基板传输装置20，其中该基板传输装置20至少包括有一基座21，其主要在于：该倾斜平台10设置于该基座21上，且该倾斜平台10与该基座21之间夹设有一夹角θ，其中该夹角θ介于3度至10度之间，最佳为5度，也就是说，该倾斜平台10借由复数个不等高的输送辊13架设于该基座21的上表面，以使该倾斜平台10左侧的长边11高于右侧的长边11，且该倾斜平台10的上表面与该基座21的上表面夹设该夹角θ，其中该倾斜平台10可借由一转速以传输至少一基板3(如图3)，该基板3由该倾斜平台10左侧的长边11作为入料口(图式未标示)放置于该倾斜平台10的上表面，由于该基板3的上一个制程为使用大量药液的湿式制程，当该基板3置放于该倾斜平台10时，该倾斜平台10具有的倾斜夹角θ可让该基板3上的药液朝向该倾斜平台10的右侧的长边11滑落，有效防止该湿式制程的药液残留于该基板3的上表面而进一步造成该基板3的危害，例如：过蚀刻等缺点。

其中各该输送辊13设有复数个导辊131，据此，透过该导辊131承载基板3，使该导辊131能够使基板3在倾斜时不致于造成滑落破损，使其能有效承载基板并进行传输的作业的优势。

此外，请再一次参阅图1与图2所示，本实用新型的基板传输装置20至少由一该基座21、一该倾斜平台10、一第一升降机构22、一横移机构23、一第二升降机构24、一第一牙叉组件25及一第二牙叉组件26所组合而成，该基板传输装置20的主要用途将该基板3由前一道湿式制程传送至后端的制程设备。

一第一升降机构22并列设置于该基座21上且位于该倾斜平台10的一侧部，该第一升降机构22包括有二第一升降轨道221，以及一设置于该第一升降轨道221的一端部的一第一升降驱动器222，其中该第一升降轨道221设置于该第一升降机构22的其中一面，并以由上至下的垂直方向嵌入于该第一升降机构22中，而该第一升降驱动器222设置于该升降机构22的一端部，例如：顶部或底部等其中之一处，但并不以此为限，该第一升降驱动器222主要以提供一动力以带动该横移机构23的垂直移动；此外，该第一升降轨道221的内部可进一步设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件，或得以借由第一升降驱动器222驱动该横移机构23移动。

至少一横移机构23，该横移机构23设置于该第一升降机构22的该第一升降轨道221内并与其呈90度配置，且该横移机构23包括有至少一横移轨道231，以及一设置于该横移轨道231的一端部的横移驱动器232；此外，该横移机构23的内部可进一步设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件。

至少一第二升降机构24，该第二升降机构24设置于该横移机构23的该横移轨道231内并与其呈90度配置，且该第二升降机构24与该第一升降机构22平行设置，其中，该第二升降机构24包括有至少一第二升降轨道241，以及一设置于该第二升降轨道241的一端部的第二升降驱动器242。

一第一牙叉组件25，设置于该第二升降机构24，该第一牙叉组件25包括有一嵌入于该第二升降机构24的该第二升降轨道241的第一转轴251；一第二牙叉组件26，设置于该横移机构23，该第二牙叉组件26包括有一嵌入于该横移轨道231的第二转轴261；该第一牙叉组件25更包括一设置于该第一转轴251一端的第一牙叉架252，以及复数根与该第一牙叉架252垂直设置的第一牙叉2521，且复数个该第一牙叉2521彼此并列排制而成；该第二牙叉组件26更包括一设置于该第二转轴261一端的第二牙叉架262，以及复数根与该第二牙叉架262垂直设置的第二牙叉2621，且复数个该第二牙叉2621彼此并列排制而成，并可根据该基板3大小而排制不同的第一牙叉及第二牙叉的数量。

其中该横移机构23的两侧更进一步设有二导轨27，各该导轨27内更设有一导轨轨道271，该导轨轨道271能够使该横移机构23嵌入并进行上下滑移；据此能够透过导轨与导轨轨道的设计，用以引导横移机构走向正确的方向，能有效避免偏移的优势。

此外，本实用新型其一较佳实施例的基板传输装置20将该基板3由前一湿式制程运送至下一制程的方式如下所述。

1.请一并参阅图3所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的基板置入示意图，其中该基板3由该倾斜平台10长边11的入料口进入该倾斜平台10，而该倾斜平台10借由一转速向右侧传输该基板3，其中当该倾斜平台10将该基板3传输至定位时，该第一牙叉组件与该第二牙叉组件借由该第一升降机构22由底部向上升起。

2.请一并参阅图4所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的装置运作开始示意图，其中当该基板传输装置20开始启动时，该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26位于该第一升降机构22的下端部待命，且该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26亦位于该倾斜平台10的下方。

3.请一并参阅图5所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件交错倾斜平台示意图，其中，当该基板3透过一下层输送机构传输图未标示至该倾斜平台10上就定位后，则该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26即往上抬升并与该倾斜平台10交错后再持续上升。

4.请一并参阅图6所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的基板移动示意图，当该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26往上抬升并与该倾斜平台10交错后再持续上升，使该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26完全远离该倾斜平台10；其中由于该倾斜平台10的输送辊13为倾斜设计，导致该基板3呈倾斜的态样；其中该第一牙叉组件25的该第一转轴251另一端设置有该第二升降机构24；当该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26完全远离该倾斜平台10后，该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26同时由倾斜自转为水平，以使该第一牙叉组件25与该第二牙叉组件26可水平承载，使该基板3得以水平态样朝向远离该倾斜平台10的方向移动，并同时使该第一牙叉组件25透过该第二升降机构24微调下降至该第二牙叉组件26的相对位置，但本实用新型不以此为限。在本实用新型另一实施例中(图未标示)，该第二牙叉组件的该第二转轴另一端设置有该第二升降机构，借以使该第二牙叉组件透过该第二升降机构微调上升至该第一牙叉组件的相对位置；据此能够使该基板稳定的进行上下层的传输作业。

5.请一并参阅图7所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件水平抬升示意图，其中该第一牙叉组件25与该第二牙叉组件26微调至相对位置后，该第一牙叉组件25与该第二牙叉组件26即持续水平向上抬升基板。

6.请一并参阅图8所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件承载基板抬升至顶点示意图，该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26向上传输至该第一升降机构22的最顶部，以等待一上层输送机构接收。

8.请一并参阅图9所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的上层输送机构接近示意图，其中该基板3仍以水平态样设置于该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26上，并待上层输送机构4以吸取的方式将该基板3带离各该牙叉组件，以继续下一个制程。

9.请一并参阅图10所示，为本实用新型基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件自转动作示意图，当该基板3传输远离后，该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26同时自转呈垂直，并往两侧分开后再下降，且该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26下降至该倾斜平台10下方的预备位置。

据此，提供一种基板传输装置，其透过第一升降机构、横移机构及转轴的设计，借此能够稳定的进行上下层的基板传输动作，有效使第一及第二牙叉组件由倾斜自转水平并微调至相对位置后同步上升，据此可提升大面积的基板传输动作等优势。

此外，请参阅图11与图12所示，为本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的整体装置立体图，以及整体装置剖视图，其中本实用新型的基板传输装置20至少由一该基座21、一该倾斜平台10、复数个固定滚轮30与复数个可动滚轮40所组合而成，该基板传输装置20的主要用途将该基板3由前一道湿式制程传送至后端的制程设备。

该基座21的二侧部分别设置有一第一支撑壁211与一第二支撑壁212，该第一支撑壁211与该第二支撑壁212借由至少一轨道213连接，其中该轨道213设有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件或其他可以借由该驱动器214带动该轨道213移动的传动组件，且该轨道213包括有二平行轨道2131与复数个垂直轨道2132，其中二该平行轨道2131以上下平行的方式分别嵌入该第一支撑壁211与该第二支撑壁212内，并且相互对应；此外，该基座21底部设置有一可提供动力的驱动器214。

该倾斜平台10设置于该基座21的一端部，其中该倾斜平台10与该基座21之间夹设有一夹角θ。

该等固定滚轮30分别连接该第一支撑壁211与该第二支撑壁212，且分别于各该些垂直轨道2132的二侧并靠近下方的平行轨道2131，且各该固定滚轮30设置于该第一支撑壁211与该第二支撑壁212的位置高度介于该些垂直轨道2132的高度的间，其中该些固定滚轮30倾斜且相互平行设置而形成该倾斜平台10。

该等可动滚轮40与该等固定滚轮30相互平行并设置于该第一支撑壁211与该第二支撑壁212之间，且该可动滚轮40的二端分别嵌入于该第一支撑壁211与该第二支撑壁212的轨道213内，并得以同时移动该些可动滚轮40于该轨道213内。

也就是说，在该基座21中，该平行轨道2131与该垂直轨道2132组接成具有一回圈的轨道213，而该等固定滚轮30以倾斜且相互平行的方式排列，并设置于该垂直轨道2132之间以形成该倾斜平台10，使该可动滚轮40与该基座21形成夹角θ，而该等可动滚轮40分别设置嵌入于该轨道213内，且与该等固定滚轮30交叉设置，亦以倾斜且相互平行的方式排列以形成另一支撑架面，而该等可动滚轮40借由该驱动器214所提供的动力可沿着该轨道213移动。

据此，提供一种条棒式的基板传输装置，使其能够稳定的进行上下层的基板传输动作，并再透过可动滚轮设于平行轨道及垂直轨道内的配置设计，据此使在移送基板时可以减少大量的位移时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

此外，本实用新型其二较佳实施例的基板传输装置20将该基板3由前一湿式制程运送至下一制程的方式如下所述。

1.请一并参阅图11所示，其中当该基板3由该倾斜平台10左侧部的入料口进入该倾斜平台10后，该等可动滚轮40借由该驱动器214所提供的动力同时于该轨道213的垂直轨道2132内上升，以至该倾斜平台10承载该基板3。

2.请一并参阅图12所示，为本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮移动示意图，其中由于该倾斜平台10的复数个该固定滚轮30为左上右下的倾斜态样，而一开始设置于各该固定滚轮30下方的复数个该可动滚轮40，其平行设于该轨道213内，但不以此为限；当基板3就定位后，各该可动滚轮40即会移动至一预备位置待命。

3.请一并参阅图13所示，为本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮在预备位置示意图，当各该可动滚轮40移动至预备位置待命，该可动滚轮40在预备位置待命呈倾斜或水平态样，在本实用新型一实施例中，各该可动滚轮40与各该固定滚轮30呈倾斜态样并相互平行设置，但不以此为限；在本实用新型另一实施例中，各该可动滚轮40与各该固定滚轮30形成该夹角θ设置。

4.请一并参阅图14所示，为本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮由倾斜到水平的动作示意图，当左侧部的可动滚轮40交错该固定滚轮30，并接触该基板3后，立即停止，并同时等待右侧部的可动滚轮40接触该基板3，接续等待所有的可动滚轮40接触该基板3后，即使各该可动滚轮40由倾斜态样快速微调至水平态样后，再一起抬升该基板3；接续，各该可动滚轮40即抬升该基板3朝向远离该倾斜平台10的方向上升，其中该等可动滚轮40接触该基板3后，即以相同速度载运该基板3，使该基板3得以水平态样朝向远离该倾斜平台10的方向移动。

5.请一并参阅图15所示，为本实用新型基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮抬升的另一视角剖视示意图，其中，该基板3借由一下层输送机构5传输至由复数个固定滚轮30所形成的倾斜平台10，复数个可动滚轮40则先位于该倾斜平台10下方的下层平行轨道2131内待命上升，待该基板3就定位后，请参阅图5所示，该复数个可动滚轮40借由驱动器214所提供的动力同时于该轨道213内上升以承载该基板3至上层平行轨道2131，当该基板3完全移至该上层输送机构4后，该下层输送机构5将基板3传输至该倾斜平台10，同时该复数个可动滚轮40顺向平行轨道2131水平移动至最边侧的垂直轨道2132，并再依序下降至下层平行轨道2131，并就定预备位置待命，最后，待基板3就定位后，该复数个可动滚轮40再次上升以承载该基板3至上层平行轨道2131以形成一循环动作。

据此，透过可动滚轮、固定滚轮、平行轨道及垂直轨道的配置设计，借由位于轨道内可移动的可动滚轮，使在移送基板时可以减少大量的位移时间，同时另可以减少运输装置循环移动的时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

再者，请参阅图16所示，为本实用新型基板传输方法其一较佳实施例的流程图，其适用于基板传输装置其一较佳实施例，并提供一种基板传输方法s10，适用于一如第1至11图所述的基板传输装置20，其至少包含以下步骤。

步骤a(s11)：首先，第一牙叉组件及第二牙叉组件在一预备位置待命，且与一倾斜平台平行。

步骤b(s12)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则该第一牙叉组件及该第二牙叉组件即往上抬升并与该倾斜平台交错后再持续上升。

步骤c(s13)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件完全远离该倾斜平台。

步骤d(s14)：该第一牙叉组件及该第二牙叉组件由倾斜自转为水平，同时其一牙叉组件透过微调上升或下降至另一牙叉组件的相对位置。

步骤e(s15)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件平行后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件向上传输后，当该基板传输远离后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件再同时自转呈垂直，并往两侧分开后再下降，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件下降至该预备位置。

步骤f(s16)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a至步骤e。

在本实用新型的一实施例中，其中该步骤d(s14)更包含该第一牙叉组件透过该第二升降机构微调下降至该第二牙叉组件的相对位置。

在本实用新型的另一实施例中，其中该步骤d(s14)更包含该第二牙叉组件透过该第二升降机构微调上升至该第一牙叉组件的相对位置。

据此，提供一种适用一种牙叉式的基板传输装置的基板传输方法，借此能够稳定的进行上下层的基板传输动作，并再透过第二升降机构上升或下降的设计，据此能够有效避免基板传输过程中损坏而造成不良等优势。

另外，再请参阅图17所示，为本实用新型基板传输方法其二较佳实施例的流程图，其适用于基板传输装置其二较佳实施例，并提供一种基板传输方法s20，适用于一如图12至图16所述的基板传输装置20，其至少包含以下步骤。

步骤a(s21)：首先，复数个可动滚轮至预备位置待命，且与倾斜平台的复数个固定滚轮平行。

步骤b(s22)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则复数个该可动滚轮往上抬升交错该倾斜平台的复数个该固定滚轮后，再持续上升。

步骤c(s23)：待复数个该可动滚轮同时承载并抬升该基板，当复数个该可动滚轮完全远离该倾斜平台后，复数个该可动滚轮即会以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调为水平。

步骤d(s24)：待各该可动滚轮平行后，再借由复数个垂直轨道向上垂直升起至各该垂直轨道顶点，待各该可动滚轮上升至顶点后，该复数个可动滚轮透过驱动器提供动力并自体旋转。

步骤e(s25)：当该基板透过一上层输送机构移出后，该复数个可动滚轮透过上方的平行轨道横向位移至最边侧的垂直轨道，并由该垂直轨道垂直下降至该垂直轨道底点，并透过下方的平行轨道横移至待命的预备位置。

步骤f(s26)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a(s21)至步骤e(s25)。

在本实用新型的一实施例中，其中该步骤c(s23)更包含复数个该可动滚轮以不同的速度，将各该可动滚轮由倾斜微调下降为水平。

在本实用新型的另一实施例中，其中该步骤c(s23)更包含复数个该可动滚轮以不同的速度，将各该可动滚轮由倾斜微调上升为水平。

据此，提供一种适用一种条棒式的基板传输装置的基板传输方法，能够稳定的进行上下层的基板传输动作，并再透过可动滚轮设于平行轨道及垂直轨道内的配置设计，据此使在移送基板时可以减少大量的位移时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

由上述的实施说明可知，本实用新型与现有技术与产品相较之下，本实用新型具有以下优点。

本实用新型的倾斜平台及以的制备的基板传输装置主要借由在基板传输装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液的残留而对其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传递的基板的产品品质等主要优势。