板面呈一体地挠曲变形。
[0021]由此，通过将呈一体地构成的压电驱动体的中央部结合在基准质量体上，并且，由朝向基准质量体下方延伸的上部振动用下侧压电驱动部对上侧质量体进行激振，由朝向基准质量体上方延伸的下部振动用上侧压电驱动部对下侧质量体进行激振，从而能够容易且可靠地使上侧质量体和下侧质量体同相振动。另外，由于能够通过呈一体的压电驱动体对上侧质量体和下侧质量体进行激振，因而能够降低装置整体高度，从而能够使装置结构小型化。另外，优选在输送方向的前后位置的任意一侧，上述压电驱动体均由上部振动用下侧突出部和下部振动用上侧突出部构成，该情况下，输送方向的前后位置处的上述压电驱动体相互同相地被驱动。
[0022]该情况下，优选所述压电驱动体具有横跨所述上部振动用下侧压电驱动部与所述下部振动用上侧压电驱动部(从与所述基准质量体结合的位置朝向上下两侧延伸)的一体压电体。在本发明中，例如也可以构成为:弹性基板呈一体，并且由不同的压电驱动体构成基准质量体上方的上侧压电驱动部和基准质量体下方的下侧压电驱动部。但是，通过构成如上所述具有朝向基准质量体上下两侧延伸的一体压电体的压电驱动体，能够容易地简化结构、降低生产成本、以及使上下的振动状态均匀化等。
[0023]在本发明中，优选所述上部振动用上侧弹性部(17a、17b)和所述下部振动用下侧弹性部(18a、18b)，在所述输送方向的前后位置处分别被配置为在与所述输送方向垂直的宽度方向上邻接；所述上部振动用上侧弹性部(17a、17b)在所述输送方向的前后位置处，分别在所述宽度方向的一侧将所述上部振动用下侧突出部与所述上侧质量体连接；所述下部振动用下侧弹性部(18a、18b)在所述输送方向的前后位置处，分别在所述宽度方向的另一侧将所述下部振动用上侧突出部与所述下侧质量体连接。
[0024]由此，通过在输送方向的前后位置处分别将上部振动用上侧弹性部和下部振动用下侧弹性部配置为在宽度方向上邻接，从而能够减小上侧质量体和下侧质量体的弹性支撑位置在输送方向上的偏差，并且能够缩小装置结构在输送方向上的尺寸。另外，由于各个上部振动用上侧弹性部和下部振动用下侧弹性部在输送方向的前后位置处均被配置在宽度方向的一侧和另一侧中的同一侧，因此，能够防止对基准质量体与上侧质量体、或者基准质量体与下侧质量体之间的弹性支撑结构施加扭曲方向(twist direct1n)的力。
[0025]在本发明中，优选所述压电驱动体具有弹性基板和层压在该弹性基板上的压电体。另外，当下部振动用上侧压电驱动部和上部振动用下侧压电驱动部由一体的压电驱动体构成时，优选在该一体的压电驱动体的上下一体的弹性基板上，以横跨下部振动用上侧压电驱动部和上部振动用下侧压电驱动部的方式形成有上下一体的压电体。该情况下，优选所述上下一体的压电体具有相对于与所述基准质量体的结合位置而上下对称的结构。
[0026]在本发明中，优选所述压电驱动体与所述基准质量体的结合位置设置在宽度方向两侧，并且，压电体配置在所述结合位置之间。由此，由于压电驱动体与基准质量体在宽度方向两侧结合，并且压电体配置在该结合位置之间，因而能够相对于基准质量体而在宽度方向两侧确保均匀的结合刚性，从而能够容易地实现稳定的激振状态。
[0027]在本发明中，优选所述基准质量体由一对所述防振弹簧从下方支撑。虽然防振弹簧能够从任意方向支撑基准质量体，但是，在上述那样构成的情况下，与从上方悬挂基准质量体、或者从侧方支撑基准质量体时相比，能够减小装置整体的占地面积。另外，优选一对所述防振弹簧分别由板簧构成，并且，该板簧被配置为从所述基准质量体朝向设置面(基台)侧的连接方向(长度方向)和与所述输送方向垂直的垂直面平行的垂直状态。当上述防振弹簧由垂直状态的板簧构成时，能够减少基准质量体的上下方向的振动成分，因而能够使输送姿态稳定、或者减少振动朝向设置面的泄漏。
[0028]在本发明中，优选所述输送路设置在所述上侧质量体上。如上所述，输送路可以设置在上侧质量体和下侧质量体的至少任意一个上。但是，尤其将输送路设置在上侧质量体上，能够使运转时的装置或输送物的处理变得容易。
[0029]在本发明中，优选所述基准质量体的质量实质上等于或者大于所述上侧质量体与所述下侧质量体的质量之和。由于基准质量体与上侧质量体和下侧质量体呈相互消除输送方向(振动方向)的反作用力的关系，因此，通过使基准质量体的质量实质上等于上侧质量体与下侧质量体的质量之和，能够提高反作用力的消除效果。但是，由于基准质量体通过防振弹簧被支撑在设置面上且被限制，因此，通过使基准质量体的质量大于上述质量之和，能够抑制基准质量体的振幅，同时能够增大上侧质量体和下侧质量体的振幅，因而能够抑制流向设置面的振动能量，并且能够在上侧质量体或者下侧质量体上确保充分的输送力，从而能够实现更稳定的振动状态。
[0030]在本发明中，优选所述上侧质量体的质量与所述下侧质量体的质量实质上相等，所述基准质量体与所述上侧质量体之间的重心间隔及弹簧常数和所述基准质量体与所述下侧质量体之间的重心间隔及弹簧常数实质上相等。由此，由于上侧质量体和下侧质量体的惯性质量及弹性连接形态相对于基准质量体呈对称结构，因而能够抵消转矩从而进一步减少俯仰动作。
[0031]在本发明中，优选所述输送路呈直线状，所述输送方向为沿着直线的方向。本发明也能够适用于下述情况中，即:在具有将围绕规定轴线旋转的方向(轴线周围的切线方向)作为振动方向的旋转振子、和设置在该旋转振子上的螺旋状输送路的振动式输送装置中，通过旋转方向的振动而沿着螺旋状输送路输送输送物。但是，在沿着直线状输送路呈直线状输送输送物的情况下，如下述实施例中所示，能够简化装置结构，并且能够容易地提高输送速度或者使输送状态变稳定。
[0032](发明效果)
[0033]根据本发明，能够取得下述出色的效果，即:能够提供一种可得到稳定的输送状态，并且能够在使装置小型化、尤其是抑制装置整体高度的同时确保输送性能的振动式输送装置。
【附图说明】
[0034]图1中的(a)是表示从输送朝向的前方正面侧斜向观察本发明实施方式涉及的振动式输送装置的整体结构时的状态的前视立体图，(b)是表示从与输送朝向相反的后方斜向观察本发明实施方式涉及的振动式输送装置的整体结构时的状态的后视立体图。
[0035]图2中的(a)是同一实施方式的右视图，(b)是左视图。
[0036]图3是同一实施方式的主要结构的分解立体图。
[0037]图4中的(a)是同一实施方式的压电驱动体的主视图，(b)是表示压电体不同的实施例的主视图。
[0038]图5是表示同一实施方式的上侧增幅弹簧和下侧增幅弹簧的形状及相互配置的主视图。
[0039](符号说明)
[0040]10振动式输送装置 11基准质量体
[0041]IlaUlb 连接部12A 上侧质量体
[0042]12B下侧质量体13a、13b防振弹簧
[0043]14a、14b 上部振动弹簧 15a、15b下部振动弹簧
[0044]16a、16b 压电驱动体
[0045]16au、16bu上侧压电驱动部(下部振动用上侧突出部)
[0046]16ad、16bd下侧压电驱动部(上部振动用下侧突出部)
[0047]16S弹性基板16P 压电体
[0048]16as、16bs侧部连接边缘
[0049]17a、17b 上侧增幅弹簧(上部振动用上侧弹性部)
[0050]18a、18b 下侧增幅弹簧(下部振动用下侧弹性部)
[0051]19基台Θ振动角(倾斜角)
【具体实施方式】
[0052]接下来，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。图1?图3分别是表示本实施方式的整体结构的立体图、侧视图以及分解立体图。另外，图4是压电驱动体的主视图，图5是表示与上侧质量体和下侧质量体连接的上下增幅弹簧的主视图。
[0053]本实施方式的振动式输送装置10具有基准质量体11、配置在该基准质量体11上方的上侧质量体12A、以及配置在基准质量体11下方的下侧质量体12B。基准质量体11在沿输送朝向F(参照图2)的输送方向的前后位置处分别由板状的防振弹簧13a和13b从下方支撑，其中，该板状的防振弹簧13a、13b分别具有朝向输送方向的板面。这些防振弹簧13a、13b的下端固定在基台19上，该基台19被配置在设置面上。
[0054]在此，输送方向的前后位置是指沿输送方向相互分离的两个位置，即，前方位置是指输送朝向F侧(输送方向的一侧)的位置，后方位置是指输送朝向F相反侧(输送方向的另一侧)的位置。另外，在本说明书中，所谓的“输送方向”是指在形成于输送体20上的输送路21中输送电子器件等输送物W的方向,所谓的“输送朝向F”是指上述输送方向中的上述输送物前进的方向，其中，输送体20固定在振动式输送装置10的上侧质量体12A上。
[0055]另外，基准质量体11与上侧质量体12A在输送方向的前后位置处分别通过上部振动弹簧14a和14b而被弹性连接，其中，上部振动弹簧14a、14b分别包含具有朝向输送方向的板面的板簧状结构。即，上侧质量体12A在输送方向的前后位置处分别由上部振动弹簧14a、14b从下方支撑。进而，基准质量体11与下侧质量体12B在输送方向的前后位置处分别通过下部振动弹簧15a和15b而被弹性连接，其中，下部振动弹簧15a、15b分别包含具有朝向输送方向的板面的板簧状结构。即，下侧质量体12B在输送方向的前后位置处分别由下部振动弹簧15a、15b从上方悬挂。
[0056]上