专利名称：脱模用膜的制作方法
技术领域：
本发明涉及脱模用膜，该脱模用膜在树脂模塑成型时、或者制造印刷电路基板或柔性印刷电路基板等时使用。
背景技术：
例如晶体管、IC(集成电路)、LSI (大规模集成电路)、超LSI等半导体元件或LED、 光隔离器、光电晶体管、光电二极管、CCD、CM0S等光半导体元件以环氧树脂组合物或有机硅树脂组合物为密封材料，并且通过基于传递成型的树脂模塑成型而被密封。上述的半导体元件或光半导体元件的密封中使用模塑成型装置，将由环氧树脂组合物或有机硅树脂组合物的密封材料作为模塑树脂而注入到模塑模具中，进行成型加工。作为使模塑模具与成型加工得到的成型品脱模的方法，例如，使脱模用膜介于模塑模具和模塑树脂之间的方法已被实用化(参见专利文献1)。脱模用膜以Roll toRoll (卷对卷)的方式供给于模塑成型装置内，进入经调温至成型加工温度的模塑模具中，经真空抽吸而与模塑模具密合，其后填充模塑树脂。经一定时间后模塑树脂固化，此时打开模塑模具，则脱模用膜保持抽吸于模塑模具的状态，成型品自脱模用膜剥离。该脱模用膜目前使用例如由热塑性氟树脂的四氟乙烯-乙烯共聚树脂(ETFE树脂)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚树脂(FEP树脂)形成的单层膜(参见专利文献2)。但是，在180°C左右的通常的树脂模塑成型中，虽然这样的脱模用膜与模塑模具和成型品的剥离性优异，但是在温度超过200°C的成型中，会出现膜熔断的问题。需要说明的是，作为由除热塑性氟树脂以外的热塑性树脂形成的脱模用膜，由聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(PET树脂)、聚甲基戊烯树脂(PMP树脂)等形成的膜已实用化。 并且，作为由除热塑性氟树脂以外的热塑性弹性体形成的脱模用膜，已知有使用由含有结晶性芳香族聚酯的树脂组合物形成的膜的方法，其中，该结晶性芳香族聚酯在结晶成分中含有对苯二甲酸丁二醇酯(参见专利文献3)。专利文献1 日本特开平8-142105号公报专利文献2 日本特开2001-310336号公报专利文献3 日本特开2007-2M311号公报
发明内容
但是，作为脱模用膜，如专利文献3所示，当使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂 (PET树脂)、聚甲基戊烯树脂(PMP树脂)、或者含有在结晶成分中包含对苯二甲酸丁二醇酯的结晶性芳香族聚酯的树脂组合物形成的膜时，于180°C左右的一般的树脂模塑成型中， 会出现与模塑模具或成型品的剥离性不足这样的问题。如此，实际情况是，在树脂模塑成型中，由除热塑性氟树脂以外成分形成的膜无法合适地用作脱模用膜。本发明鉴于上述实际情况，其目的在于提供一种脱模用膜，其与模塑模具和将模塑树脂成型加工所得到的成型品的剥离性优异，而且兼具耐热强度，即使在超过200°c的使
3用温度下，膜也不会熔断。为了解决上述课题，本发明的脱模用膜的特征在于，将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到膜， 在所得到的膜的至少一面涂布脱模组合物并进行干燥，形成氟硅酮化合物层，所述脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。并且，上述发明的特征在于，热塑性树脂是聚苯硫醚树脂(PPS树脂)、聚砜树脂 (PSF树脂)、聚醚砜树脂(PES树脂)、聚醚醚酮树脂(PEEK树脂)、聚酰亚胺树脂(PI树脂)、聚酰胺酰亚胺树脂(PAI树脂)、聚醚酰亚胺树脂(PEI树脂)、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂(PEN树脂)、聚酰胺树脂(PA树脂)、聚缩醛树脂(POM树脂)、聚碳酸酯树脂(PC树脂)、 聚苯醚树脂(PPE树脂)、聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂(PBT树脂)、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(PET树脂)、环状聚烯烃树脂(COP树脂)、间规聚苯乙烯树脂(SPS树脂)、聚甲基戊烯树脂(PMP树脂)、聚甲基丙烯酸甲酯树脂(PMMA树脂)、聚乙烯树脂(PE树脂)、聚丙烯树脂(PP树脂)、聚苯乙烯树脂(PS树脂)、聚乙酸乙烯酯树脂(PVAc树脂)、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂(ABS树脂)和丙烯腈苯乙烯树脂(AS树脂)之中的至少一种树脂；热塑性弹性体是聚酯系弹性体(简写符号为TPEE)、聚酰胺系弹性体(简写符号为TPA)、聚氨酯系弹性体 (简写符号为TPU)、苯乙烯系弹性体(简写符号为TPS)和烯烃系弹性体(简写符号为ΤΡ0) 之中的至少一种弹性体。并且，上述发明的特征在于，脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物、有机锆化合物和有机硅化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物。并且，上述发明的特征在于，脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物和有机锆化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物。并且，上述发明的特征在于，脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物和有机锆化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物，并且以0. 05质量份 20质量份的范围含有有机硅化合物。并且，本发明的特征在于，将包含热塑性树脂的树脂组合物成型或者将以热塑性树脂为主并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到的、单层膜或两层以上的多层膜的厚度为5 μ m 500 μ m的范围；通过涂布脱模组合物并进行干燥而得到的氟硅酮化合物层的厚度为0. 05 μ m 10 μ m的范围，所述脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。根据本发明的脱模用膜，其与模塑模具和将模塑树脂成型加工所得到的成型品的剥离性优异，同时能够兼具对应超过200°C的使用温度的耐热强度。
图1为表示本发明的脱模用膜的一实施方式的截面图。图2为表示制造本发明的脱模用膜的膜制造装置的一实施方式的示意构成图。图3为表示图2所示的膜制造装置的投料斗的周边的截面图。
符号说明
1挤出机
2投料斗
3氮气供给用·
4连接管
5过滤器
6齿轮泵
7τ-模头
7a模唇部
8膜
9压接辊
10冷却辊
11牵引机
12、13 传送对辊
14厚度测定器
16卷取管
20膜
30脱模组合物
具体实施例方式本发明人为了达到上述目的，进行了各种研究，结果发现，将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到膜，在所得到的膜的至少一面涂布脱模组合物(该脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物)并进行干燥，形成氟硅酮化合物层时，则可得到与模塑模具和将模塑树脂成型加工所得到的成型品的剥离性优异、并兼具对应超过200°C的使用温度的耐热强度的脱模用膜。经进一步研究，结果发现，通过使脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以总共0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物、有机锆化合物和有机硅化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物时，效果更佳。此处，作为热塑性树脂，可以使用例如聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、 聚酰胺树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯醚树脂、聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、环状聚烯烃树脂、间规聚苯乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚乙酸乙烯酯树脂、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂和丙烯腈苯乙烯树脂中的至少一种。并且，作为热塑性弹性体，可以使用例如聚酯系弹性体、聚酰胺系弹性体、聚氨酯系弹性体、苯乙烯系弹性体和烯烃系弹性体中的至少一种。这些热塑性树脂和热塑性弹性体可根据所要求的耐热强度来适宜地选择使用。作为优选的热塑性树脂，例如有聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚酰胺树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯醚树脂、聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、环状聚烯烃树脂、间规聚苯乙烯树脂和聚甲基戊烯树脂。此外，作为更优选的热塑性树脂，例如有聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、环状聚烯烃树脂、间规聚苯乙烯树脂和聚甲基戊烯树脂。并且，作为优选的热塑性弹性体，例如有聚酯系弹性体、聚酰胺系弹性体、苯乙烯系弹性体和烯烃系弹性体。此外，作为更优选的热塑性弹性体，有聚酯系弹性体、聚酰胺系弹性体和苯乙烯系弹性体。本发明中，作为包含热塑性树脂的树脂组合物，可以举出作为非晶性热塑性树脂的聚醚酰亚胺树脂。并且，作为以热塑性树脂为主成分并混合有热塑性弹性体的树脂组合物，可以举出以作为结晶性热塑性树脂的间规聚苯乙烯树脂为主成分并混合有苯乙烯系弹性体的树脂组合物。但是，本发明并不限定于这些树脂组合物。聚醚酰亚胺树脂例如为下述化学式(1)或(2)表示的树脂。需要说明的是，化学式(1)或O)以具有重复单元的树脂的形式表示。 对于该聚醚酰亚胺树脂，具体地说，可以举出玻璃化转变温度为211 °C的 UltemlOOO-IOOO (SABIC Innovative Plastics Japan 公司制造，商品名)、玻璃化转变温度为 223°C 的 Ultem 1010-1000 (SABIC Innovative Plastics Japan 公司制造，商品名)、玻璃化转变温度为 235°C 的Ultem CRS5001-1000 (SABIC Innovative Plastics Japan 公司制造，商品名)等。
需要说明的是，作为聚醚酰亚胺树脂，还可以使用与其他可共聚的单体形成的嵌段共聚物、无规共聚物或者改性物。例如，可以使用作为聚醚酰亚胺砜共聚物的玻璃化转变温度为 252°C 的 Ultem XH6050-1000 (SABIC Innovative Plastics Japan 公司制造，商品名)。并且，聚醚酰亚胺树脂可以单独使用一种，或者还可以将两种以上合金化或混合使用。上述间规聚苯乙烯树脂是结晶性热塑性树脂，其立体结构与一般的聚苯乙烯树脂不同，立构规整性具有间规结构。更具体地说，具有侧链苯基相对于由碳-碳键形成的主链交替地位于相反方向的立体结构。具有这样的结构的间规聚苯乙烯树脂的立构规整性高， 因此成为结晶化的聚苯乙烯树脂。对于间规聚苯乙烯树脂，具体例可以举出熔点为270°C的XAREC C102(出光兴产株式会社制造，商品名)。并且，作为适用本发明的间规聚苯乙烯树脂，可以为与一般聚苯乙烯树脂形成的聚合物合金。同样地，间规聚苯乙烯树脂中也可以混合有苯乙烯系弹性体以赋予柔软性。作为苯乙烯系弹性体，可以举出例如苯乙烯-丁二烯-苯乙烯三嵌段共聚物(简写符号为SBS)、 苯乙烯-丁二烯-苯乙烯三嵌段共聚物的氢化衍生物(简写符号为SEBQ、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯三嵌段共聚物(简写符号为SIPQ、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯三嵌段共聚物的氢化衍生物(简写符号为SEPS)等。对于该苯乙烯系弹性体，具体地说，可以举出KRATON G-1657 (Kraton Polymers公司制造，商品名)，其是苯乙烯含量为13质量％的苯乙烯-丁二烯-苯乙烯三嵌段共聚物的氢化衍生物。需要说明的是，上述的膜可在适宜地保持耐热强度的范围内由单层或者两层以上的多层膜构成。本发明所使用的脱模用组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。此外，对于这样的氟硅酮化合物已提出了各种化合物。这些氟硅酮化合物通常涂布于模具而使用。但是，本发明的特征在于，将这些氟硅酮化合物涂布于膜的表面，形成为氟硅酮化合物层。图1是表示如此构成的脱模用膜的一实施方式的截面图。图中，符号20表示膜，符号30表示脱模组合物。此处，膜20可以是单层膜或者两层以上的多层膜。 另外，脱模组合物30也可以形成在膜20的另一面，还可以形成在两面。作为上述的氟硅酮化合物(在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基)，例如，可以举出如下化学式C3)表示的化合物。
权利要求
1.一种脱模用膜，其特征在于，将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主成分并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到膜，在所得到的膜的至少一面形成有通过涂布脱模组合物并进行干燥而得到的氟硅酮化合物层，该脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。
2.如权利要求1所述的脱模用膜，其特征在于，所述膜由单层膜或者两层以上的多层膜构成。
3.如权利要求1或2所述的脱模用膜，其特征在于，所述热塑性树脂是聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚酰胺树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯醚树脂、聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、环状聚烯烃树脂、间规聚苯乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚乙酸乙烯酯树脂、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂和丙烯腈苯乙烯树脂之中的至少一种树脂；所述热塑性弹性体是聚酯系弹性体、聚酰胺系弹性体、聚氨酯系弹性体、苯乙烯系弹性体和烯烃系弹性体之中的至少一种弹性体。
4.如权利要求1所述的脱模用膜，其特征在于，所述脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物、有机锆化合物和有机硅化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物。
5.如权利要求1所述的脱模用膜，其特征在于，所述脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物和有机锆化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物。
6.如权利要求1所述的脱模用膜，其特征在于，所述脱模组合物相对于100质量份在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物，以0. 05质量份 20质量份的范围含有选自由有机钛化合物和有机锆化合物组成的组中的一种化合物或者两种以上化合物，并且以0. 05质量份 20质量份的范围含有有机硅化合物。
7.如权利要求1所述的脱模用膜，其特征在于，所述将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主成分并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到的单层膜或两层以上的多层膜的厚度为5μπι 500 μ m的范围；所述通过涂布脱模组合物并进行干燥而得到的氟硅酮化合物层的厚度为0. 05 μ m 10 μ m的范围，该脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。
8.一种脱模用膜的制造方法，其特征在于包括如下工序准备膜，该膜是将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主成分并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到的膜；在该膜的至少一面涂布脱模组合物并进行干燥，形成氟硅酮化合物层，所述脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。
9.如权利要求8所述的脱模用膜的制造方法，其特征在于，所述膜包含单层膜或者两层以上的多层膜。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种脱模用膜，其与模塑模具和将模塑树脂成型加工所得到的成型品的剥离性优异，而且兼具耐热强度高的优点，即使在超过200℃的使用温度下，膜也不会熔断。在所述脱模用膜的至少一面上形成有氟硅酮化合物层。上述膜是将包含热塑性树脂的树脂组合物成型、或者将以热塑性树脂为主并混合有热塑性弹性体的树脂组合物成型而得到的。上述氟硅酮化合物层是在上述膜上涂布脱模组合物并进行干燥而得到的，其中，该脱模组合物含有在分子内具有含水解性部位的甲硅烷基的氟硅酮化合物。
文档编号B29C33/68GK102198714SQ20111003567
公开日2011年9月28日 申请日期2011年2月10日 优先权日2010年3月24日
发明者大手道正 申请人:信越聚合物株式会社