一种真空炉旋转进气装置制造方法
【专利摘要】一种真空炉旋转进气装置，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气体通道，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。本实用新型提高了工件与气体接触的机会，弥补了静态摆放工件和单点定向布气形成的死区这一缺点，使真空炉内气体更均匀。
【专利说明】一种真空炉旋转进气装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种真空炉旋转进气装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术真空电炉【技术领域】(如真空热处理炉、化学气相沉积炉等)工件摆放在料台上，工艺气体进气多采用单点进气或多点分布进气方式，工件摆放和进气均为静态方式，这样处理具有结构简单，制作方便的特点，但是缺点是气体和工件接触不均匀，易出现气体流动死角，在讲究气体流场分布的材料处理工艺(如气相沉积工艺)中易造成产品处理不均匀。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足而提供一种结构简单、在保证高温和真空的前提下实现料台旋转和气体均匀分布，使工件与气体充分接触，避免了出现接触死角，处理效果更加均匀的真空炉旋转进气装置。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是:
[0005]一种真空炉旋转进气装置，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气孔，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。
[0006]所述旋转轴的外圆在进气口的位置设有与进气口连通的气槽，所述旋转轴通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置密封并且所述旋转机械密封装置外安装有水冷套进行水冷降温。
[0007]所述旋转轴上安装有驱动链轮，所述驱动链轮通过传动装置于电机的输出端连接。
[0008]由于采用上述方案，本装置在旋转轴的中心设置了气体通道，一端连接外部气源，另一端与真空炉的加热室连通，旋转轴在炉体内采用石墨旋转轴，石墨旋转轴在炉体内部分的侧面上开有数个出气孔，气体通过该通道后在末端以散射的形式进入真空炉的加热室内，由于气体也呈现出360度全范围的喷射，从而实现了全角度进气的均匀布气效果。
[0009]综上所述，本专利在保证真空条件的前提下通过对料台和进气的旋转处理，使真空炉内气体更均匀，提高了工件与气体接触的机会，弥补了静态摆放工件和单点定向布气形成的死区这一缺点。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型安装在真空炉上的结构示意图；
[0011]图2是图1A处的放大图。[0012]附图1至2中，I——旋转放料台，2——加热室，3——炉体，4——石墨旋转轴，5——旋转机构，6——排气口，51——旋转轴，52——驱动链轮，53——旋转机械密封装置，54——水冷套，55——进气口。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图，进一步详细说明本专利的【具体实施方式】。
[0014]参照图1至2，真空炉包括炉体3、加热室2、真空炉旋转进气装置5和排气口 6，真空炉旋转进气装置5包括旋转轴51和石墨旋转轴4，所述石墨旋转轴4的一端与所述旋转轴51连接，另一端设置在真空炉炉体3的加热室6内，并且所述加热室6内设有与石墨旋转轴4连接的旋转放样台1，所述旋转轴51和石墨旋转轴4的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴51上设有与所述气体通道连通的进气口 55，所述石墨旋转轴4的侧面在加热室2内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气孔7，所述旋转轴51的外圆在进气口的位置设有与进气口 55连通的气槽，所述旋转轴51通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴51在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置53密封，并且旋转机械密封装置53外通过水冷套54进行水冷保护，使得从进气口 55中进入的气体只能进入到气体通道中。
[0015]旋转放样台I选用耐高温性能的石墨材料，旋转轴51为金属主动轴芯，真空炉旋转进气装置5的水冷套54采用法兰连接形式与真空容器的安装座连接，旋转轴51与石墨旋转轴4的连接采用螺纹连接方式或者销钉连接方式。金属主动芯轴安装在一个的旋转机械密封装置53内，该旋转机械密封装置53采取水冷保护，保护真空室内高温易损坏密封件以及金属结构件，同时旋转机械密封装置53对主动轴实现径向密封，这样就实现了旋转运动下整套装置的动态密封。
[0016]在旋转轴51的中心设置了气体通道，一端连接外部气源，另一端通过石墨旋转轴4与炉体3内直通，石墨旋转轴4的末端侧面开有数个出气孔7，气体通过该通道后在末端以散射的形式进入真空腔内。在主动轴旋转的同时气体也呈现出360度全范围的喷射，从而实现了全角度进气的均匀布气效果。
【权利要求】
1.一种真空炉旋转进气装置，其特征在于，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气体通道，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。
2.根据权利要求1所述的真空炉旋转进气装置，其特征在于，所述旋转轴的外圆在进气口的位置设有与进气口连通的气槽，所述旋转轴通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置密封并且所述旋转机械密封装置外安装有水冷套进行水冷降温。
3.根据权利要求1或2所述的真空炉旋转进气装置，其特征在于，所述旋转轴上安装有驱动链轮，所述驱动链轮通过传动装置于电机的输出端连接。
【文档编号】F27D7/02GK203443361SQ201320467549
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年8月1日 优先权日:2013年8月1日
【发明者】曹瑶琼, 周文中, 王胜利, 罗赛 申请人:湖南科源真空装备有限公司