技术总结
本实用新型提供一种用于直拉炉的水冷设备,包括水冷套,所述水冷套包括外筒和嵌套于外筒内的内筒,其特征在于:所述外筒和所述内筒之间设置有螺旋形水道;所述螺旋形水道的一端与设置于所述水冷套的进水口连接;所述螺旋形水道的另一端与设置于所述水冷套的出水口连接;所述水冷套通过法兰盘可拆卸的与直拉炉出料口连接,用本实新型的有益效果是通过增大冷却水道与单晶硅棒料的换热面积,提高了冷却效率。
技术研发人员:靳立辉;姚长娟;刘旭光;李萌
受保护的技术使用者:天津环博科技有限责任公司
技术研发日:2018.06.26
技术公布日:2019.05.24