均热板的制作方法

本发明涉及均热板。

背景技术：

近年来，在智能手机、平板电脑等移动终端中，由于元件的高集成化、高性能化而导致发热量增加。另外，随着产品的小型化发展，发热密度增加，因此散热对策变得重要。

作为散热能力高的热对策部件，可列举作为面状的热管的均热板。均热板整体的表观导热率优于铜、铝等金属的几倍～几十倍左右。

作为利用了均热板的热对策部件，例如在专利文献1中列举了一种平面型热管，该平面型热管具有容器和工作液，该容器通过对置的两块板状体在中央部形成有具有空洞部的凸部，该工作液被封入上述空洞部，上述空洞部具备芯体构造，上述凸部的外周部通过激光焊接进行密封。

专利文献1：日本特开2016-35348号公报

在专利文献1所记载的平面型热管中，通过激光焊接对凸部的外周部进行密封，但在激光焊接时板状体被加热，从而存在平面型热管整体产生翘曲的问题。

技术实现要素：

本发明是鉴于这样的状况而完成的，其目的在于提供一种能够减少因伴有加热的接合而产生的翘曲的均热板。

本发明的均热板的特征在于，具备：壳体，由对置的第一片材及第二片材构成，上述第一片材及第二片材的外缘通过伴有加热的接合而接合；工作液，被封入上述壳体内；芯体，设置于上述第一片材和/或上述第二片材的内壁面；以及支柱，设置于上述第一片材和/或上述第二片材的内壁面，上述支柱具备用于在上述壳体内形成空洞的第一支柱、和用于抑制由接合上述第一片材及上述第二片材时的加热引起的上述壳体的翘曲的第二支柱，上述第一支柱的每一个的面积为上述壳体的俯视观察下的面积的0.05％以下，上述第二支柱的每一个的面积为上述壳体的俯视观察下的面积的0.5％以上7.0％以下，俯视观察上述均热板时的外形形状为大致长方形，或者由多个大致长方形的组合构成的形状，上述第二支柱在上述大致长方形中的长度方向的长度最长的最长大致长方形的内侧，沿着上述最长大致长方形的长度方向，设置于经过上述最长大致长方形的中心点的位置，在上述最长大致长方形的长度方向上的上述第二支柱的长度尺寸为上述最长大致长方形的长度尺寸的30％以上70％以下，在上述最长大致长方形的宽度方向上的上述第二支柱的宽度尺寸为上述最长大致长方形的宽度尺寸的5％以上10％以下。

根据本发明，能够提供一种能够减少因伴有加热的接合而产生的翘曲的均热板。

附图说明

图1是示意性地示出均热板的构造的一个例子的剖视图。

图2是示意性地示出均热板的一个例子的俯视图。

图3的(a)、图3的(b)以及图3的(c)是示意性地示出构成均热板的第二支柱的一个例子的剖视图。

图4是用于对均热板的俯视观察外形形状和第二支柱的位置关系进行说明的俯视图。

图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图5的(d)以及图5的(e)是示意性地示出均热板的另一例的俯视图。

图6是示意性地示出均热板的又一例的俯视图。

图7是示意性地示出均热板的又一例的俯视图。

具体实施方式

以下，对本发明的均热板进行说明。

但是，本发明并不限定于以下的结构，能够在不变更本发明的主旨的范围内适当变更而进行应用。此外，本发明也包括将以下记载的本发明的各个优选结构组合两个以上的结构。

以下所示的各实施方式只是例示，当然可以进行不同实施方式所示的结构的部分替换或组合。

本发明的均热板具备：壳体，由对置的第一片材及第二片材构成，上述第一片材及第二片材的外缘通过伴有加热的接合而被接合；工作液，被封入上述壳体内；芯体，设置于上述第一片材和/或上述第二片材的内壁面；以及支柱，设置于上述第一片材和/或上述第二片材的内壁面，上述均热板的特征在于，上述支柱具备用于在上述壳体内形成空洞的第一支柱、和用于抑制由接合上述第一片材及上述第二片材时的加热引起的上述壳体的翘曲的第二支柱，上述第一支柱的每一个的面积为上述壳体的俯视观察下的面积的0.05％以下，上述第二支柱的每一个的面积为上述壳体的俯视观察下的面积的0.5％以上，7.0％以下，俯视上述均热板时的外形形状为大致长方形，或者由多个大致长方形的组合构成的形状，上述第二支柱在上述大致长方形中的长度方向的长度最长的最长大致长方形的内侧，沿着上述最长大致长方形的长度方向，设置于经过上述最长大致长方形的中心点的位置，在上述最长大致长方形的长度方向上的上述第二支柱的长度尺寸为上述最长大致长方形的长度尺寸的30％以上70％以下，在上述最长大致长方形的宽度方向上的上述第二支柱的宽度尺寸为上述最长大致长方形的宽度尺寸的5％以上10％以下。

图1是示意性地示出均热板的构造的一个例子的剖视图。

图1所示的均热板1具备：壳体10，由对置的第一片材11及第二片材12构成；工作液20，被封入壳体10内；芯体30，设置于第一片材11的与第二片材12相对的主面11a(第一片材11的内壁面11a)；以及多个支柱40(第一支柱41及第二支柱42)，设置于第二片材12的与第一片材11对置的主面12a(第二片材12的内壁面12a)。

壳体10在内部具有空洞13，为了确保空洞13，第一片材11及第二片材12由第一支柱41支承。

第一片材11及第二片材12通过伴有加热的接合，在外缘相互接合，被密封。

在图1所示的均热板1中，芯体30具备配置于第一片材11的内壁面11a的网状物32。

支柱40可以与第二片材12成为一体，例如可以通过对第二片材12的内壁面12a进行蚀刻加工等而形成。

另外，支柱40也可以通过对第二片材12实施形成凹部和/或凸部的加工而形成。

将第一片材11及第二片材12的外缘接合的部分为密封部50。

工作液20作为液相存在于芯体30中。另外，工作液20主要作为气相(工作液为水的情况下是水蒸气)存在于空洞13内。

在均热板能够配置热源来使用。图1表示在第一片材11的不与第二片材12对置的主面(外壁面)配置热源120的情况。此外，供热源120配置的面也可以是第二片材12的不与第一片材11对置的主面。

通过热源120发出热量，在热源120的正上方存在于芯体30的工作液20汽化，带走热源120的热量并且汽化的工作液从网状物32移动到空洞13。

汽化的工作液20在壳体10内移动，在壳体10的外缘附近冷凝而成为液相。

成为液相的工作液20利用芯体30所具有的毛细力被芯体30吸收，在芯体30内再次向热源120侧移动，以带走热源120的热量。

通过使工作液在壳体内这样循环移动，利用均热板进行热源的冷却。

图2是示意性地示出均热板的一个例子的俯视图。

图2表示从构成均热板1的第二片材12侧观察的俯视图，透过第二片材12表示第一支柱41、第二支柱42以及芯体30的位置。

此外，图1也可以说是由图2所示的a-a截面切断均热板而表示的剖视图。

在图2所示的均热板1中，壳体的俯视形状为大致长方形，密封部50的形状为沿着大致长方形的外周的边的形状。

第一片材11及第二片材12的外缘通过伴有加热的接合而被接合，形成密封部50。

在图2所示的均热板1的大致中央设置有第二支柱42。

关于均热板1中的第二支柱42的位置的详细内容在后面叙述。

第二支柱的内部可以是多孔质，也可以是中空。

图3的(a)、图3的(b)以及图3的(c)是示意性地表示构成均热板的第二支柱的一个例子的剖视图。

图3的(a)所示的第二支柱42a与第二片材12成为一体。

图3的(b)所示的第二支柱42b的内部为多孔质。

图3的(c)所示的第二支柱42c的内部为中空。

与第二片材成为一体的第二支柱例如能够通过在通过切削加工、蚀刻等去除第二片材的一部分时，不去除成为第二支柱的部分的方法来获得。

作为获得内部为多孔质的第二支柱的方法，可列举在第二片材的表面烧结金属粒子、金属纤维的方法、将金属粒子、金属粒子的多孔质烧结体焊接于第二片材的表面的方法等。

作为获得内部为中空的第二支柱的方法，可列举通过对平坦的第二片材的表面实施肋加工而在第二片材的表面形成凸部的方法、对图3的(a)所示的第二支柱42a实施激光加工等而形成非贯通孔的方法等。

此外，第二支柱以外的支柱也与第二支柱同样，内部可以为多孔质，也可以为中空。

在均热板中，构成第一片材及第二片材的材料只要是具有适合用作均热板的特性，例如导热性、强度、柔软性等的材料，则没有特别限定。构成第一片材及第二片材的材料优选为金属材料，例如可列举铜、镍、铝、镁、钛、铁等，或者以它们为主成分的合金等。构成第一片材及第二片材的材料特别优选为铜。

在均热板中，工作液只要在壳体内的环境下能够产生气-液的相变，则没有特别限定，例如能够使用水、醇类、氟利昂替代物等。工作液优选为水性化合物，更优选为水。

在均热板中，芯体只要具有能够利用毛细力使工作液移动的毛细管构造，则没有特别限定。芯体的毛细管构造可以是现有的均热板中使用的公知的构造。作为毛细管构造，可列举具有细孔、槽、突起等凹凸的微小构造，例如多孔质构造、纤维构造、槽构造、网眼构造等。

在均热板中，优选芯体在壳体的内部，从蒸发部到冷凝部连续地设置。芯体的至少一部分可以与壳体成为一体。

在均热板中，芯体可以在第一片材的与内壁面相反侧的表面具备网状物、无纺布或多孔质体。例如，芯体可以由在第一片材的内壁面以规定间隔配置的多个突出部和配置在上述突出部上的网状物、无纺布或多孔质体构成，也可以由直接配置于第一片材的内壁面的网状物、无纺布或多孔质体构成。

均热板并不限定于上述实施方式，关于均热板的结构、制造条件等，可以在本发明的范围内，施加各种应用、变形。

例如，均热板也可以在第二片材的内壁面具备芯体。在该情况下，支柱也可以经由上述芯体支承第二片材而不与第二片材直接接触。

本发明的均热板的俯视时的外形形状为大致长方形，或者由多个大致长方形的组合构成的形状。

在外形形状是由多个大致长方形的组合构成的形状的情况下，构成外形形状的大致长方形的数量优选为5个以下，更优选为3个以下。

确定构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的数量的方法在后面叙述。

在本发明的均热板中，设置于第一片材和/或第二片材的内壁面的支柱具备用于在壳体内形成空洞的第一支柱、和用于抑制由接合第一片材及第二片材时的加热引起的壳体的翘曲的第二支柱。

第一支柱是用于在壳体内形成空洞的支柱，第一支柱的每一个的面积为壳体的俯视观察下的面积的0.05％以下。

第一支柱整体的面积优选为壳体的俯视观察下的面积的1％以上20％以下。

第二支柱在构成俯视均热板时的外形形状(以下，也称为俯视外形形状)的最长大致长方形的内侧，沿着该最长大致长方形的长度方向，设置于经过该最长大致长方形的中心点的位置。大致长方形的中心点是指该大致长方形的对角线彼此相交的点。

此外，最长大致长方形是指构成均热板的俯视外形形状的长方形中的长度方向的长度最长的长方形。

在最长大致长方形的长度方向上的第二支柱的长度尺寸为最长大致长方形的长度尺寸的30％以上，70％以下。

在最长大致长方形的宽度方向上的第二支柱的宽度尺寸为最长大致长方形的宽度尺寸的5％以上，10％以下。

另外，第二支柱的每一个的面积为壳体的俯视观察下的面积的0.5％以上7.0％以下。

通过将上述尺寸的第二支柱设置于上述位置，能够抑制在通过伴有加热的接合来接合第一片材及第二片材时产生的翘曲。

接着，使用图4对最长大致长方形进行说明。

图4是用于对均热板的俯视外形形状和第二支柱的位置关系进行说明的俯视图。

如图4所示，均热板1的俯视外形形状被认为是由一个大致长方形t1构成的形状，因此大致长方形t1成为最长大致长方形。

这里，均热板1的俯视外形形状是指均热板1整体的外形形状，并非仅指由密封部50包围的区域。

第二支柱42a以沿着大致长方形t1的长度方向，通过大致长方形t1的中心点ct1的方式设置在大致长方形t1的内侧。第二支柱42a沿着大致长方形t1的长度方向配置，因此配置在大致长方形t1的宽度方向的大致中央。

此外，均热板1的俯视外形形状相当于构成均热板1的壳体10的俯视外形形状。因此，在均热板1的俯视外形形状由单一的大致长方形(最长大致长方形)构成的情况下，大致长方形的面积相当于壳体10的俯视观察下的面积。

第二支柱42a的长度方向的长度尺寸l2a成为大致长方形t1的长度方向的长度尺寸lt1的30％以上70％以下。

另外，第二支柱42a的宽度方向的宽度尺寸w2a成为大致长方形t1的宽度方向的宽度尺寸wt1的5％以上10％以下。

第二支柱42a沿着大致长方形的长度方向，以规定的尺寸设置，由此能够抑制在通过加热来接合第一片材和第二片材时产生的翘曲。

本发明的均热板的俯视外形形状不限于大致长方形，也可以由多个大致长方形的组合构成。

参照图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图5的(d)以及图5的(e)对在均热板的俯视外形形状由多个大致长方形的组合构成的情况下，选择最长大致长方形的方法进行说明。

图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图5的(d)以及图5的(e)是示意性地示出均热板的另一例的俯视图。

如图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)以及图5的(d)所示，均热板2的俯视外形形状由大致长方形t2、大致长方形t3以及大致长方形t4的组合构成。不将均热板2的俯视外形形状的整体形成为一个大致长方形的理由在后面叙述。

这里，构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的形状及个数为大致长方形的个数最少，并且所有的大致长方形的长度方向的长度的合计最长的组合。

成为大致长方形的长度方向的长度的合计的基准的长度方向也可以根据各大致长方形而不同。另外，不需要由多个大致长方形将均热板的俯视外形形状形成为无间隙地填埋的形状，多个大致长方形也可以相互重叠。

在图5的(a)所示的均热板2中，大致长方形t2和大致长方形t3在区域x1中相互重叠，大致长方形t2和大致长方形t4在区域x2相互重叠。

如图5的(b)、图5的(c)以及图5的(d)所示，大致长方形t2、大致长方形t3以及大致长方形t4的长度方向的长度分别为lt2、lt3、lt4，lt2最长。因此，大致长方形t2成为最长大致长方形。因此，在均热板2中，沿着大致长方形t2的长度方向，在经过大致长方形t2的中心点ct2的位置设置有第二支柱42b。

第二支柱42b的长度方向的尺寸l2b为大致长方形t2的长度方向的尺寸lt2的30％以上70％以下，第二支柱42b的宽度方向的尺寸w2b为大致长方形t2的宽度方向的尺寸wt2的5％以上10％以下。

在本说明书中，大致长方形的长度方向是指对置的两边之间的距离较长的方向。在正方形的情况下，对置的两边之间的距离相等，将任意方向设为长度方向。

因此，大致长方形也包含正方形。

在本说明书中，均热板的俯视外形形状由大致长方形或多个大致长方形的组合构成。

这里，构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的数量优选为3个以下，更优选为2个以下。

若构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的数量为4个以上，则均热板的形状本身复杂化，制造成本变高。

在本说明书中，在均热板的俯视外形形状具有切口(缺损部)的情况下，根据假设不存在切口时的大致长方形的面积和切口的面积，决定是否考虑该切口。

具体而言，在切口的面积相对于假设不存在切口情况下的大致长方形的面积的比例为10％以下的情况下，视为该大致长方形不存在切口。因此，均热板的俯视外形形状整体成为一个最长大致长方形。

另一方面，在切口的面积相对于假设不存在切口的情况下的大致长方形的面积的比例超过10％的情况下，将该大致长方形分割为多个大致长方形。

此外，在分割后的大致长方形的面积为均热板的俯视外形形状的面积的10％以下的情况下，将该大致长方形从构成均热板的俯视外形形状的长方形排除。

如图5的(e)所示，在均热板2中，切口t6的面积相对于假设不存在切口的情况下的大致长方形t5的面积的比例超过10％(在图5的(e)中约为11％)。因此，认定均热板2的俯视外形形状不是一个大致长方形t5，而是由三个大致长方形t2、t3、t4的组合构成。

如果在图5的(e)所示的均热板2中，在切口t6的面积相对于假设不存在切口的情况下的大致长方形t5的面积的比例为10％以下的情况下，将大致长方形t5设为最长大致长方形。

在本发明的均热板中，支柱也可以具备偶数个第三支柱，该偶数个第三支柱配置为在俯视观察均热板时，相对于第二支柱大致线对称，并且不与第二支柱接触。

此外，第三支柱的每一个的面积为壳体的俯视观察下的面积的0.5％以上2.0％以下。

若具备第三支柱，则能够抑制相对于宽度方向的翘曲。

若第三支柱与第二支柱接触，则往往会妨碍壳体内的工作液的流动，冷却效率降低。

在最长大致长方形的宽度方向上的第三支柱的每一个的长度尺寸优选为最长大致长方形的宽度尺寸的10％以上20％以下。

在最长大致长方形的长度方向上的第三支柱的每一个的宽度尺寸优选为最长大致长方形的长度尺寸的2.5％以上10％以下。

优选第三支柱不与壳体的外缘接触。

若第三支柱与壳体的外缘接触，则往往会妨碍壳体内的工作液的流动，冷却效率降低。

第三支柱可以沿着最长大致长方形的宽度方向设置，也可以沿着最长大致长方形的长度方向设置，但优选沿着宽度方向设置。

关于第三支柱沿着哪个方向设置，比较第三支柱的长度方向的长度和宽度方向的长度，认为沿着长度长的方向。

参照图6对具备第三支柱的均热板的一个例子进行说明。

图6是示意性地示出均热板的又一例的俯视图。

图6所示的均热板3的俯视形状为大致长方形。

构成均热板3的最长大致长方形为大致长方形t7。

第二支柱42以沿着大致长方形t7的长度方向，经过大致长方形t7的中心点ct7的方式设置。因此，第二支柱42设置在大致长方形t7的宽度方向的大致中央。

第三支柱43以相对于第二支柱42大致线对称，并且不与第二支柱42接触的方式配置有偶数个(在图6中为2个)。

第三支柱43的每一个的面积优选为壳体的俯视观察下的面积的0.5％以上2.0％以下。

另外，优选第三支柱沿着大致长方形的宽度方向配置。

在大致长方形t7的宽度方向上的第三支柱43的每一个的长度尺寸l3a优选为大致长方形t7的宽度尺寸wt7的10％以上，20％以下(在图6中约为10.7％)。另外，在大致长方形t7的长度方向上的第三支柱的每一个的宽度尺寸w3a优选为大致长方形t7的长度尺寸lt7的2.5％以上10％以下(在图6中约为3.0％)。

比较第三支柱43的宽度尺寸w3a和长度尺寸l3a，长度尺寸l3a比宽度尺寸w3a长。因此，可以说第三支柱43沿着最长大致长方形即大致长方形t7的宽度方向配置。

在均热板的俯视外形形状由多个大致长方形的组合构成的情况下，也可以在最长大致长方形以外的大致长方形的内侧，沿着该大致长方形的长度方向，在经过该大致长方形的中心点的位置进一步设置第四支柱。

在大致长方形的长度方向上的第四支柱的长度尺寸优选为该大致长方形的长度尺寸的30％以上，70％以下。另外，在大致长方形的宽度方向上的第四支柱的宽度尺寸优选为该大致长方形的宽度尺寸的5％以上10％以下。

参照图7对设置有第四支柱的均热板的一个例子进行说明。

图7是示意性地示出均热板的又一例的俯视图。

图7所示的均热板4相当于在图5的(a)所示的均热板2追加了第四支柱的结构。

如图7所示，均热板4具备第二支柱42b以及第四支柱44。

在均热板4中，与图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图5的(d)以及图5的(e)所示的均热板2同样，俯视外形形状由大致长方形t2、大致长方形t3以及大致长方形t4的组合构成。因此，最长大致长方形为大致长方形t2这一点也与均热板2相同。除此之外，在均热板4中，在通过不是最长大致长方形的大致长方形t3的中心点，沿着大致长方形t3的长度方向，在经过大致长方形t3的中心点ct3的位置设置有第四支柱44。

第四支柱可以与第二支柱接触，但优选不接触。

[均热板的制造方法]

制造均热板的方法只要是能够获得上述结构的方法，则没有特别限定。例如，使配置有芯体的第一片材与配置有包含第一支柱及第二支柱的支柱的第二片材重叠，注入工作液，将第一片材和第二片材接合，由此能够获得均热板。

第一片材及第二片材的接合方法只要是伴有加热的接合即可，例如可列举激光焊接、电阻焊接、扩散接合、焊料接合、钎焊、tig焊接(钨－惰性气体焊接)、超声波接合等。其中，优选激光焊接、钎焊或扩散接合。

实施例

以下，表示更具体地公开了本发明的均热板的实施例。此外，本发明并不仅限定于这些实施例。

(比较例1)

(均热板的制作)

准备俯视观察下尺寸为宽度60mm×长度100mm，厚度0.2mm的铜箔作为第一片材。

另外，准备俯视观察下尺寸为宽度60mm×长度100mm，厚度0.08mm的铜箔作为第二片材。

利用过硫酸钠蚀刻第一片材而形成作为第一支柱的凸部后，使第一片材和第二片材以夹持网状物的方式贴合，对外缘部进行激光焊接，由此获得第一片材和第二片材贴合在一起的壳体。焊接后，通过导管而注入工作液。

(翘曲的确认)

利用激光测距仪确认表面凹凸并数值化，计算最凸部与最凹部的阶梯差，得到均热板的翘曲。

(热特性的确认)

使比较例1所涉及的均热板在外部气温25℃的状态下与陶瓷加热器接触，求出均热板的热源正上方的温度与距热源最远的位置的温度之差δt。

(比较例2～3，实施例1～2)

除了变更第二片材的蚀刻图案，不仅形成了第一支柱而且形成了第二支柱之外，按与比较例1相同的顺序焊接第一片材和第二片材，制作在与图4所示的均热板1相同的位置具有第二支柱的比较例2～3以及实施例1～2所涉及的均热板。

构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的长度方向的第二支柱的长度尺寸的比例、大致长方形的宽度方向的第二支柱的宽度尺寸的比例、以及第二支柱的每一个的面积相对于壳体的俯视观察下的面积的比例如表1所示。

此外，第二支柱的高度与第一支柱相同为150μm。

将均热板的俯视外形形状设为宽度60mm×长度100mm的长方形，分别计算第二支柱的长度尺寸以及宽度尺寸的比例[％]。

(实施例3)

除了变更第二片材的蚀刻图案，不仅形成了第一支柱而且形成了第二支柱以及第三支柱之外，按与比较例1相同的顺序焊接第一片材和第二片材，制作在与图6所示的均热板3相同的位置具有第二支柱及第三支柱的实施例3所涉及的均热板。

构成均热板的俯视外形形状的大致长方形的长度方向的第二支柱的长度尺寸的比例及第三支柱的宽度尺寸的比例、大致长方形的宽度方向的第二支柱的宽度尺寸及第三支柱的长度尺寸的比例、以及第二支柱及第三支柱的每一个的面积相对于壳体的俯视观察下的面积的比例如表1所示。

此外，第二支柱及第三支柱的高度与第一支柱相同为150μm。

将均热板的俯视外形形状设为宽度60mm×长度100mm的长方形，分别计算第二支柱及第三支柱的长度尺寸及宽度尺寸之比例[％]。

(翘曲以及热特性的对比)

关于均热板的翘曲，参考比较例1的翘曲为1.00时的比例，越接近0，意味着翘曲越被抑制。因此，将比例不足0.9评价为“○”，将0.9以上评价为“×”。

另外，关于热特性，也参考比较例1的δt为1.00时的比例，越接近1.00，表示距热源最远的位置的温度越低，热特性越良好。因此，将比例为0.9以上评价为“○”，将不足0.9评价为“×”。

翘曲以及热特性的对比结果如表1所示。

[表1]

由表1的结果可知，本发明的均热板能够减少因伴有加热的接合而产生的翘曲。另外，确认了在大致长方形的长度方向的第二支柱的长度尺寸不足大致长方形的长度尺寸的30％的情况下，几乎没有抑制翘曲的效果，在超过70％的情况下，热特性变差。

附图标记说明

1、2、3、4…均热板；10…壳体；11…第一片材；11a…第一片材的内壁面；12…第二片材；12a…第二片材的内壁面；13…空洞；20…工作液；30…芯体；32…网状物；40…支柱；41…第一支柱；42、42a、42b、42c…第二支柱；43…第三支柱；44…第四支柱；50…密封部；120…热源；ct1、ct2、ct3、ct7…大致长方形的中心点；t1、t2、t3、t4、t5、t7…大致长方形；t6…切口；lt1、lt2、lt3、lt4、lt7…大致长方形的长度方向的长度尺寸；l2a、l2b…第二支柱的长度方向的长度尺寸；l3a…第三支柱的长度方向的长度尺寸；wt1、wt2、wt7…大致长方形的宽度方向的宽度尺寸；w2a、w2b…第二支柱的宽度方向的宽度尺寸；w3a…第三支柱的宽度方向的宽度尺寸；x1…大致长方形t2与大致长方形t3重叠的区域；x2…大致长方形t2与大致长方形t4重叠的区域。