技术特征：
技术总结
本发明提供了一种自清洁的传输设备，其包括：多个转动装置以及多个清洁装置，所述多个转动装置沿第一方向排列设置，所述多个清洁装置沿第一方向排列设置，所述转动装置与所述清洁装置一一对应；当对所述转动装置进行清洁时，所述清洁装置与所述转动装置接触，所述转动装置进行转动，以使所述清洁装置对所述转动装置进行清洁。本发明还提供了一种具有该传输设备的湿法设备以及该传输设备的清洁方法。本发明的自清洁的传输设备能够对转动装置及时地进行自动清洁，从而不会在基板上留下辊轮印，进而可以提高基板的良率。此外，由于采用自动清洁，无需定期停机清洁，也无需人工清洁，从而节省人力物力。
技术研发人员：张鹏飞;唐林宁
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.07.28
技术公布日：2017.09.22