陶瓷蜂窝过滤器及其制造方法

专利名称：：陶瓷蜂窝过滤器及其制造方法
技术领域：
：本发明涉及净化从柴油机等排出的含有粒状物质的废气所使用陶瓷蜂窝过滤器及其制造方法。
背景技术：
：在柴油机的废气中，含有由碳质构成的煤和高沸点碳氢化合物成分所构成的SOF成分(SolubleOrganicFraction:可溶性有机成分)为主成分PM(ParticulateMatter:粒状物质)，若其被排放到大气中，则有可能对人体和环境造成不利影响。因此，历来进行的是在柴油机的排气管的途中装配用于捕集PM的陶瓷蜂窝过滤器(以下将陶瓷蜂窝过滤器称为"蜂窝过滤器")。捕集并净化废气中的PM的蜂窝过滤器的一例显示在图2(a)及图2(b)中。蜂窝过滤器10包括陶瓷蜂窝结构体，其由形成多个流出侧封闭流路3和流入侧封闭流路4的多孔质隔壁2和外周壁1构成；上游侧密封部6a和下游侧密封部6c，其将流出侧封闭流路3和流入侧封闭流路4的废气流入侧端面8和废气流出侧端面9格子状地交互封闭。蜂窝的所述外周壁1被金属网或陶瓷制的垫子等所形成的夹持构件(未图示)夹持而使之在使用中无法移动，并被配置在金属制收纳容器(未图示)内。在蜂窝过滤器10中，废气的净化以如下方式进行。如虚线箭头所示，废气从开口在废气流入侧端面8上的流出封闭流路3流入。然后在通过隔壁2时，详细地说是在通过由存在于隔壁2的表面及内部的相互连通的细孔形成的连通孔时，废气中所含的PM被捕集。得到净化的废气从开口于废气流出侧端面9上的流入侧封闭流路4流出，被排放到大气中。若PM继续被隔壁2捕集，则隔壁的表面和内部的连通孔被PM堵塞，废气通过蜂窝过滤器时的压力损失增加。因此需要在压力损失达到规定值前燃烧除去PM以使蜂窝过滤器再生。然而，在通常的柴油机的运转状态下，PM越燃烧，高的废气温度得到的就越少，因此，例如将作为高比表面积材料的氧化铝中负载有白金族金属和氧化铈等稀土类氧化物的氧化催化剂一体地负载于隔壁2的表面和细孔内，由此促进氧化反应，以使即使在低废气温度下也可以燃烧除去PM的催化剂负载型的蜂窝过滤器被实用化。使用该催化剂负载型蜂窝过滤器时，即使在比较低的废气温度下，催化剂也会使燃烧得到促进，因此在通常的柴油机的运转状态下连续再生(连续性的PM的燃烧和除去)也得以进行。在废气的温度更低，上述连续再生无法进行(催化剂未被活化)这样的运转状态下，PM在隔壁的表面及隔壁的内部的连通孔内堆积，蜂窝过滤器的压力损失增加。这种情况下，会采取加热器等的加热装置，以及在废气中混合未燃的燃料以燃烧除去PM这种所谓的强制再生。蜂窝过滤器从开始PM的捕集到进行强制再生的压力损失的变化显示在图3中。PM的捕集开始时为PO的压力损失，经过一段时间随着PM的堆积量增加而变大，成为规定值P1时进行强制再生。为了进行强制再生，无论是利用加热器的热量还是将未燃的燃料混合到废气中，都会伴有能量消耗，因此，从捕集开始至强制再生被进行的时间T优选为长的方面。为了延长所述时间T，虽然可以借助加大隔壁的细孔容积和平均细孔径，以减小蜂窝过滤器的压力损失，但这种方法会发生初期(图中A的期间)的PM捕集效率降低的问题。针对上述问题，特开2006-685号公开有一种使陶瓷粒子粘合在隔壁表面使之堵塞开口的粗大的细孔的蜂窝结构体，该蜂窝结构体即使加大隔壁的细孔容积和平均细孔径，捕集效率的降低也很少，特别记载在PM捕集初期的捕集效率的降低也很少。作为类似的技术，特开2004-74002号公开有一种配设了涂层粒子的捕集效率高且压力损失小的蜂窝过滤器，该涂层粒子只覆盖包含细孔的开口部及其附近在内的隔壁表面的一部分。特开2006-685号记载的蜂窝结构体和特开2004-74002记载的蜂窝过滤器，因为有陶瓷粒子堵塞开口于隔壁表面的细孔，所以PM难以进入隔壁内部的细孔而被隔壁表面捕集，因此初期的PM捕集效率的降低小，而被期待。然而，若PM难以流入到隔壁内部的细孔，则难以与细孔所负载的催化剂接触，无法充分获得PM的燃烧促进效果。因此，废气即使是能4够使催化剂活化的程度的温度也无法进行连续再生，由于堆积在隔壁表面的PM导致短时间内压力损失增加，从而产生频率地进行强制再生的需要。特开2005-296935，公开有一种PM捕集初期的捕集效率高，且压力损失小的废气过滤器，其连接装备有在细孔的内部或表面具有微小间隙的微粒子的凝集体。特开2005-296935号记载的废气过滤器，其着眼于由堆积在现有的蜂窝过滤器的隔壁上的PM构成的层作为压力损失低，且捕集效率高的过滤器有用的点，人工地形成替代该PM层的微细孔结构，其被视为可有效地用于使初期的高PM捕集效率和小的压力损失并立。然而，为了减小压力损失，虽然记载的是需要使微细孔结构的厚度在3.5一m以下，但实际上使用几乎球状的微粒子形成厚度3.5pm以下这种非常薄的微细孔结构非常困难。如果使用的微粒子是纤维状的，那么虽然可以形成所述微细孔结构，但是纤维状的微粒子有可能给人体带来不良影响，制造过程中的处理有困难。特开2007-130629号公开有一种由多孔质材料构成的废气净化过滤器，其是通过以耐热性材料被覆过滤器的细孔内而使之在细孔内具有三维的交联结构，由此，即使在没有PM堆积层时，也能够发挥高的捕集率。然而，耐热性材料的被覆是通过浸渍进行，因此隔壁表面的细孔开口部堵塞而直径变小，耐热性粒子在隔壁内部的细孔内面附着，细孔直径变小，具有压力损失上升这样的问题。
发明内容因此本发明的目的在于，获得一种制造容易且难以阻碍连续再生，在PM捕集初期也具有高的捕集效率的蜂窝过滤器。鉴于上述目的而锐意研究的结果是，本发明者等发现，如果不形成与PM层同等的微细孔结构，而是在捕集开始后使PM附着和堆积，将PM层容易快速形成的结构形成于隔壁内部的连通孔内，则能够解决上述问题，从而想到本发明。艮口，本发明的蜂窝过滤器，是具有有着被多孔质的隔壁分开的多个流路的蜂窝结构体，和交互地设于所述流路的废气流入侧或废气流出侧的密封部的陶瓷蜂窝过滤器，其中，开口于所述隔壁的表面的细孔的面积率为20%以上，在由所述隔壁的内部的相互连通的细孔所形成的连通孔内，具有由与气体一起插入的耐热性粒子构成，以堵塞所述连通孔的方式被形成的多孔性的交联状结构物，所述交联状结构物在所述陶瓷蜂窝过滤器的废气流出侧比在废气流入侧形成得多。本发明的蜂窝过滤器，优选所述耐热性粒子的平均粒径是所述隔壁的平均细孔直径的2/3倍以下，且在0.5pm以上。制造所述陶瓷蜂窝过滤器的本发明的方法，是从所述废气流入侧将所述耐热性粒子与气体一起插入。优选在所述连通孔内将所述耐热性粒子与气体一起插入之前，预先使水浸透所述连通孔内。优选在所述连通孔内将所述耐热性粒子与气体一起插入之前，仅先使所述流路的废气流入侧没于水中，由此使水浸透所述连通孔内。本发明蜂窝过滤器，PM捕集初期的捕集效率高，很难发生压力损失的上升，连续再生被更有效率地进行，因此至进行强制再生的时间长。另外根据本发明的方法，能够在蜂窝过滤器的下游侧的隔壁内更有效率地形成多孔性的交联状结构物。图1是表示本发明蜂窝过滤器的隔壁的模式剖面图。图2(a)是与流路垂直地表示蜂窝过滤器的一例的模式剖面图。图2(b)是与流路平行地表示蜂窝过滤器的一例的模式剖面图。图3是模式化地表示捕集时间和压力损失的关系的曲线图。图4是模式化地表示捕集时间和捕集效率的关系的曲线图。图5(a)是表示在隔壁的表面及内部PM被捕集的状态的模式剖面图。图5(b)是表示在隔壁的表面及内部PM被捕集的其他状态的模式剖面图。图5(c)是表示在隔壁的表面及内部PM被捕集的另外的其他状态的模式剖面图。图5(d)是表示在隔壁的表面及内部PM被捕集的另外的其他状态的模式剖面图。6图6是表示捕集有PM的本发明的蜂窝过滤器的隔壁的模式剖面图。图7是表示在隔壁表面形成有交联状结构物的状态的模式剖面图。图8是表示将耐热性粒子的分散液插入连通孔内时的隔壁内的状态的模式剖面图。图9是表示实施例1和比较例1的蜂窝过滤器的捕集时间和压力损失的关系的曲线图。具体实施方式在现有的蜂窝过滤器中，废气的温度低而蜂窝过滤器的连续再生无法进行时，随着自PM捕集开始的时间推移蜂窝过滤器的压力损失的变化显示在图3中，捕集效率的变化显示在图4中。紧接PM的捕集开始之后，存在蜂窝过滤器的压力的损失小的期间A(图3)。该期间A之间捕集效率也小(图4)。这是由于，如图5(a)模式化地所示，在使隔壁内部的互相连通的细孔所形成的连通孔22内通过废气时，大部分PM30通过而没有被隔壁的细孔捕捉。随着时间的推移，连通孔22内从图5(a)所示的状态变化到图5(b)所示的状态。即，使所述连通孔22内通过废气时PM30被隔壁内部的细孔捕捉或附着在隔壁的表面21上，堆积于隔壁表面和细孔的表面。此堆积的PM30使所述连通孔22狭窄，并封锁了一部分的连通孔22，因此如图3所示的期间B，压力损失急剧变大。然后，封锁了连通孔22的PM30自身作为捕集PM的过滤器发挥功能，因此如图4所示的期间B，捕集效率也急剧上升。此外若经过时间，则如图5(c)所示，在隔壁的表面及连通孔22内部由PM形成的过滤层被更广范围地形成，因此如图3的期间C所示，虽然压力损失大，但其增加率变小，如图4的期间C所示，捕集效率大体一定。此外若经过时间，则如图5(d)所示，隔壁表面的PM的层成长，随之而来的是压力损失上升。然后在图3中显示，从捕集开始经过时间T而压力损失成为P1时，强制再生进行。在现有的蜂窝过滤器中，为了延长至进行强制再生的时间而进行的是，加大隔壁的细孔容积和平均细孔直径，但是若加大细孔容积和平均细7孔直径，则PM捕集开始时的捕集效率变小，且PM捕集效率小的期间A和期间B的时间变长。本发明的蜂窝过滤器，如图1所示，在由隔壁2的内部的相互连通的细孔所形成的连通孔22内，由废气流入侧端面8使之与气体一起插入的耐热性粒子41所构成的多孔性的交联状结构物40以堵塞连通孔22的方式形成。在该交联状结构物40上附着有PM30，如图6所示，连通孔22内由PM30构成的过滤层被早期形成，成为图5(c)所示的状态，因此图3和图4所示的期间A和期间B的时间变短，即使在PM捕集初期也能够发挥出高的捕集效率。在此，耐热性粒子41需要与气体一起插入。相对于此，例如将耐热性粒子的分散液插入连通孔22内时，如图8所示，耐热性粒子41附着于连通孔22的内面整体，使连通孔22狭窄，因此蜂窝过滤器的压力损失变大。优选使交联状结构物在陶瓷蜂窝过滤器的废气流出侧比在废气流入侧形成得多。废气中所含的PM从废气流入侧端面8进入流路3内时，由于惯性导致其难以进入废气流入侧端面8附近的细也孔内，而是大多进入到废气流出侧端面9附近的细孔内。因此，通过使交联状结构物大量形成于废气流出侧，PM被高效率地捕集。为了使交联状结构物在陶瓷蜂窝过滤器的废气流出侧比在废气流入侧形成得多，优选由废气流入侧端面8将耐热性粒子与气体一起插入流路3内。由此，与PM同样，耐热性粒子由于惯性而能够大量进入废气流出侧端面9附近的细孔内，在废气流出侧大量形成交联状结构物。在此，上述交联状结构物40需要在连通孔22的内部比在隔壁的表面21形成得多。隔壁的表面21所形成的交联状结构物优选尽可能少。如图7所示，若在隔壁的表面21上形成有交联状结构物40，则开口于隔壁的表面21的细孔的面积率变低，PM难以进入隔壁内部的细孔，因此与特开2006-685号和特开2004-74002号所述的蜂窝过滤器一样，有可能阻碍连续再生的进行。因此本发明的蜂窝过滤器将交联状结构物40在隔壁表面21上的存在比例限定得很低，通过将开口于隔壁的表面21的细孔的面积率规定为20%以上，连续再生会快速地进行。开口于隔壁的表面21的细孔的面积率其上限没有特别规定，但优选为60%以下。比60%大时，蜂窝过滤器的强度降低。优选构成交联状结构物40的耐热性粒子41的平均粒径是隔壁2的平均细孔直径的2/3倍以下，且为0.5pm以上。若耐热性粒子41的平均粒径超过平均细孔直径的2/3倍，则在插入到连通孔22内时，耐热性粒子41难以进入连通孔22内，在如图7所示的隔壁的表面21的细孔开口部交联状结构物形成，阻碍连续再生的进行。更优选耐热性粒子41的平均粒径低于隔壁2的平均细孔直径的1/2倍。另一方面，若构成交联状结构物的耐热性粒子的平均粒径低于0.5pm，则交联状结构物40的气孔率会比较小，蜂窝过滤器的压力损失变大。此外，将耐热性粒子由隔壁的表面插入连通孔内时，大部分耐热性粒子会通过连通孔而不做停留，在连通孔内形成交联状结构物需要大量时间。更优选构成交联结构物的耐热性粒子的平均粒径为1,以上。另夕卜，隔壁2的平均细孔径为1530pm的会实现压力损失的降低和捕集效率的提高的并立，因此优选。构成交联状结构物40的耐热性粒子41的材质，优选针对PM的燃烧时的高温不会分解，耐热冲击性大的，优选堇青石、碳化硅、钛酸铝。特别是与隔壁20为同材质的，因为与隔壁2和交联状结构物40的热膨胀率相等，所以优选。所述耐热性粒子41的形状，优选长宽比为15的大体球状的。耐热性粒子41的形状为纤维状、柱状或针状时，特别是其材质是堇青石、碳化硅、钛酸铝等的陶瓷时，带给人体的不利影响现在还未排除，制造过程中的处理困难。更优选的长宽比的范围是12。优选交联状结构物在直径比较大的连通孔的内部选择性的形成，而在直径小的连通孔的内部尽可能不形成。通过形成这样的结构，既能够抑制蜂窝过滤器的压力损失的上升，又能够使PM的捕集效率提高。这样的结构能够通过使水浸透连通孔内后，将耐热性粒子与气体一起插入而形成。若在使水浸透连通孔内的状态下使气体通过蜂窝过滤器，则气体将连通孔内的水压出到隔壁的外部而通过连通孔。这时，直径越大的连通孔水越容易被压出，气体会选择性地通过直径大的连通孔。因此该气体中所含的耐热性粒子也会选择性地进入直径大的连通孔，其结果是，交联状结构物被选择性地形成于直径大的连通孔的内部。此外，通过仅使流路的废气流入侧没于水中，只使水浸透废气流入侧端面附近的隔壁内部的细孔内，在废气流出侧端面附近的隔壁内部的细孔内形成水未被充满的状态，将耐热性粒子与气体一起插入到这种状态的蜂窝过滤器中，能够在在废气流出侧端面附近的隔壁的细孔内形成更多的交联状结构物，从而能够有效地捕集PM。通过以下的实施例更详细地说明本发明，但本发明并不受其限定。实施例1(蜂窝过滤器的制作)以公知的方法制造图2所示的蜂窝过滤器10。首先，使用高岭土、滑石、硅石、氧化铝和氢氧化铝的粉末，调整成含有50质量％的Si02、35质量％的八1203和15质量％的MgO的堇青石生成原料粉末(其含量可以在Si02:4852%、A1203:3337%和MgO:1215%的范围调节。)。其中作为粘合剂添加甲基纤维素和羟丙基甲基纤维素，作为润滑材、造孔剂添加发泡树脂，进行充分干式混合后，添加水，进行充分的混匀，制造可塑化的陶瓷坯土。将该坯土压出成形并切断，得到具有蜂窝结构的成形体。干燥并烧成该成形体，得到堇青石质陶瓷蜂窝结构体后，在各流路3、4的一端设置密封部6a、6c而制造蜂窝过滤器10。该蜂窝过滤器10的外径为300mm，长为360mm，隔壁的厚度为0.3mm和隔壁间距为1.5mm。(交联状结构物的形成)由所得到的蜂窝过滤器10的废气流入侧端面8，将混合有所1所示的平均粒径的耐热性粒子(平均长宽比1.2的大体球形堇青石粉末)的空气以8NmVmin的流量送入5分钟，使之从废气流出侧端面9排出，从而在隔壁2的连通孔内形成交联状结构物。送入耐热性粒子之后的蜂窝过滤器10在130(TC进行3小时烧成，使交联状结构物粘合在连通孔的内面。其后设置外周壁l。(催化剂的负载)接着在蜂窝过滤器10上负载白金催化剂。将由白金和活性氧化铝构成的堇青石材均等地以1.5g/升负载于隔壁整体(蜂窝过滤器容积每1升负载1.5g的白金)。(平均细孔直径和气孔率的测定)10以上述的条件制造4个同样的蜂窝过滤器，使用其中1个通过压汞法求得蜂窝过滤器的平均细孔直径和气孔率。(细孔的开口面积率的测定)根据SEM照片(放大100倍)通过图像分析求得开口废气流出侧端面9附近的隔壁2的表面21(流出侧封闭流路3侧的表面21)的细孔的开口面积率。(下游侧和上游侧的质量差的测定)使用其余的蜂窝过滤器之中的1个，从蜂窝过滤器的上游侧和下游侧切出试验片(l边为100mm的正方体)，测定各自的质量，求得质量差[(下游侧的试验片的质量)一(上游侧的试验片的质量)]。该值越大，表示交联状结构物在下游侧形成得比上流侧越多。(初期压力损失和捕集效率的测定)使用其余的蜂窝过滤器之中的1个，测定初期压力损失和捕集效率。首先，由废气流入侧端面8以10NmVmin的流量送入空气，测定初期压力损失。接着，由上述测定了压力损失的蜂窝过滤器的废气流入侧端面8侧，以空气流量10NmVmin，边以25g/h投入由粒子发生器发生的粒径0.042nm的碳粉，边使用SPMS(扫描粒子迁移谱分析仪ScanningMobilityParticleSizer)计测每分钟流入蜂窝过滤器的碳粉的粒子数和从蜂窝过滤器流出的碳粉的粒子数。碳粉的粒子数的计测使用TIS公司制型号3936。根据从投入开始20分钟至21分钟流入蜂窝过滤器的碳粉的粒子数Nin，和从蜂窝过滤器流出的碳粉的粒子数Nout，由式(Nin—Nout)/Nin求得捕集效率。(连续再生的评价)使用其余的1个蜂窝过滤器，进行连续再生是否进行的评价。由蜂窝过滤器的废气流入侧端面8侧以流量10NmVmin，与60(TC的空气一起，按25g/h投入由微粒子发生器发生的粒径0.042prn的碳粉2小时。测定这一时刻的蜂窝过滤器的压力损失(压损2h)，此外再测定在相同的条件下投入碳粉2小时后的压力损失(压损4h)。[压损4h/压损2h]的值是接近1的值时，表示连续再生进行，该值比1大时，则表示连续再生没有很好地进行。实施例1的蜂窝过滤器的平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率、下游侧和上游侧的质量差、初期压力损失、捕集效率和[压损4h/压损2h]显示在表1中。初期压力损失以将实施例1作为100的相对值表示。实施例1的蜂窝过滤器，可知[压损4h/压损2h]的值几乎为1，连续再生得以进行。比较例1制造蜂窝过滤器，除了在隔壁2的连通孔内未形成交联状结构物(未进行耐热性粒子的导入及其后的烧成工序)以外均与实施例1相同。使用这些蜂窝过滤器，与实施例1同样，测定蜂窝过滤器的平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率、下游侧和上游侧的质量差、初期压力损失(以实施例1为100的相对值)、捕集效率和[压损4h/压损2h]。结果显示在表1中。图9中显示随着时间推移捕集效率的变化。实施例1和比较例1的蜂窝过滤器的捕集效率大体恒定的时间Tl和T2，分别是碳粉投入的开始后30分钟和60分钟。实施例1的蜂窝过滤器与比较例1的现有的蜂窝过滤器比较，能够减少PM捕集初期的捕集效率的降低。实施例27和比较例2制造蜂窝过滤器，如表1所示变更插入隔壁2的连通孔内的耐热性粒子的粒径，除此之外均与实施例l相同。使用这些蜂窝过滤器，与实施例1同样，测定蜂窝过滤器的平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率、下游侧和上游侧的质量差、初期压力损失(以实施例1为100的相对值)、捕集效率和[压损4h/压损2h]。结果显示在表1中。由表1可知，细孔的开口面积率为20%以上，以堵塞隔壁2的内部的连通孔的方式形成有由耐热性粒子构成的交联状结构物的实施例17的本发明的蜂窝过滤器，捕集效率的值高达99.0%以上，压损4h/压损2h的值小至1.07以下。另一方面，在连通孔内部没有形成交联状结构物的比较例1的蜂窝过滤器，捕集效率的值低至95.2%。开口于隔壁的表面21的细孔的面积率低于20%的比较例2的蜂窝过滤器，压损4h/压损2h的值大至1.23。据以上能够理解为，本发明的蜂窝过滤器，连续再生被高效率地进行，PM捕集初期的捕集效率高。特别是实施例1及36的蜂窝过滤器能够理解为，由于构成交联状结构物的耐热性粒子的平均粒径低于隔壁的平12均细孔直径的2/3，且在0.5pm以上，因此使压力损失和高的捕集效率并<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>注(1):从蜂窝过滤器的下游侧和上游侧切下的试验片的质量差[下游侧一上游侧]。注(2):以将实施例1作为100的相对值表示。注(3):从投入开始20分钟至21分钟的捕集效率。实施例8、9和比较例3制作实施例8和9的蜂窝过滤器，除了变更向蜂窝过滤器插入耐热性粒子时的空气的流量以外，均与实施例l相同。在此，实施例8和9空气的流量分别为4NmVmin和21NmVmin。另夕卜，制作比较例3的蜂窝过滤器，向蜂窝过滤器插入耐热性粒子时，由废气流出侧端面9侧插入空气，除了如此变更以外均与实施例1相同。使用这些蜂窝过滤器，与实施例1同样，测定蜂窝过滤器的平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率、下游侧和上游侧的质量差、初期压力损失、捕集效率和[压损4h/压损2h]。因为平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率与实施例1的蜂窝过滤器相同，所以省略。其他测定结果显示在表2中。由实施例l、8和9可知，若加大空气的流量，则会使下游侧和上游侧的质量差的值变大，交联状结构物由于下游侧而更多地被形成。随之而来的是捕集效率提高。比较例3交联状结构物在上游侧大量形成，捕集效率降低。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>注(1):向蜂窝过滤器插入耐热性粒子时的空气的流量。注(2):从蜂窝过滤器的下游侧和上游侧切下的试验片的质量差[下游侧一上游侧]。注G):以将实施例1作为100的相对值表示。注(4):从投入开始20分钟至21分钟的捕集效率。注(5):从与实施例1的蜂窝过滤器相反方向插入耐热性粒子。实施例IO及11实施例10的蜂窝过滤器，其制作是在由废气流入侧端面8侧与空气一起插入耐热性粒子的工序之前，追加将蜂窝过滤器相整体浸入水中的工序，除此之外均与实施例1相同。实施例11的蜂窝过滤器，其制作不是将蜂窝过滤器相整体浸入水中，而是仅就全长之中废气流入侧的一半浸入水中，除此之外均与实施例IO相同。使用这些蜂窝过滤器，与实施例1同样，测定蜂窝过滤器的平均细孔直径、气孔率、细孔的开口面积率、下游侧和上游侧的质量差、初期压力损失、捕集效率和[压损4h/压损2h]。结果显示在表3中。实施例10和11的蜂窝过滤器与实施例1比较，初期压力损失同等，同时捕集效率进一步提高。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>注(1):从蜂窝过滤器的下游侧和上游侧切下的试验片的质量差[下游侧一上游侧]。注(2):以将实施例1作为100的相对值表示。注(3):从投入开始20分钟至21分钟的捕集效率。权利要求1.一种陶瓷蜂窝过滤器，其特征在于，包括具有被多孔质的隔壁分开的多个流路的蜂窝结构体；被交互地设于所述流路的废气流入侧或废气流出侧的密封部，其中，开口于所述隔壁的表面上的细孔的面积率为20％以上，在由所述隔壁的内部的相互连通的细孔形成的连通孔内，具有由与气体一起插入的耐热性粒子构成，以堵塞所述连通孔的方式形成的多孔性的交联状结构物，所述交联状结构物在所述陶瓷蜂窝过滤器的废气流出侧比在废气流入侧形成得多。2.根据权利要求1所述的陶瓷蜂窝过滤器，其特征在于，所述耐热性粒子的平均粒径是所述隔壁的平均细孔直径的2/3倍以下，且在0.5pm以上。3.—种制造权利要求1或2所述的陶瓷蜂窝过滤器的方法，其特征在于，从所述废气流入侧将所述耐热性粒子与气体一起插入。4.一种制造权利要求1或2所述的陶瓷蜂窝过滤器的方法，其特征在于，在将所述耐热性粒子与气体一起插入所述连通孔内之前，预先使水浸透所述连通孔内。5.根据权利要求3所述的制造陶瓷蜂窝过滤器的方法，其特征在于，在插入所述耐热性粒子之前，仅使所述流路的废气流入侧没于水中，由此使水浸透所述连通孔内。全文摘要一种具有有着被多孔质的隔壁分开的多个流路的蜂窝结构体，和被交互地设于所述流路的废气流入侧或废气流出侧的密封部的陶瓷蜂窝过滤器，开口于所述隔壁的表面的细孔的面积率为20％以上，在由所述隔壁的内部的相互连通的细孔所形成的连通孔内，具有由与气体一起插入的耐热性粒子构成，以堵塞所述连通孔的方式被形成的多孔性的交联状结构物，所述交联状结构物在所述陶瓷蜂窝过滤器的废气流出侧比在废气流入侧形成得多。文档编号B01D39/20GK101522281SQ20078003803公开日2009年9月2日申请日期2007年11月30日优先权日2006年11月30日发明者石泽俊崇申请人:日立金属株式会社