专利名称：微粒粉尘捕捉装置的制作方法
技术领域：
本实用新型系有关于一种粉尘捕集设备，尤其是关于一种微粒粉尘捕捉装置。
背景技术：
目前半导体以及液晶面板厂相关的制程中，常因制程所产生的废气粉尘而造成 制程管路阻塞或相关设备当机，影响生产力并增加现场维修费用，因此有效地解决 粉尘问题是一般半导体厂及液晶面板厂相当重视的环节， 一般业界粉尘捕捉设备多
半设定于半导体、液晶面板及拉晶生产制程的气体管路中安装使用；然而一般粉尘 捕捉设备有以下缺点极需要克服设备清洗频率高、滤心容易阻塞及粉尘捕捉总量
与效率较差，以上这些缺点乃为本实用新型人所欲探讨的课题。 发明内容
本实用新型目的在于，提供一种微粒粉尘捕捉装置，以克服传统粉尘捕集装置 仍存在的不完善之处，使之构造简单、容易清洗、可有效捕捉大量较大粒径的粉尘 的微粒粉尘捕捉。
根据上述目的， 一种微粒粉尘捕捉装置，其特征在于，包括 一用来捕捉微粒粉尘的本体，其为不锈钢材质；
一上层结构，其设于本体上层，其具有不锈钢材质的内层，并设有金属网状物； 一中层结构，其设于本体中层，其内设有过滤材，中层结构与上层结构中间设 有一隔板；
一下层结构，其设于本体下层，其内设有一至数个片状结构、气体导入口及过 滤材，中层结构与下层结构中间并设有一隔板；
一至数个用以将上层结构的气导入至中层结构的导气管，其贯穿上层结构与中 层结构，中层结构与下层结构亦设有一导气管；
一可将外部气导入至上层结构的进气口，其设于本体上方；
一可将下层结构的气体排出的排气口，其设于本体下方；
以及
一万向轮，其设于本体下方。
其中，上层结构、中层结构及下层结构均为不锈钢材质。通过上述装置，其上层结构用来作为粉尘大量捕集区，藉由进气口与导气管的 气口相对位置所产生的对流气流，让较大粒径的粉尘能容易附着堆积于附加于上层 结构的金属网状物上，作初步的捕集动作；中层结构为利用气流通过滤材的过滤方 式来达到将粉尘捕集的功效，并配合导气管进气口与导气管导气口的相对位置所产 生的分散气流，以达到有效充分地利用过滤材，且于过滤材上部留有空间以防止因 过滤材阻塞而造成气流无法通过而产生压力上升的情况；下层结构为利用片状结构 产生扰流方式将粉尘堆积于各扰流产生处，排气口前也放置一个过滤材增强粉尘捕 集效能；万向轮的目的是方便移动本体，藉由如此设计，经由上中下三层结构的捕 集，达到有效防止排气口后的管路或设施因粉尘而造成的堵塞问题，经此内部所设 计的构造来将粉尘捕集于本体内，以达到集中粉尘的功效。
本实用新型有益效果-
1. 本实用新型设定于半导体、液晶面板及拉晶生产制程的排气体管路中安装使 用，主要是将制程中所产生的微粒粉尘以此设备的构造设计来拦阻于本实用新型设 备的结构中。
2. 本实用新型为进气与排气方式将气体导入设备腔体内，经过内部结构将多数 的粉尘拦阻于结构中，在于排气口将处理过的气体排出。
3. 本实用新型本身并无动力设计，气体的导入与排出是靠现场既有的真空泵来 提供气体流动的动力。
4. 本实用新型安装简易，进气与排气口皆设置与管路相符规格的法兰来串接安装。
5. 本实用新型有一定的使用效能与保养周期，待设定的保养周期到达时，需停 机并开启上盖做内部清理与更换消耗品，清理并更换消耗品后期能回复新机状态， 利于次回使用并达到与新机相同的效能。
6. 设计为大量捕捉粉尘的结构。
7. 设计有防止因过滤材阻塞而造成压升的旁路(Bypass)设计。
8. 利用各层结构的气体导入与导出形成对流气流，容易将粉尘拦阻于滤材上。
9. 利用气流导流冲撞结构方式让粉尘停滞于扰流带。
为了能让审查员能更容易了解本实用新型的特点，请参阅以下附图及本实用新 型的实施方式说明。
图1为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的平面图。
图2A为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的上层结构立体图。
图2B为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的中层结构立体图。图2C为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的下层结构立体图。 图3A为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的上层结构平面图。 图3B为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的中层结构平面图。 图3C为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的下层结构平面图。
具体实施方式
请参阅图l，为本实用新型微粒粉尘捕捉装置的平面图，其包括本体IO，其 为不锈钢材质设计，用来捕捉微粒粉尘；上层结构20，其设于本体10上层，不锈 钢材质内层设有金属网状物21及金属网状物21';中层结构30，其设于本体IO 中层，其内设有过滤材31，中层结构30与上层结构中20间设有一隔板32;下层 结构40，其设于本体10下层，其内设有一至数个片状结构41、气体导入口42及 过滤材43，中层结构30与下层结构40中间并设有一隔板44; 一至数个导气管50， 其贯穿上层结构20与中层结构30，其系用来将上层结构20的气导入至中层结构 30，中层结构30与下层结构40亦设有一导气管51;进气口IN，其系设于本体IO 上方，可将外部气导入至上层结构30;排气口OUT，其系设于本体10下方，可将 下层结构40的气体排出；以及万向轮60，其系设于本体10下方。
请参阅图2A、 2B及2C所示，图2A为上层结构立体图，其包括金属网状物 21、导气管50、导气口50，及上中层隔板32;图2B为中层结构立体图，导气管 50、导气口50'、进气口50、过滤材31、上中层隔板32、中下层隔板44;图2C 为下层结构立体图，其包括片状结构41、气体导入口42及过滤材43。
请参阅图3A、 3B及3C所示，上层结构20用来作为粉尘大量捕集区，藉由进 气口 IN与导气管50的导气口 50，的相对位置所产生的对流气流，让较大粒径的 粉尘能容易附着堆积于附加于上层结构20的金属网状物21与金属网状物21'上， 作初步的捕集动作；中层结构30为利用气流通过滤材31的过滤方式来达到将粉尘 捕集的功效并配合导气管50的进气口 50"与导气管51的导气口 51'的相对位置 所产生的分散气流，以达到有效充分地利用过滤材31，且于过滤材31上部留有空 间以防止因过滤材31阻塞而造成气流无法通过而产生压力上升的情况；下层结构 40为利用片状结构41产生扰流的方式将粉尘堆积于各扰流产生处，排气口 OUT前 也放置一个过滤材43增强粉尘捕集效能；万向轮60的目的是方便移动本体10， 藉由如此设计，经由上中下三层结构的捕集，以达到有效防止排气口后的管路或设 施因粉尘而造成的堵塞问题，经此内部所设计的构造来将粉尘捕集于本体内，以达 到集中粉尘的功效。
以上所述仅是藉由较佳实施例详细说明本实用新型，然而对于该实施例所作 的任何修改与变化如本体的材质变化，皆不脱离本实用新型的精神与范围。
权利要求1.一种微粒粉尘捕捉装置，其特征在于，包括一用来捕捉微粒粉尘的本体，其为不锈钢材质；一上层结构，其设于本体上层，其具有不锈钢材质的内层，并设有金属网状物；一中层结构，其设于本体中层，其内设有过滤材，中层结构与上层结构中间设有一隔板；一下层结构，其设于本体下层，其内设有一至数个片状结构、气体导入口及过滤材，中层结构与下层结构中间并设有一隔板；一至数个用以将上层结构的气导入至中层结构的导气管，其贯穿上层结构与中层结构，中层结构与下层结构亦设有一导气管；一可将外部气导入至上层结构的进气口，其设于本体上方；一可将下层结构的气体排出的排气口，其设于本体下方；以及一万向轮，其设于本体下方。
2. 如权利要求1所述的微粒粉尘捕捉装置，其特征在于，上层结构、中层结 构及下层结构均为不锈钢材质。
专利摘要一种微粒粉尘捕捉装置，上层具有粉尘捕集区，其包括金属网状物；中层结构为过滤材，且于过滤材上部留有空间以防止因过滤材阻塞而造成气流无法通过而产生压力上升的情况；下层结构为用以产生扰流的片状结构，排气口前也设置有一个过滤材以增强粉尘捕集效能；本体上还设有方便移动的万向轮，藉由如此设计，经由上中下三层结构的捕集，以达到有效防止排气口后的管路或设施因粉尘而造成的堵塞问题，将粉尘捕集于本体内，以达到集中粉尘的功效。
文档编号B01D46/00GK201147662SQ20082000066
公开日2008年11月12日 申请日期2008年1月10日 优先权日2008年1月10日
发明者林世商 申请人:怀康科技股份有限公司