专利名称：除尘装置以及除尘系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种除尘装置以及除尘系统。
背景技术：
通常，在薄型显示器等的制造中，必须要使玻璃或塑料等薄基板的表面特别清洁。 通过在所谓净化室内从清洁头相对薄基板喷出气体并立即吸入，而且在上述气体中外加超 声波等，进行从基板表面上除去极微细的粉尘的方法(例如参照专利文献1)。但是，在表示现有技术的图10以及专利文献1中，鼓风机31设置在净化室32的 外侧33，通过气体排放配管34、气体吸引配管35连接，气体排放配管34中途的过滤箱36 配设在鼓风机31的附近、净化室32的外侧33。若对现有的图10进一步进行说明，则通常从鼓风机31排放的气体中含有过多的 异物，由于不能够原封不动地在净化室32那样的(气体清洁度被控制)空间内使用，所以 使其穿过过滤箱36内的HEPA过滤器37除去亚微细粒级的异物，经由挠性软管34A ， 金属配管34B等构成的气体排放配管34向清洁头38供给。从清洁头38的下表面相对图10中双点化线所示的基板39喷出的清洁气体从并 列设置在该下表面的吸引狭缝吸引，除去附着在基板39的表面上的粉尘(异物)，经由气体 吸引配管35，并经由鼓风机31附近的其他过滤器40而向鼓风机31的吸入部流入。专利文献1特公平7-55303号公报但是，在图10所示的现有的除尘系统(除尘配管系统图)中，从鼓风机31如箭头 a所示排放的气体穿过HEPA过滤器37而能够充分净化，但内存在该图中粗虚线所示的部位 的异物除了通过装配后的喷吹而除去之外别无良策。即，预先内存在粗虚线所示的挠性软 管34A*，金属配管34B*，清洁头38内的异物要通过数日 十数日喷吹才能够完 全除去。进而，每次更换挠性软管34A等也需要同样长时间的喷吹。假设未充分喷吹即结 束，则既污染净化室32的环境也污染制品(基板39)。
发明内容
因此，本发明所涉及的除尘装置是在清洁头壳体的加压气体流入口一侧具备内有 HEPA过滤器的过滤箱。而且，在清洁头壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤器 的过滤箱。而且，壳体和过滤箱是一体成型的。而且，本发明所涉及的除尘系统是在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧具备内 有HEPA过滤器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风 机，通过循环气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。而且，在清洁头的壳体的加压气体流入口一侧装卸自如地安装有内有HEPA过滤 器的过滤箱的除尘装置设置在净化室的内侧，并且在净化室的外侧设置鼓风机，通过循环 气体配管连接该鼓风机和上述除尘装置。
而且，壳体和过滤箱是一体成型的。根据本发明，能够省略HEPA过滤器和清洁头之间的所有配管，仅通过清洁头自身 的(装配之后的)喷吹进行的异物除去即可，能够实现显著地缩短喷吹时间。
图1是表示本发明所涉及的除尘系统的实施方式的结构说明图。图2是表示除尘装置的实施方式的主视图。图3是俯视图。图4是图2的G-G剖面图。图5是主要部分的主视图。图6是主要部分的仰视图。图7是图5的J-J剖面图。图8是表示除尘装置的其他实施方式的主视图。图9是图8的N-N剖面图。图10是表示现有例子的配管系统图。附图标记说明1 清洁头1A:壳体3 :HEPA 过滤器4 过滤箱5 鼓风机10:除尘装置15:循环气体配管42:加压气体流入口C 净化室
具体实施例方式以下，基于图示的实施方式对本发明进行详细说明。在图1中，C表示净化室，在该净化室C内配设有清洁头1，通过从清洁头1喷出以 及吸入的气体的喷流、或者进而外加超声波或产生离子而从薄型显示器等玻璃、塑料、金属 等薄基板2的表面上除去粉尘等异物而对其进行清洗。而且，在该清洁头1的壳体1A的加 压气体流入口一侧设置内有HEPA过滤器3的过滤箱4，(作为带有HEPA过滤器的单元)构 成除尘装置10，配设在上述净化室C的内侧。在净化室C的外侧配设气体循环驱动单元11。驱动单元11例如通过在基座12上 设置鼓风机5和阀类6、内有PRE过滤器7的过滤箱8、电气控制器9、以及成为排放配管的 一部分的柔性软管13、成为吸引配管的一部分的柔性软管14等构成。这样一来，鼓风机5设置在净化室C的外侧。而且，通过循环气体配管15连接该 鼓风机5和除尘装置10。若具体地对该循环气体配管15进行说明，则在图1中，鼓风机5的排放部16和过滤箱4的送入管部17、17通过排放配管18连接(连通联结)。而且，清洁头1的回流管部 19、19和鼓风机5的吸入部20通过中途加装了过滤箱8的回路配管21连接(连通联结)。 因此，上述循环气体配管15由排放配管18和回路配管21构成。另外，排放配管18由前述 的柔性软管13，除此之外的柔性软管22、23、24，以及金属配管25、25、25等构成。而且，回 路配管21由前述的柔性软管14，除此之外的柔性软管26、27、28，以及金属配管29、29、29 等构成。另外，排放配管18在内有HEPA过滤器3的过滤箱4的附近分支，并分别向两条送 入管部17、17连通联结。而且，回路配管21是清洁头1的两个回流管部19、19从中途合流 而成的。如图2 图7中具体地图示那样，清洁头1的壳体1A是左右细长的四边箱形，过 滤箱4也是左右细长的四边箱形。并且，壳体1A和过滤箱4重叠，通过联结锁(开闭夹)30 联结成上下一体状，并且相互装卸自如。即，内有HEPA过滤器3的过滤箱4装卸自如地安 装在清洁头1的壳体1A的加压气体流入口 42—侧。将壳体1A和过滤箱4的(前后方向) 厚度尺寸D设定成相等，并且将左右长度尺寸L设定成相等。这样一来，在壳体1A和过滤 箱4重叠并通过联结锁30锁定的状态下，前壁面和后壁面分别形成相同的平坦状的垂直平 面，从而形成一体单元状的箱形。如图4所示，在清洁头1的壳体1A的天井壁面(上壁面)上(左右细长的矩形 地)开设有加压气体流入口 42，上述的过滤箱4装卸自如地安装在清洁头1的壳体1A的加 压气体流入口 42 —侧。而且，如图6所示，在过滤箱4的底壁面4A上开设有加压气体送出 窗43、43，作为与上述加压气体流入口 42完全相同的尺寸、形状或者大致相同的尺寸、形状 而对应地堆栈。另外，优选地是在底壁面4A与壳体1A的天井壁面的抵接对应部位加设气密用密 封垫。在图2 图7中，HEPA过滤器3内设成占据过滤箱4的内部空间4C的下半部分，在 上半部分形成气体流路部44，使从左右的送入管部17、17流入的加压气体左右均等地穿过 HEPA过滤器3 (参照图4中的箭头E)。图4，在壳体1A的底壁面45上其前后宽度方向中央位置开设有喷出狭缝46，在其 喷出狭缝46的前后开设有吸引狭缝47、47，沿着箭头E方向穿过了前述HEPA过滤器3的 清洁的加压气体从喷出狭缝46喷出，在喷到沿着箭头K方向输送的基板2等被清洁物的上 表面上后立即从吸引狭缝47、47吸入，在流入由间隔壁48、48在壳体1A的内部间隔形成的 吸引室49、49后向垂直于图4的纸面的方向流动，并从图1和图2的(左右端)回流管部 19、19向箭头F方向流去。在本发明中，“HEPA过滤器”是指“能够除去亚微细粒级的异物的超微粒子除去用 过滤器”，特别是定义为包含ULPA过滤器。而且，通过HEPA过滤器，流入除去0. 5 y m以下 的异物，优选地是除去0.3 ym以下的异物。另外，“HEPA过滤器”是高效微粒空气过滤器 "High EfficiencyParticulate Air Filter，，的缩写。但是，如图1所示，要在配管连接了净化室C的内侧的除尘装置10和外侧的驱动 单元11等之后(也就是装配之后)，驱动鼓风机5旋转，进行运行至从图4的喷出狭缝46 喷出的异物消失为止(严格地说是规定的超微量的规定值以下)的喷吹，但在本发明中，如 果通过上述喷吹来除去仅内存在图4中粗虚线所示的清洁头1内的异物则已足够。因此，与内存在图8所示的粗虚线的极大范围内的异物的喷吹除去相比较，有几分之一的时间即 可。例如，在图8的现有例子中喷吹需要数日 十数日的时间，但在图1所示的本发明的实 施方式中则一日左右即可。而且，如图2 图7所示，由于通过联结锁30的操作，能够简单地使内有HEPA过滤 器3的过滤箱4从清洁头1上脱离下来，所以若将该过滤箱4运到净化室C的外侧对HEPA 过滤器3进行清洗，则能够再使用若干次。特别是，通过取下维修盖50将内部的HEPA过滤 器3取出则容易清洗。这样一来，在本发明中，维修也能够容易且迅速地进行，通过极短时 间的喷吹能够容易地除去上述内存的异物，喷出与净化室C的空气的清洁度相同水平的清 洁气体。以下，对本发明的其他实施方式进行说明。如图8以及图9中具体地图示的那样，壳体1A和过滤箱4是(通过金属等)一体 成型的。壳体1A和过滤箱4将(前后方向的)厚度尺寸D设定成相同，并且将左右长度尺 寸L设定成相同。这样一来，壳体1A和过滤箱4形成前壁面和后壁面为垂直平面的箱形。另外，清洁头1的壳体1A和过滤箱4能够自由进行设计变更，也能够自由设定成 厚度尺寸D相互不同。但是，将内置有HEPA过滤器3的过滤箱4和清洁头1 一体成型(图 8、图9)是重要的结构。如图9所示，在清洁头1的壳体1A的天井壁面(上表面)上(左右细长的矩形地) 开设有加压气体流入口 42，过滤箱4 一体成型在清洁头1的壳体1A的加压气体流入口 42、 42—侧。壳体1A和过滤箱4由上下间隔壁41间隔形成。HEPA过滤器3内设成占据过滤 箱4的内部空间4C的下半部分，在上半部分形成气体流路部44，使从左右的送入管部17、 17流入的加压气体左右均等地(沿着箭头E方向)穿过HEPA过滤器3。其他的结构与上述的实施方式相同。另外，在本发明中，能够自由地替换清洁头1的喷出狭缝46和吸引狭缝47的位 置，成为在从图4(图9)的底壁面45的中央吸引的同时分别从前后喷出气体的结构，进而， 也能够自由地附设超声波发生器或者附设离子发生器，清洁头1的形状、功能、构造能够自 由地进行各种设计变更。但是，在内置HEPA过滤器3的过滤箱4和清洁头1之间省略了金 属配管或挠性配管(柔性软管)是重要的结构。而且，如图2 图4所示，如果使过滤箱4 和清洁头1为堆栈构造(一体单元状)，则实现了紧凑化，处理也容易，而且具有能够降低气 体的通过阻力，装卸(分解)也容易的优点。如上所述，由于本发明所涉及的除尘装置是在清洁头1的壳体1A的加压气体流入 口 42 —侧具备内有HEPA过滤器3的过滤箱4的结构，所以即使用长的循环气体配管15与 鼓风机5连接，通过装配后的喷吹将内存在配管等中的异物除去的时间与图8等所示的现 有例子相比能够显著缩短。进而，在更换了循环气体配管15的软管等后，无需通过喷吹除 去内存在配管15内的异物，能够缩短喷吹时间。而且，由于是将内有HEPA过滤器3的过滤箱4装卸自如地安装在清洁头1的壳体 1A的加压气体流入口 42 —侧的结构，所以即使用长的循环气体配管15与鼓风机5连接，通 过装配后的喷吹将内存在配管等中的异物除去的时间与图8等所示的现有例子相比能够 显著缩短。进而，在更换了循环气体配管15的软管等后，无需通过喷吹除去内存在配管15 内的异物，能够缩短喷吹时间。而且，由于过滤箱4装卸自如，所以为了内部的HEPA过滤器3的清洗，可以仅将过滤箱4从净化室C中拿出而容易可靠地清洗，清洗后能够迅速地再使用。而且，由于壳体1A和过滤箱4是一体成型的，所以充分确保了清洁头1的强度和 刚性，能够获得轻量化以及结构的简单化。而且，由于本发明所涉及的除尘系统是将在清洁头1的壳体1A的加压气体流入口 42 一侧具备内有HEPA过滤器3的过滤箱4的除尘装置10设置在净化室C的内侧，并且在 净化室C的外侧设置鼓风机5，用循环气体配管15连接该鼓风机5和上述除尘装置10的结 构，所以如果预先清洗循环气体配管15的各零件，则即使在其后的装配之后不除去内存在 其中的异物，也能够通过HEPA过滤器3自动地除去，剩下的仅仅是清洁头1自身的喷吹所 进行的内存异物的除去，能够显著地缩短喷吹时间。而且，在更换了构成循环气体配管15 的软管等零件后，无需除去内存的异物，能够大幅度缩短喷吹的时间。而且，由于是将在清洁头1的壳体1A的加压气体流入口 42 —侧装卸自如地安装 了内有HEPA过滤器3的过滤箱4的除尘装置10设置在净化室C的内侧，并且在净化室C 的外侧设置鼓风机5，用循环气体配管15连接该鼓风机5和上述除尘装置10的结构，所以 如果预先清洗循环气体配管15的各零件，则即使在其后的装配之后不除去内存在其中的 异物，也能够通过HEPA过滤器3自动地除去，剩下的仅仅是清洁头1自身的喷吹所进行的 内存异物的除去，能够显著地缩短喷吹时间。而且，在更换了构成循环气体配管15的软管 等零件后，无需除去内存的异物，能够大幅度缩短喷吹的时间。而且，由于壳体1A和过滤箱4是一体成型的，所以充分确保了清洁头1的强度和 刚性，能够获得轻量化以及结构的简单化。
权利要求
一种除尘装置，其特征在于，在清洁头(1)壳体(1A)的加压气体流入口(42)一侧具备内有HEPA过滤器(3)的过滤箱(4)。
2.一种除尘装置，其特征在于，在清洁头(1)壳体(1A)的加压气体流入口(42) —侧装 卸自如地安装有内有HEPA过滤器(3)的过滤箱(4)。
3.如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，上述壳体(1A)和上述过滤箱(4)是一 体成型的。
4.一种除尘系统，其特征在于，在清洁头(1)的壳体(1A)的加压气体流入口(42) —侧 具备内有HEPA过滤器(3)的过滤箱⑷的除尘装置(10)设置在净化室(C)的内侧，并且 在净化室(C)的外侧设置鼓风机(5)，通过循环气体配管(15)连接该鼓风机(5)和上述除 尘装置(10)。
5.一种除尘系统，其特征在于，在清洁头(1)的壳体(1A)的加压气体流入口(42) —侧 装卸自如地安装有内有HEPA过滤器(3)的过滤箱(4)的除尘装置(10)设置在净化室(C) 的内侧，并且在净化室(C)的外侧设置鼓风机(5)，通过循环气体配管(15)连接该鼓风机 (5)和上述除尘装置(10)。
6.如权利要求4所述的除尘系统，其特征在于，上述壳体(1A)和上述过滤箱(4)是一 体成型的。
全文摘要
本发明提供一种除尘装置以及除尘系统，能够缩短装配后通过喷吹除去内置在净化室内使用的除尘装置及其配管中的异物的时间。在清洁头(1)的壳体(1A)的加压气体流入口(42)一侧安装有内有HEPA过滤器(3)的过滤箱(4)而单元化。
文档编号B01D46/10GK101987271SQ20101019370
公开日2011年3月23日 申请日期2010年5月31日 优先权日2009年7月29日
发明者宇泽启 申请人:株式会社伸兴