专利名称：一种石墨件除尘装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体材料制备辅助设备，尤其涉及一种石墨件除尘装置。
背景技术：
在半导体材料的制备过程中，需要使用大量的石墨件，石墨件可以作为重锤或者籽晶夹头、挂钩进行使用，众所周知，由于石墨件的生产制造过程以及静电吸附作用，无可避免，会在石墨件表面形成大量的石墨粉尘以及其他杂质，这些粉尘微粒以及其他杂质的存在不仅对人体造成很大的伤害，而且，其落入硅熔体中也会对产品质量造成很大的影响。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可以有效去除石墨件表面杂质的石墨件除尘装置。为解决上述技术问题，本实用新型提出一种石墨件除尘装置，包括除尘室，所述除尘室设有通风通道，所述除尘室的工作台面设有出尘通道，所述出尘通道开口处设有过滤网，所述过滤网下方设有支撑架。所述通风通道设有鼓风机。通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果本实用新型通过通风通道去除石墨件表面灰尘以及其他杂质，从而实现环境友好，以及提高产品质量。
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明图1为本实用新型实施例1提出的一种石墨件除尘装置示意图；图中1、除尘室；2、出尘通道；3、通风通道；4、过滤网；5、支撑架。
具体实施方式
实施例1本实施例提出一种石墨件除尘装置，包括除尘室1，除尘室1设有通风通道3，通风通道3设有鼓风机，除尘室1的工作台面设有出尘通道2，出尘通道2开口处设有过滤网4， 过滤网4下方设有支撑架5。将石墨件放置于除尘室1内，开启鼓风机，通过通风通道3吸取石墨件表面灰尘以及杂质，同时，为防止除尘室1工作台上积满灰尘导致石墨件被二次污染，其工作台表面设有过滤网4以通过出尘通道2尽快除去遗留下的部分灰尘，同时，为防止石墨件置于工作台上使得过滤网4不堪重压，影响工作台的使用寿命，故在过滤网4下方安置支撑架5承重，本实用新型通过通风通道3去除石墨件表面灰尘以及其他杂质，从而实现环境友好以及提高产品质量。本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种石墨件除尘装置，其特征在于，包括除尘室(1)，所述除尘室(1)设有通风通道 (3)，所述除尘室(1)的工作台面设有出尘通道O)，所述出尘通道(2)开口处设有过滤网 G)，所述过滤网(4)下方设有支撑架(5)。
2.如权利要求1所述的一种石墨件除尘装置，其特征在于，所述通风通道(3)设有鼓风机。
专利摘要本实用新型提出一种石墨件除尘装置，包括除尘室，所述除尘室设有通风通道，所述除尘室的工作台面设有出尘通道，所述出尘通道开口处设有过滤网，所述过滤网下方设有支撑架。本实用新型通过对石墨件进行除尘处理，不仅可以避免石墨件表面的灰尘落入硅熔体中对产品质量造成影响，同时，可以实现净化环境，有效保证操作者安全。
文档编号B01D46/10GK202185429SQ20112026024
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月21日 优先权日2011年7月21日
发明者刘宏, 张建中, 林平 申请人:天长市百盛半导体科技有限公司