专利名称：处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法
处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法六氯乙硅烷在硅芯片制造中日益广泛地被使用。其经常被使用CVD的气相法工艺沉积下来。但是，这导致需要处理离开沉积室后的蒸气。US 2009/0104100A1描述了含有六氯乙硅烷的废气的处理方法。该方法包括首先在复杂的装置中在排除湿气的条件下氧化所述废气，然后使其通过充满了水的洗涤器。六氯乙硅烷与水或湿气的反应通常会释放出 气体。该气体会攻击Si-Si键。这将产生包含Si-H-的水解产物，其在机械接触时分解，例如由于摩擦导致的机械接触，并产生火花。固体形式的水解产物甚至可以在水下有火花地(with sparking)分解。本发明的一个目的是改进现有技术，更具体地，是提供一种无风险地处理六氯乙硅烷残余物的方法。在这方面，需要寻找一种可以无风险地处理蒸气或者液体六氯乙硅烷的方法。已经发现，将六氯乙硅烷引入脲和醇的混合物中时，没有可燃性混合物的形成。已经吃惊地发现，脲一方面具有足够的碱性以限制HCl释放，而另一方面，它并不催化产生任何六氯乙硅烷的任何重排。本发明提供一种处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，将含有六氯乙硅烷的蒸气引入混合物中，该混合物包括在900-1100hPa和25°C为液体的非极性烃，脲，及在900-1100hPa和25°C为液体的醇。使用的溶剂可为以下非极性烃优选非极性烃，例如脂肪族或芳香族烃，优选溶剂是基于在标准压力(900-1 IOhPa)下沸点优选低于100°C的烃，优选的烃具有1_20个碳原子，优选具有6_12个碳原子，更优选辛烷、壬烷、癸烷、苯、甲苯、二甲苯，特别优选二甲苯。使用的醇可为以下的优选在900-1 IOOhPa和25°C下为液体的醇，优选沸点为50° -150°C，优选90° -110°C，更优选100° _120°C，所述沸点均对应在900-1 IOOhPa的压力下，优选具有1-6个碳原子、优选具有3-5个碳原子的醇，单官能团醇，二或多官能团醇，更优选戊醇，例如I-戊醇、2-戊醇、3-戊醇，以及I- 丁醇、2- 丁醇、3- 丁醇、I-丙醇、2-丙醇，特别优选3-丁醇。使用高沸点的醇来处理废气时，基于I摩尔的醇使用-O. 1-0. 5摩尔的脲，更优选O. 2-0. 4摩尔的脲，-10-200毫升的溶剂，更优选50-100毫升的溶剂。
实施例含有六氯乙硅烷的废气的处理使来自在氮气下蒸馏六氯乙硅烷的装置的废气通过50ml 二甲苯、50ml叔丁醇和IOg脲的混合物。用磁搅拌器搅拌混合物。与废气仅通过硅油的装置相反，在气体出口处没有形成与金属接触时开始燃烧的白色沉淀物。在本发明的上下文中，除非在各个情况下另外说明，否则所有的数量和百分数基于重量，并且所有的百分数都基于总重量，所有的温度是室温25°C，所有的压力是环境压力，即900-1100hPa。所有的粘度都在25°C下 测定。
权利要求
1.一种处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，将含有六氯乙硅烷的蒸气引入混合物中，该混合物包括在900-1100hPa和25 °C下为液体的非极性烃，脲，及在900-1 IOOhPa和25°C下为液体的醇。
2.如权利要求I所述的处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，所述烃在标准压力(900-1100hPa)下具有低于100°C的沸点。
3.如权利要求I或2所述的处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，所述烃具有1-20个碳原子。
4.如权利要求3所述的处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，所述烃具有6-12个碳原子。
5.如前述权利要求之一所述的处理含有六氯乙娃烧的蒸气的方法，其特征在于，所述烃是二甲苯。
6.如前述权利要求之一所述的处理含有六氯乙娃烧的蒸气的方法，其特征在于，所述醇是具有1-6个碳原子的醇。
7.如前述权利要求之一所述的处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，所述醇选自I-戊醇、2-戊醇、3-戊醇，I- 丁醇、2- 丁醇、3- 丁醇、I-丙醇、2-丙醇。
全文摘要
一种处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法，其特征在于，将含有六氯乙硅烷的蒸气引入混合物中，该混合物包括在900-1100hPa和25℃下为液体的非极性烃，脲，及在900-1100hPa和25℃下为液体的醇。
文档编号B01D53/68GK102791360SQ201180011979
公开日2012年11月21日 申请日期2011年3月9日 优先权日2010年3月12日
发明者H·艾布尔迈尔, K·伯格舒森, W·克尼斯 申请人:瓦克化学股份公司