专利名称：带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置的制作方法
技术领域：
带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置本实用新型涉及半导体和光伏行业石化管道消防系统技术领域，具体地说是一种带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置。近年来，国内半导体和光伏行业急速发 展，相关制程更是日趋复杂，而半导体制程所涉及的化学品大多具有相当的危险性，任何疏忽都有可能造成严重的人员和设备损失。根据台湾新竹科学园区83年至87年执业灾害分析资料显示，由于化学品引起的职业灾害占生产灾害类型的第二位。其主要事故有火灾爆炸，烟熏污染，危险液体气体泄漏等。因此，如何提高这些高危化学品在运输过程中的安全性，将是半导体和光伏展业安全考量中的重要一环。危险性化学品依照其特征主要分为，可燃性，酸性和碱性3大类。其中可燃性化学品的防护措施主要围绕着以防止其外泄或因挥发性蒸汽累积引起火灾为主。目前，涉及可燃性化学品的储存，传输及供应系统以及硅片清洗设备中都会设置防爆与泄爆结构，强制通风装置(Exh)，以及消防系统。其中消防系统为了避免由可燃化学品引起的火灾经过供热，空调，通风系统或排烟雾管串烧到全厂引起更大的财产损失，与设备相连的管道大多使用防火材质。最近，更进一步在火灾初始阶段尽早的气动相应的快速相应方案，除了消防给水系统喷淋系统以外越来越多的厂商布置了 VESDA (Very Early Smoke Detection Apparatus),即非常早期烟雾探测装备。虽然VESDA能够更早的根据吸入的空气样本确定火警的发生并启动相应的消防机制，但由于有机化学品在系统管道和设备内的常常会产生挥发性可燃蒸汽，这样的高可燃性气体燃烧的传递速度非常高，VESDA也无法完全保证火焰或细微的火星不被强制通风装置(EXH)抽出时，沿抽风管道蔓延，引起火灾的扩散。无论是消防系统所在的光学或热感探头或者是VESDA在设备内部的由吸气泵吸入设备内空气样本的探头，都属于有源性监控设备。有源性设备在人为操作失误导致的供电中断或者传感器本身老化失效后常常会出现整个消防系统处于瘫痪状态。对于光感火焰侦测器来说，容易出现由于火焰光被障碍物遮挡的关系无法探测到火焰的发生。对于温度感应探测器来说，温度设定过低容易出现消防系统的误动作，设定过高会使火焰发生后系统仍然处于关闭状态。另外，对于高灵敏度的VESDA来说，由于其空气样本是被系统所在的空气泵吸入的，如果采样进口和抽取速度设定不当，会出现火焰发生时设备本身的排气系统(EXH)先于VESDA将火焰吸入通风管道使火势扩散，无法控制。本实用新型的目的就是要解决上述的不足，而提供一种带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，实现对于抽气风管内的火焰或火星的增殖，从而防止火焰向设备外部连接管道的扩散。[0008]为实现上述目的本实用新型设计ー种带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，包括火焰捕捉器、主排风管，所述主排风管通过法兰接ロ密封连接火焰捕捉器，所述火焰捕捉器的出ロ端密封连接波纹软管，所述主排风管上设有抽气ロ、排气接ロ，所述抽气ロ处设有空气过滤器，所述排气接ロ通过管道连接缓存气罐，所述缓存气罐上设有液位传感器、液气进风ロ及排液ロ，所述液气进风ロ连接液气通风管道，所述排液ロ连接排液管道。所述排液管道上装有气动或电动阀门。所述主排风管采用防腐蚀不锈钢材料制成。所述空气过滤器采用不可燃材料制成。本实用新型同现有技术相比，结构简单、新颖，使用安全，无源结构设计使得排气系统在电カ系统故障时依然保持对火焰在通风系统中的扩散的抑制；自动排泄的缓存气罐使得化学品管道内排出的带化学品的可燃气体经过液气分离后被納入同一排气系统。缓存气罐、主排风管及火焰捕捉器的模块化制作可进行快速和低难度的维护保养工作。 图I是本实用新型的结构示意图；图2是图I的左视图；图中1、空气过滤器I 2、主排风管3、火焰捕捉器4、波纹软管5、空气过滤器II 6、缓存气罐7、液位传感器8、气动或电动阀门9、液气进风ロ。
以下结合附图
对本实用新型作以下进ー步说明如图所示，本实用新型包括火焰捕捉器3、使用SUS304L型不锈钢钢板通过钣金和焊接エ序制作一体型的主排风管2 (需要进行密封检测)，所述主排风管2通过法兰接ロ密封连接火焰捕捉器3，所述火焰捕捉器的出口端通过法兰接ロ密封连接波纹软管4，其作为连接火焰捕捉器与外部风管的具有减震及吸收垂直方向尺寸误差的法兰适配器(Adapter);所述主排风管2上设有多个抽气ロ、排气接ロ，所述抽气ロ处设有空气过滤器，所述空气过滤器采用不可燃材料制成，其外形为矩形片状；所述排气接ロ通过管道连接缓存气罐6，所述缓存气罐上设有液位传感器7、液气进风ロ 9及排液ロ，所述液气进风ロ连接液气通风管道，所述排液ロ连接排液管道；所述排液管道上装有气动或电动阀门8。在液位到达安全界限后自动启动缓存气罐底部的气动或电动阀门8，排放来自于化学品输送管道排气支管方向由排气过程引起的管道内部压カ带来的化学品。本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置換方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.ー种带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，包括火焰捕捉器、主排风管，其特征在于所述主排风管通过法兰接ロ密封连接火焰捕捉器，所述火焰捕捉器的出ロ端密封连接波纹软管，所述主排风管上设有抽气ロ、排气接ロ，所述抽气ロ处设有空气过滤器，所述排气接ロ通过管道连接缓存气罐，所述缓存气罐上设有液位传感器、液气进风ロ及排液ロ，所述液气进风ロ连接液气通风管道，所述排液ロ连接排液管道。
2.如权利要求I所述的带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，其特征在于所述排液管道上装有气动或电动阀门。
3.如权利要求I或2所述的带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，其特征在于所述主排风管采用防腐蚀不锈钢材料制成。
4.如权利要求3所述的带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，其特征在于所述空气过滤器采用不可燃材料制成。
专利摘要本实用新型涉及一种带化学品缓冲型出口火焰捕捉排气装置，所述主排风管通过法兰接口密封连接火焰捕捉器，所述火焰捕捉器的出口端密封连接波纹软管，所述主排风管上设有抽气口、排气接口，所述抽气口处设有空气过滤器，所述排气接口通过管道连接缓存气罐，所述缓存气罐上设有液位传感器、液气进风口及排液口，所述液气进风口连接液气通风管道，所述排液口连接排液管道；本实用新型的无源结构设计使得排气系统在电力系统故障时依然保持对火焰在通风系统中的扩散的抑制；自动排泄的缓存气罐使得化学品管道内排出的带化学品的可燃气体经过液气分离后被纳入同一排气系统。缓存气罐、主排风管及火焰捕捉器的模块化制作可进行快速和低难度的维护保养工作。
文档编号B01D46/00GK202516831SQ201220115830
公开日2012年11月7日 申请日期2012年3月23日 优先权日2012年3月23日
发明者简建至, 胡厚福, 黄自柯 申请人:冠礼控制科技(上海)有限公司