专利名称：晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置的制作方法
技术领域：
本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，能对晶圆研磨液混合定量筒将填注溢满的晶圆研磨原液，另加以旁引暂存再回送回研磨液混合定量筒，使晶圆研磨液混合定量筒不会注满溢出晶圆研磨原液，能充分回收利用溢出的晶圆研磨原液的新颍技术。
背景技术：
集成电路以及CPU都少不了晶圆的原料，但是晶圆从原矿中一提炼出来，须先加工处理铸聚成预定的形状及大小，再特别对炼制成产能的每块标准直径晶圆，进行一块块切割研磨，才能形成个别集成电路以及CPU所需的芯片，而对晶圆的研磨也必须非常精细讲究，否则粗糙的磨制也会浪费很多晶圆材料，使芯片成本大增，也因此晶圆的研磨皆 仰赖专用的研磨机为之，而这些研磨机的前生产阶段，也都有其晶圆研磨反应液取用比例及混合搅拌的专用设备(取用比例仰赖晶圆研磨液混合定量筒，混合搅拌仰赖搅拌设备)，将二种研磨反应液，一为水性研磨浆液(二氧化硅，业界英文通称SLURRY，亦即后称之晶圆研磨原液)另一为纯水先各自额定取量，以最适当的比例，再经搅拌机混合拌匀，而两种研磨反应液相拌混合完成的研磨产物，于未结晶的固凝前时间内，送往研磨机研磨晶圆，而专用设备的晶圆研磨反应液取用比例就得倚赖晶圆研磨液混合定量筒为之。现有晶圆研磨液混合定量筒其做为标准计量的筒体下方开孔管接设有阀门控制开通的出料管，且筒顶设有氮气输入管及晶圆研磨原液输入管，借由出料管将晶圆研磨液混合定量筒内应定量取置的晶圆研磨原液下排到搅拌装置，并借由氮气输入管向筒内输入氮气，以避免筒内注留计量的晶圆研磨原液产生氧化反应变质，然而，晶圆研磨原液经晶圆研磨原液输入管注入到晶圆研磨液混合定量筒将快到额定量时，非常不容易在正刚好的瞬间时点就能控制晶圆研磨原液输入管完全封闭，使管内流量立即截停，仍会因些许的时间差，会有涓滴余流入晶圆研磨液混合定量筒，溢流出晶圆研磨液混合定量筒口造成浪费。
实用新型内容本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其充分回收利用溢出的晶圆研磨原液，更精确地回流开启控制，其加设的多个溢流传感器(例如两个)得以避免单一溢流传感器故障时，仍能借由另外的溢流传感器维持正常感应回送的晶圆研磨原液液流，保障生产作业进行。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外适当处，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上适当位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆·研磨原液到盛装杯内。本实用新型解决其技术问题还可采用如下技术方案一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外适当处，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧；一开关阀，串设在导回管上适当位置，此开关阀为电磁引导开启的阀体；至少一溢流传感器，布设在导管上适当位置，及一控制电脑，该控制电脑连接溢流传感器的晶圆研磨原液溢流讯号，且控制电脑输出讯号接到开关阀对应接点。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其主要由晶圆研磨液混合定量筒内隔出一盛装杯、一导管、一溢流液缓存器、一开关阀及一导回管所构成，其中该盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁部分相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，使盛装杯汇集晶圆研磨液混合定量筒注入溢出的溢流晶圆研磨原液，又于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开设溢流孔套接导管通到溢流液缓存器顶开设的回收孔，而溢流液缓存器底开回流孔管接导回管通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，而导回管上适当位置串接开关阀，借由控制开关阀开启使溢流液缓存器内的晶圆研磨原液在下一计量作业开始时，经导回管流补回晶圆研磨液混合定量筒，由此构成，充分回收利用溢出之晶圆研磨原液。又，本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，又可再加设至少一溢流传感器，及一控制电脑，且该开关阀为电磁引导开启的阀体，该些溢流传感器布设在导管上适当位置，而溢流传感器将晶圆研磨原液溢流讯号接到控制电脑，且控制电脑输出讯号接到开关阀对应电接点，借由溢流传感器感应导管内是否有晶圆研磨原液溢流流出，一旦导管流入溢出晶圆研磨液混合定量筒的晶圆研磨原液时，该些溢流传感器即出感应讯号到控制电脑，让控制电脑能在下一计量作业开始晶圆研磨液混合定量筒再次重新注入晶圆研磨原液时，发讯令开关阀开启，将溢流液缓存器内集留的晶圆研磨原液经导回管注补回晶圆研磨液混合定量筒，以此达到更精确地回流开启控制。·[0017]再者，本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其加设的多个溢流传感器(例如两个)得以避免单一溢流传感器故障时，仍能借由另外的溢流传感器维持正常感应回送的晶圆研磨原液液流，保障生产作业进行。本实用新型的有益效果是，其充分回收利用溢出的晶圆研磨原液，更精确地回流开启控制，其加设的多个溢流传感器(例如两个)得以避免单一溢流传感器故障时，仍能借由另外的溢流传感器维持正常感应回送的晶圆研磨原液液流，保障生产作业进行。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进一步说明。图I为本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置立体示意图。图2为图I所示的晶圆研磨液混合定量筒立体剖视图。图3为本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置的整体平面剖面图。图4为本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置的使用实施简示意图
O图5为本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置的使用实施简示意图
--O图6为本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置的另一构成示意图。图中标号说明10晶圆研磨液混合定量筒IOA 顶盖10B，10C 灌入口IOD晶圆研磨原液计量送出口IOE定量挤排块IOF晶圆研磨原液输入管IOG氮气输入管IOH中垂轴[0035]11盛装杯12溢流孔20 导管30溢流液暂存器31回收孔 32回流孔40开关阀50导回管60，61溢流传感器70控制电脑80，81晶圆研磨原液82 氮气90搅拌设备
具体实施方式
如图I、图2、图3所示，本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，主要由晶圆研磨液混合定量筒10内隔出一盛装杯11、一导管20、一溢流液暂存器30、一开关阀40及一导回管50所构成，其中该盛装杯11 一部分与晶圆研磨液混合定量筒10筒壁相连，且盛装杯11上缘较晶圆研磨液混合定量筒10上缘低，而盛装杯11底高于晶圆研磨液混合定量筒10底部，使盛装杯11汇集晶圆研磨液混合定量筒10注入溢出的晶圆研磨原液。另且该晶圆研磨液混合定量筒10为顶盖IOA适当位置开设能套接晶圆研磨原液输入管IOF引入晶圆研磨原液80，以及氮气输入管IOG引入氮气82的灌入口 10B，10C，且该筒10底开设晶圆研磨原液计量送出口 10D，又在该筒10内临近顶盖IOA部位吊设定量挤排块IOE，并将定量挤排块IOE顶突出形成的中垂轴IOH贯穿出顶盖10A，使定量挤排块IOE偏离盛装杯11，可受中垂轴IOH拉引垂直上下排开该筒10内晶圆研磨原液到盛装杯11内的型式。再接着描述盛装杯11周围构成情形，又于盛装杯11临近与晶圆研磨液混合定量筒10相连最下方位置开设溢流孔12，而溢流液暂存器30设于晶圆研磨液混合定量筒10外适当处，该器30为侧上端开设回收孔31下端开设回流孔32且最顶端比溢流孔12低的中空容器，以导管20 —端管接该溢流孔12另端管口管接回收孔31，并以导回管50 —端管接回流孔32导回管50另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒10底侧，而导回管50上适当位置串接开关阀40，该开关阀40可为电磁引导开启的阀体，且本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，又可再加设至少一溢流传感器60，61，及一控制电脑70，将该些溢流传感器60，61布设在导管20上适当位置，而溢流传感器60，61将晶圆研磨原液溢流讯号接到控制电脑70，且控制电脑70输出讯号接到开关阀40对应电接点。作用时，如图4的使用实施简示意图一，当晶圆研磨液混合定量筒10注入的晶圆研磨原液80高度一高过盛装杯11上缘或定量挤排块IOE以预定值往下挤排，就使晶圆研磨原液80流入盛装杯11，再经该溢流孔12向导管20通到溢流液暂存器30内暂留，不使溢出晶圆研磨液混合定量筒10的晶圆研磨原液81向外界任排，使研磨液混合定量筒10内容研磨原液80量一定，且在导管20流入溢流的晶圆研磨原液81当中，溢流传感器60，61就将晶圆研磨原液81溢流讯号送到控制电脑70等待后续回流控制。计量一完成该筒10打开研磨原液计量送出口 10D,使筒内晶圆研磨原液80下排送入搅拌设备90再关闭原液计量送出口 10D，再如图5的使用实施简示意图二所示，进行下一计量作业初始，控制电脑70即依先前收到有储存溢流的晶圆研磨原液81发讯令开关阀40开启，先将溢流液暂存器30内集留的晶圆研磨原液81经导回管50注补回晶圆研磨液混合定量筒10，再发讯关闭开关阀40从该筒10顶再引入下批晶圆研磨原液80及氮气82，进入如前图4能计量储收溢出晶圆研磨原液80的程序，由此反复处于图4图5状态就能一批批地定量送出晶圆研磨原液80到后续逐批搅拌、研磨处理。而本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置亦可如图6的另一构成示意图所示，将开关阀40除设在导回管50中段位置，还可设在导回管50对应贴靠晶圆研磨 液混合定量筒10回流的底侧壁上。综上所述，本实用新型晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，确实具有使晶圆研磨液混合定量筒溢出的晶圆研磨原液能回补再利用的效果。本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关新型专利要件的规定，故依法提起申请。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括 一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业； 一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔； 一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器； 一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔； 一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上。
2.根据权利要求I所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。
3.根据权利要求I所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。
4.根据权利要求I所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。
5.一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括 一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业； 一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔； 一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器； 一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔； 一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧； 一开关阀，串设在导回管上适当位置，此开关阀为电磁引导开启的阀体； 至少一溢流传感器，布设在导管上，及一控制电脑，该控制电脑连接溢流传感器的晶圆研磨原液溢流讯号，且控制电脑输出讯号接到开关阀对应接点。
6.根据权利要求5所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。
7.根据权利要求5所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。
8.根据权利要求5所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，所述晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并 将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。
专利摘要一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，包括晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；盛装杯由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部；溢流液暂存器设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上。本实用新型具有使晶圆研磨液混合定量筒溢出的晶圆研磨原液能回补再利用的效果。
文档编号B01F15/04GK202725121SQ20122026861
公开日2013年2月13日 申请日期2012年6月8日 优先权日2012年6月8日
发明者黃怡文, 曾義能 申请人:宸沅國際股份有限公司