具备吸气腔室的喷嘴组件及利用其的狭缝式涂布机的制作方法

本发明涉及一种具有吸气腔室的喷嘴组件及利用其的涂布机，详细地说，涉及一种具备吸气腔室的喷嘴组件及利用其的狭缝式涂布机，该涂布机能提高药液的涂层安全性，并且可以提升装备收益率。

背景技术：

平板标识元件用基板制造工序包括将各种药液涂抹到基板面上的涂层工序，这种涂层工序中使用的涂层装置主要使用具备狭缝喷嘴(Slit nozzle)的狭缝式涂布机(slit coater)。

狭缝式涂布机是通过狭缝喷嘴将药液排出的同时，随着从基板的一侧向另一侧顺次的移动将药液涂抹到基板面上。此时，为了防止高价的喷嘴部分损伤，以超过特定的间隔而维持从基板的上面到喷嘴之间的距离，以此状态而涂抹。

此时，如果使所述狭缝式涂布机的涂层速度增加或者进行薄膜涂层，根据药液的粘性，涂抹在基板上的药液的涂层磁珠(coating bead)向涂抹方向的相反方向推移，发生涂抹的药液厚度不同的问题。

结果，在以往的狭缝式涂布机中，由于限制狭缝式涂布机的涂层速度，由此发生了狭缝式涂布机装备收益率下降的问题。

技术实现要素：

(要解决的问题)

本发明要解决的问题是，为了在药液高速涂层或者薄膜涂层情形下，通过提高涂层安全性，提供具备可以提升装备的收益率的吸气腔室的喷嘴组件及使用其的狭缝式涂布机。

(解决问题的手段)

为了解决所述的问题，本发明提供一种喷嘴组件，用于将药液涂抹在基板上，其特征在于，包括：

喷嘴主体，配置有第一喷嘴主体和第二喷嘴主体，所述第二喷嘴主体与所述第一喷嘴主体相对应，且与第一喷嘴主体共同形成有喷嘴流路；

喷嘴部，包括第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴从所述第一喷嘴主体的下端向下部方向延伸，所述第二喷嘴从所述第二喷嘴主体下端的一部分向下部方向延伸，并且与所述第一喷嘴相对应而配置；及

吸气腔室，配置在所述第二喷嘴的前方，同时与外部的吸气单元连接，并且为了将放置在所述基板和所述喷嘴部之间的药液抽取从而提供吸气力，

所述吸气腔室外壁中的至少一部分包括所述第二喷嘴的外侧面；

如果根据本发明的其他实施形态，提供的狭缝式涂布机，其特征在于，包括：

工作台，放置将要用药液涂抹的基板；

喷嘴组件，用于将药液涂抹在所述基板上；

喷嘴夹头，支承所述喷嘴组件；

喷嘴移动单元，将所述喷嘴组件移动而使药液涂抹在所述基板；以及

第一刀片，用于当药液涂抹到所述基板后，将所述第一喷嘴表面上沾染的异物质去除，及

第二刀片，用于将所述第二喷嘴表面上沾染的异物质去除，及

喷嘴净化器，具有为了支承所述第一刀片和所述第二刀片的净化器主体。

附图说明

图1是根据本发明一个实施例的狭缝式涂布机的立体图。

图2是图1狭缝式涂布机的喷嘴组件的立体图。

图3是根据图2喷嘴组件的涂层状态的截面图。

图4是将喷嘴净化器配置在图2喷嘴组件的下部区域的立体图。

图5是在图4的喷嘴净化器清洗前状态中配置喷嘴净化器和喷嘴组件关系的附图。

图6是在图4的喷嘴净化器清洗喷嘴后的状态配置喷嘴净化器和喷嘴组件关系的附图。

图7是图2喷嘴组件底面的立体图。

具体实施方法

以下，参照具体实现的所述要解决的问题的本发明优选的实施例附图进行说明。基于对本实施例的说明，对于同一构成使用的同一名称及同一符号，此处省略根据其的附加说明。

如果参照图1，根据本发明的一个实施例的狭缝式涂布机包括工作台100、喷嘴组件200、喷嘴移动单元300、气室800、喷嘴净化器400、净化器移动单元500、净化器清洗单元600、铲斗单元700、及喷嘴夹900。

将药液涂抹的基板摆放在所述工作台100上，所述喷嘴组件200将所述基板的上面部分移动的同时，将所述药液涂抹在所述基板上。

所述喷嘴移动单元300安装在所述喷嘴夹900的两侧，并且使所述喷嘴组件200移动。

所述喷嘴净化器400用于将沾染在所述喷嘴的药液去除，所述喷嘴净化器400的刀片是在与所述喷嘴的表面接触的状态下将所述药液刮掉。

具体的说，如果参照图3、图5及图6，所述喷嘴净化器400包括：第一刀片420，其作用是在药液涂抹在所述基板10后，将沾染在第一喷嘴230表面上的异物质去除；及第二刀片430，其作用是将第二喷嘴240表面上沾染的异物质去除；及第三刀片440，其作用是将所述第一喷嘴230及所述第二喷嘴240的末端部的喷嘴上沾染的异物质去除；及净化器主体410，其作用是支承所述第一刀片420和所述第二刀片430及所述第三刀片440。

所述净化器移动单元500是使所述喷嘴净化器400沿着所述喷嘴组件200的长度方向而移动。即，所述喷嘴组件200在维持静止状态的情况下，所述净化器移动单元500通过将所述喷嘴净化器400移动，使得所述喷嘴净化器400将沾染在所述喷嘴上的药液去除。

所述净化器清洗单元600设置在所述净化器移动单元500的一端部，并且清洗在所述喷嘴的药液去除的过程中使用的所述喷嘴净化器400。

并且，所述铲斗单元700的至少一部分配置在所述喷嘴净化器400及所述净化器清洗单元600的下部。

所述气室800是使用所述喷嘴组件的喷嘴之前收容的场所，不使用所述喷嘴时，为了防止所述喷嘴的药液喷口干燥，所以所述气室800中经常会存有清洗液。

另外，如果参照图2和图3，所述喷嘴组件200包括：喷嘴主体，及喷嘴部，在所述喷嘴主体的下部区域中延长形成，及吸气腔室270，为了将配置于所述基板10和所述喷嘴部之间的药液引出而提供吸气力。

具体的说，所述喷嘴主体包括：第一喷嘴主体210，和第二喷嘴主体220，第二喷嘴主体220与所述第一喷嘴主体210相对应而设置，并且和所述第一喷嘴主体210一起形成喷嘴流路280。

所述喷嘴部，包括：第一喷嘴230，所述第一喷嘴230从所述第一喷嘴主体210的下端向下部方向延长；及第二喷嘴240，所述第二喷嘴240从所述第二喷嘴主体220的下端一部分向下部方向延长，并且与所述第一喷嘴230相对应而配置的同时，形成有排出药液的药液排出口(未图示)。此处，所述药液排出口由槽或者为狭缝形状而构成。

所述吸气腔室270配置在所述第二喷嘴240的前方的同时，与外部的吸气单元(未图示)连接，为了将所述基板10和所述喷嘴部之间配置的药液引出从而提供吸气力。

所述吸气腔室270的外壁中至少一部分包括所述第二喷嘴240的外侧面。

具体来说，所述吸气腔室270包括：在所述基板10的上面相对的具有开放部的第一吸气腔室271，及在所述第二喷嘴主体220的外侧壁上掩埋形成的第二吸气腔室273，及在所述第二喷嘴主体220的内部形成，并且将所述第一吸气腔室217和所述第二吸气腔室273连接的吸气流路272。

在所述第一吸气腔室271的上部内壁上，形成与所述吸气流路272的一侧连通的第一吸气槽271a，在所述第二吸气腔室273的内壁上，形成与所述吸气流路272的另一侧连通的第二吸气槽273a。

所述第一吸气槽271a和所述第二吸气槽273a，沿着所述喷嘴主体的长度方向，以一定间隔形成有多个槽，并且引入所述药液的吸气力，会沿着所述喷嘴主体的长度方向而稳定。

此处，所述第一吸气腔室271的高度是与所述喷嘴的高度相等而形成，所述喷嘴部，即，所述第二喷嘴240成为第一吸气腔室271的外壁的一部分。

所述第一吸气腔室271的外壁包括向所述第二喷嘴主体220的下部方向突出的第二喷嘴主体下部边缘221。此处，所述第二喷嘴主体下部边缘221的突出长度与所述喷嘴部的高度相同。

当然，本发明并不局限于此，所述第二喷嘴主体下部边缘221的突出长度也可形成为比所述喷嘴的高度大或者小。

结果，将所述吸气腔室270设置在药液1涂抹的方向的前方，将药液的涂层磁珠1a向前方拖，并且当药液1高速涂抹或者以薄膜涂抹时，也可以提高涂抹安全性。

由此，提高涂抹速度的同时也可以将涂层厚度均匀涂抹，并且提高产品品质的同时增加装备的收益率从而提高生产性。特别是，即使是在涂层起点，药液的涂层磁珠1a也向前方拖，由此涂层的厚度稳定并且明显地降低涂层起点的不良率。

另外，参照图2至图7的所述喷嘴组件具体说明如下，此处，图4是将喷嘴净化器配置在图2的喷嘴组件的下部区域状态的附图，图5是图4的喷嘴净化器在清洗喷嘴之前的状态中喷嘴净化器和喷嘴组件配置关系的附图，图6是图4的喷嘴净化器在清洗喷嘴之后的状态中喷嘴净化器和喷嘴组件配置关系的附图，图7是图2的喷嘴组件的底面立体图。

所述喷嘴组件200配置在所述喷嘴主体的两侧，并且包括形成所述吸气腔室270的外壁中一部分的第一侧壁块250及第二侧壁块260。

所述第一侧壁块250包括第一侧壁块主体250a，及向所述第一侧壁块主体250a的下部方向突出的第一侧壁块下部边缘250b。

所述第一侧壁块下部边缘250b，包括：第一下部边缘251，第一下部边缘251与所述第二喷嘴主体下部边缘221沿下部边缘221长度方向相邻而设置；及第二下部边缘252，第二下部边缘252与所述喷嘴部沿喷嘴部度方向相邻而设置，及第三下部边缘253，第三下部边缘253连接所述第一下部边缘251和所述第二下部边缘252并在第一下部边缘251和所述第二下部边缘252之间延伸。

因此，所述第一侧壁块下部边缘250b向所述第一侧壁块主体250a的下部方向突出，并且形成所述第一吸气腔室271的空间中的一部分。

相同，所述第二侧壁块260包括：第二侧壁块主体261，及向所述第二侧壁块主体261的下部方向突出的第二侧壁块下部边缘263。

所述第二侧壁块下部边缘263与上述的第一侧壁块下部边缘250b实际相同，相关详细说明省略。

所述第一侧壁块250和所述第一侧壁块260是根据所述喷嘴主体其他的连接方法来结合。当然，本发明并不局限于此，所述第一侧壁块250和所述第二侧壁块260可以与所述喷嘴主体形成一体。

结果，所述第一吸气腔室271的外壁是基于所述第二喷嘴主体下部边缘221、及所述第一侧壁块下部边缘250b、及所述第二侧壁块下部边缘263、及所述第二喷嘴240的外侧面而形成。

另外，如图5(b)所示，对于图5(a)的I-I截面，如果从附图左侧开始看的侧面图中一起看喷嘴净化器400和喷嘴组件200，所述第一吸气腔室271具有下部开放的形态，所述喷嘴净化器400在清洗工作时，所述第二刀片430的至少一部分配置在所述第一吸气腔室271的内部空间上。

并且，虽然具备了为了根据本发明在喷嘴主体上形成第一吸气腔室271的外壁，使外壁中的一部分由喷嘴的外侧面构成，并且所述第一吸气腔室271在所述喷嘴净化器400的清洗开始时，所述喷嘴净化器400的一部分作为收容的空间角色，使空间活用度提高的同时，使喷嘴组件本身的重量最小化。

并且，所述喷嘴净化器400以相关所述喷嘴的清洗操作为结束的状态，即，如图6(b)所示，对于图6(a)的Ⅱ-Ⅱ截面，如果从附图右侧开始看的侧面图中一起看喷嘴净化器400和喷嘴组件200，所述第二下部边缘252为了避免所述第一刀片420及所述第二刀片430对所述喷嘴部的清洗操作时的干涉，从所述喷嘴部的侧面中央开始沿长度方向相邻而配置，从而使第二下部边缘252具有比所述喷嘴部窄的宽度。

为了形成所述第一吸气腔室271外壁，将第二下部边缘的宽度形成于比所述喷嘴部的宽度小的宽度，通过简单的构造来避免在结束关于所述喷嘴部的清洗操作时，由所述第一刀片420及所述第二刀片430带来的干涉。

并且，所述第二下部边缘252为了避免与所述第三刀片440在结束关于所述喷嘴部的清洗操作时之间的干涉，突出的长度比所述喷嘴部突出的长度短。

结果，所述第二下部边缘252具有比喷嘴部窄的宽度同时，由于突出的比喷嘴部的突出长度窄，所以与所述喷嘴部相邻而形成的具有第一吸气腔室271的喷嘴组件，和所述喷嘴净化器400之间不发生干涉。

具有根据本发明的吸气腔室喷嘴组件及使用其的狭缝式涂布机具有如下效果。

第一，通过将吸气腔室安装在药液涂层方向的前方，药液的涂层磁珠便被拉向前方，从而即使用药液高速涂抹或者薄膜涂抹，也具有可以提高安全性的优点。

由此，提高涂层速度的同时，也可以将涂层厚度均匀涂抹，提高产品品质的同时，具有增加装备收益率并且提高生产性的优点。特别是，由于从涂层的起点将涂层磁珠向前方拉，使涂层厚度稳定，并且具有明显降低涂层起点的不良率的优点。

第二，虽然具备为了在喷嘴主体形成第一吸气腔室的外壁，外壁中的一部分由喷嘴部的外侧面构成，所述第一吸气腔室在喷嘴净化器的清洗运转时，喷嘴净化器的一部分起到收容空间的角色，具有提高空间活用度的同时将喷嘴组件本身的重量最小化的优点。

第三，为了形成吸气腔室中第一吸气腔室的外壁，配置在喷嘴本体的一侧端的第一侧壁块上，向下部突出形成有第一侧壁块下部边缘，在所述第一侧壁块下部边缘中，从喷嘴部的侧面向长度方向相邻而配置的第二下部边缘，其宽度比所述喷嘴部的宽度小，所述第一刀片及所述第二刀片在结束关于所述喷嘴部的清洗操作时，具有可以简单避免其干涉的优点。

如上所诉，本发明不限定在如上所述特定的优选实施例，不脱离权利要求中要求的本发明的要旨，根据在发明所属技术范围内具备常识的人可以实施多样的变形并且这种变形属于本发明范围内。