一种列管式气体放电产生等离子体的装置的制作方法

文档序号:11942161阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,包括盘架(1)、绝缘连接模块(2)、正极架(3)、双层的负极金属板(4)、绝缘柱(5)、放电阳极(6)、放电阴极(7),其特征是,所述盘架(1)由双层的负极金属板(4)和单个侧壁组成,侧壁面镶嵌有绝缘连接模块(2),双层的负极金属板(4)两者相互平行,其内置有放电阴极(7),这样便构成负极;负极金属板(4)的上方竖安装有六个绝缘柱(5),六个绝缘柱(5)共同托起正极架(3),放电阳极(6)由金属柱(9)连接固定在正极架(3)上,这样正极架(3)与负极金属板(4)隔绝。

2.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述盘架(1)材质为耐腐蚀导电金属。

3.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述绝缘连接模块(2)内设有高压模块,绝缘连接模块(2)作为连接放电阳极与高压模块的通道。

4.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述正极架(3)由固定螺丝固定金属柱连接放电阳极,正极架(3)、固定螺丝材料均为耐腐蚀金属材料。

5.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述负极金属板(4)与盘架(1)相连最后接地处理,负极金属板(4)材质为耐腐蚀金属材料。

6.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述放电阳极(6)根据处理风量可多层设置,与放电阴极的之间放电,放电阳极(6)口径5~60mm,金属柱(9)、放电阳极(6)均为耐腐蚀导电金属材料。

7.根据权利要求1所述的一种列管式气体放电产生等离子体的装置,其特征是,所述放电阴极(7)根据风量,结合放电阳极多层设置高度,放电阴极(7)圆管直径大小为20~200mm,圆管材质为耐腐蚀导电金属材料。

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