更全面地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同形式体现，并且不应被看作局限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例而使得本公开全面且完整，并且向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。示例性实施例的描述旨在结合附图被阅读，附图将被看作是整个书面说明的一部分。附图中，为了清楚，系统、部件、层和区域的尺寸及相对尺寸可能被扩大。实施例参考截面图描述，所述截面图是可能理想化的实施例以及本发明的中间结构的示意图。
[0026]在说明书中，相对的术语以及其派生词应被解释为参考在论述中所描述的或如附图中所示的方向。这些相对术语是为了便于描述并且不需要系统以特定方向被构造或运转，除非另作说明。还将理解，当部件或层被称为在另一部件或层“上”、“连接到”另一部件或层或“联接到”另一部件或层时，则可以是直接在另一部件或层上、直接连接到另一部件或层或直接联接到另一部件或层，或者可存在中间的部件或层。作为比较，当部件被称为“直接”在另一部件或层“上”、“直接连接到”另一部件或层或“直接联接到”另一部件或层时，则不存在中间的部件或层。还将理解，当方法的特定步骤被称为在另一个步骤之后时，则其可以紧随所述其它步骤或者在执行该特定步骤之前可以执行一个或多个中间步骤。
[0027]图1示意性地示出用于在基底上制造带图案的涂层的槽模涂布设备。该设备包括布置在支架60上的基底载体6。在图4中更详细地示出，基底载体6被布置用于提供包括基底表面Is的基底I。
[0028]该设备包括至少具有头侧单元50和支撑侧单元55的涂布装置，头侧单元50和支撑侧单元55通过至少一个电动机52、56可相对于彼此相互移动。
[0029]头侧单元50包括所述至少一个电动机的平移器(translator)部件52和槽模涂布头2。如图4中更详细所示，槽模涂布头2包括出流孔口2a，使用中，从该出流孔口2a流出涂布流体3f。出流孔口2a形成狭缝，使用中，该狭缝沿狭缝方向y布置在基底表面Is上方。
[0030]所述至少一个支撑侧单元55包括所述至少一个电动机的定子部件56。
[0031]所述设备包括传感器装置70，用于测量出流孔口2a和所述基底表面之间沿横向于狭缝方向y的平移方向X的距离D。传感器装置70提供表示距离D的测量值的感测信号。替代地，传感器装置可测量到基底载体6的表面的距离。在此情况下，到基底表面的距离可通过从测得的距离减去基底的厚度来确定。
[0032]提供控制器80，其被布置用于根据指示所述距离D的期望值的输入信号Ds和所述感测信号Ds控制所述至少一个电动机52、56，以便将槽模涂布头2定位在具有所述期望值的距离处。
[0033]第一部分50和第二部分55之间的相对移动由轴承53(例如空气轴承或弹性轴承)促进。第二部分55和支架60之间的相对移动由另一个轴承58(例如空气轴承或弹性轴承)促进。
[0034]所述至少一个支撑侧单元55具有至少等于所述至少一个头侧单元50的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元55被柔性地联接到支架60 ο联接部(coupl ing)的弹簧常数Kl例如选自从100到100，000N/m的范围，优选地选自从1000到50，000N/m的范围。为了比较，电动机的平移器部件52和涂布头2之间的机械联接部的弹簧常数K2通常具有相当高的值，例如，在10E8-10E1 ON/m的级别。基底载体6和支架60之间的机械联接部的弹簧常数K3也具有相当高的值，例如，在10E6-10E8N/m的级别。
[0035]作为示例，包括定子56和附加质量部57的支撑侧单元55具有约250kg的质量。电动机的平移器52和涂布头2均具有25kg的质量。因此，支撑侧单元55的质量比头侧单元50的质量高5倍。基底载体6的质量为100kg。用作支架60的底部(floor)的重量被估计具有10，OOOkg 重。
[0036]通常，如果支撑侧单元55的质量较大，则联接部Kl采用较高的硬度。硬度Kl除以支撑侦U单元的质量得出的比值是例如在10-100S—2范围内，在本例中是40s—2。
[0037]在图1所示的实施例中，附加质量部57紧密联接到电动机的定子部分56。然而，替代地，定子部分56可被设计为自身具有较大的质量以消除分离质量。
[0038]控制器80具有反馈控制部PID，用于根据距离的额定值Ds和测量值Dm之间的差值e产生第一控制信号Se。该差值通过比较器Cl算出。控制器80还具有前馈控制部FF，用于根据额定值Ds产生预测控制信号Sp。通过相加单元(add unit)AD1由反馈控制部PID和前馈控制部FF的信号Se、Sp获得的和信号St被用于控制电动机。控制器可进一步具有适配部，用于依据系统的观察行为改善精确性和响应时间。
[0039]图2示意性地示出实施例，其中线性电动机52、56沿平移方向X布置在涂布头2的与基底载体6相反的一侧。涂布头2被由片簧形成的轴承53A、53B对称地悬置。
[0040]图3A-3D分别将根据本发明的涂布设备的又一实施例以俯视图、正视图、分解图和透视图示出。在这些图中，与图1中使用的附图标记一致的附图标记表示相应的部件。该图中对应于图1中支撑侧单元55的部件的支撑侧单元55A的部件的附图标记增加了后缀“A”。例如，形成支撑侧单元的一部分的电动机的定子部件56在这里表示为56A。其他完全一样的部件也被以后缀A或B表示。
[0041 ]实施例中示出，头侧单元50包括在第一端处安装涂布头2的加长的中央段54。除了第一电动机的平移器部件52A，头侧单元50进一步包括第二电动机的平移器部件52B。平移器部件52A、52B被布置在中央段54的各侧。
[0042]其中示出另一个支撑侧单元55B包括第二电动机的定子部件56B，以及附加质量部57A、57B(如图3C中最佳可见)。该另一个支撑侧单元55B和支撑侧单元55A—起具有至少等于头侧单元50的质量的质量。
[0043]实施例中示出，支撑侧单元55A的柔性联接部包括布置在横向于平移方向X的平面中的第一片簧58A1和第二片簧58A2。支撑侧单元55A通过第一片簧58A1和第二片簧58A2在第一端和第二端处联接到支架60。同样地，所述另一个支撑侧单元55B的柔性联接部包括布置在横向于平移方向X的平面中的第一片簧58B1和第二片簧58B2。该另一个支撑侧单元55B通过第一片簧58B1和第二片簧58B2在其第一端和第二端处联接到支架60。片簧58AU58A2、58B1、58B2使支撑侧单元55A、55B能够沿X方向平移，但防止旋转和在其它方向上的平移。片簧也可决定支架60和支撑侧单元55A、55B之间的机械联接部中的弹簧常数Kl。然而，替代地，支架60和支撑侧单元55A、55B之间的机械联接部可由各自的附加电动机决定用于更小或更大的部件。这使动态地控制联接部成为可能。
[0044]如图3C中所示，支撑侧单元55A设置有阻尼板(参见例如59A1)，其被滑动地布置在轨道(参见例如安装在支架60上的64A1)中。如果支撑侧单元55A的平移趋于超过预定值，则其移动被安装在支架上的行程限制器66A停止。所述另一个支撑侧单元55B具有与行程限制器配合的滑动布置的阻尼板的相同构造。
[0045]加长的中央段54在其第一端通过一个或多个片簧53A、53B被联接到支架60。片簧53A、53B被布置在横向于平移方向X的平面中。
[0046]该中央段54到支架60的联接使该中央段能够在要求的范围内沿平移方向X自由地平移，然而，沿其它方向y、z的平移被阻止。该联接也允许中央段54在延伸通过平移方向X和狭缝方向y的平面中的旋转Rz。以此方式，可以通过控制第一电动机和第二电动机52A、56A;52B、56B的驱动信号来调整涂布头的方向。
[0047]加长的中央段54在其第二端处通过沿横