本系统，而不应被看作将随附的权利要求局限于任何特定的实施例或实施例的组合。因此，虽然已参考本系统的具体的示例性实施例特别详细地描述了本系统，但是还应理解，许多修改和替代的实施例可被那些本领域的普通技术人员想到，而不背离如所附的权利要求中所阐述的本系统和方法的范围。因此，说明书和附图应以例示的方式被看待，而非旨在限制随附的权利要求的范围。在解释随附的权利要求时，应当理解，词语“包括”不排除那些在给定的权利要求中列举的部件或动作以外的其它部件或动作的存在;在部件前的词语“一”或“一个”不排除多个这样的部件的存在;权利要求中的任何附图标记不限制其范围；多个“装置”可由相同或不同的项目或实施结构或功能表示;除非另作特别说明，任何所公开的装置或其部分可被结合在一起或分成更多部分。事实是，某些措施在相互不同的权利要求中引用并不表明这些措施的组合不能被用于获益。
【主权项】
1.一种用于在基底(I)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，该设备包括: 布置在支架上的基底载体(6)，该基底载体(6)被布置为用于提供包括基底表面(Is)的所述基底(I); 涂布装置，该涂布装置包括能够通过至少一个电动机(52，56;56A)相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元(50)和至少一个支撑侧单元(55)，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件(52)和槽模涂布头(2)，所述槽模涂布头(2)包括出流孔口( 2a)，涂布流体(3f)从所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向(y)布置在所述基底表面(Is)的上方，所述至少一个支撑侧单元(55;55A)包括所述至少一个电动机的定子部件(56;56A)； 传感器装置(70)，该传感器装置(70)用于沿着横向于所述狭缝方向(y)的平移方向(X)测量所述出流孔口(2a)和所述基底载体的表面或基底表面之间的距离(D)，并用于提供表示所述距离(D)的测量值的感测信号(Dm); 控制器(80)，该控制器(80)用于根据表示所述距离的期望值(Ds)的输入信号(Ds)控制所述至少一个电动机(52，56; 56A)，以将所述槽模涂布头定位在具有所述期望值(Ds)的距离处， 其中所述至少一个支撑侧单元(55)具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。2.根据权利要求1所述的槽模涂布设备，其中所述平移方向(X)被布置在水平面中。3.根据权利要求1所述的槽模涂布设备，包括至少另一个支撑侧单元(55B)，所述至少另一个支撑侧单元(55B)包括第二电动机的定子部件(56B)，所述至少一个支撑侧单元(55A)和所述至少另一个支撑侧单元(55B)—起具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少另一个支撑侧单元被柔性地联接到所述支架，所述头侧单元(50)进一步包括所述第二电动机的平移器部件(52B)和中央段(54)，所述涂布头(2)在第一端安装到所述中央段(54)，并且所述第一电动机和第二电动机的所述平移器(52A，52B)在各自一侧被布置到所述中央段(54)。4.根据权利要求3所述的槽模涂布设备，其中所述一个支撑侧单元(55A)和所述另一个支撑侧单元(55B)中每一个的所述柔性联接部包括布置在横向于所述平移方向的平面中的各自的第一片簧(58A1,58B1)和第二片簧(58A2，58B2)，所述一个支撑侧单元和所述另一个支撑侧单元通过其各自的第一片簧和第二片簧在各自的端部被联接到所述支架。5.根据权利要求4所述的槽模涂布设备，其中所述一个支撑侧单元和所述另一个支撑侧单元均设置有阻尼板(59A1)，该阻尼板(59A1)滑动地布置在安装于所述支架(60)上的轨道(64A1)中。6.根据权利要求3所述的槽模涂布设备，其中所述中央段(54)在其第一端通过一个或多个片簧(53A，53B)联接到布置在横向于所述平移方向(X)的平面中的所述支架(60)。7.根据权利要求6所述的槽模涂布设备，其中所述中央段(54)在其第二端通过沿横向于所述狭缝方向(y)和所述平移方向(X)的方向(z)延伸的杆(53C)联接到所述支架(60)，使得所述第二端能够沿着横向于所述杆(53C)的延伸方向的方向平移。8.根据权利要求3所述的槽模涂布设备，进一步包括刚硬地联接到所述支架(60)的阻挡构件(62)，所述阻挡构件(62)沿横向于所述平移方向(X)的方向(z)伸出，同时通过所述中央段(54)中的孔口(544)。9.根据权利要求1所述的槽模涂布设备，其中所述控制器包括用于有源地抑制所述至少一个支撑侧单元的移动的阻尼装置。10.根据权利要求9所述的槽模涂布设备，其中当移开所述头侧单元(50)时，所述阻尼装置被停止。11.一种槽模涂布设备，其中所述阻尼装置包括用于控制所述一个支撑侧单元(55A)的位置的分离的控制单元(々24，734，61八)。12.根据权利要求1所述的槽模涂布设备，包括用于控制涂布流体供应部的另一个控制器，所述另一个控制器与用于控制所述至少一个电动机(52，56;56A)的所述控制器(80)同步。13.—种用于在基底(I)上制造带图案的涂层(3)的方法，该方法包括: 提供包括基底表面(Is)的基底(I); 提供涂布装置，所述涂布装置包括能够通过至少一个电动机相对于彼此相互移动的至少一个头侧单元(50)和至少一个支撑侧单元(55，55A)，所述头侧单元包括所述至少一个电动机的平移器部件(52A)和槽模涂布头(2)，所述槽模涂布头(2)包括出流孔口( 2a)，使用中涂布流体(3f)从所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狭缝，所述狭缝在使用中沿狭缝方向(y)布置在所述基底表面(Is)的上方，所述至少一个支撑侧单元(55，55A)包括所述至少一个电动机的定子部件(56); 提供传感器装置(70，71A)，所述传感器装置(70，71A)用于沿着横向于所述狭缝方向(y)的平移方向(X)测量所述出流孔口(2a)和所述基底载体的表面或所述基底表面(Is)之间的距离(D)，并用于提供表示所述距离(D)的测量值的感测信号(Dm，DmA); 提供控制器(80)，所述控制器(80)布置为用于根据表示所述距离(D)的期望值(Ds，DsA)的输入信号控制所述至少一个电动机(50)，以将所述槽模涂布头(2)定位在具有所述期望值的距离处； 其中所述至少一个支撑侧单元(55，55A)具有至少等于所述至少一个头侧单元(50)的质量的质量，并且所述至少一个支撑侧单元被柔性地联接到所述支架(60)。
【专利摘要】一种用于在基底(1)上制造带图案的涂层(3)的槽模涂布设备，包括基底载体(6)、涂布装置、传感器装置(70)和控制器(80)。基底载体(6)被布置在用于设置所述基底(1)的支架上。所述涂布装置包括能够通过电动机(52，56)相对于彼此相互移动的头侧单元和支撑侧单元(50，55；52)。所述头侧单元包括平移器部件(52)和槽模涂布头(2)。所述支撑侧单元(55)包括所述电动机的定子部件(56)。控制器(80)控制所述电动机(52)以将槽模涂布头定位在期望的距离(Ds)处。所述支撑侧单元(55)具有至少等于所述头侧单元(50)的质量的质量，并且所述支撑侧单元(55)被柔性地联接到所述支架(60)。
【IPC分类】B05B13/04, B05C5/02
【公开号】CN105555416
【申请号】CN201480047803
【发明人】伊凯·格克·德·弗里斯, 马尔滕·范·兰特, 耶罗·安东纽斯·斯梅尔廷克
【申请人】荷兰应用自然科学研究组织Tno
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2014年7月28日
【公告号】EP2832454A1, EP3027327A1, US20160168709, WO2015016706A1