具有背压控制装置的液体分配涂布器及相关方法
【专利摘要】本发明涉及具有背压控制装置的液体分配涂布器及相关方法。一种将液态材料分配到基板上的涂布器，包括本体、具有阀杆的阀模块以及设置在本体中并具有装置通道的背压控制装置。本体包括入口通道、分配出口通道以及再循环出口通道。阀模块具有分配模式和再循环模式，并且在分配模式下将液态材料导引通过分配出口通道，且在再循环模式下将液态材料导引通过再循环出口通道。阀杆能够在分配模式下的打开位置与再循环模式下的关闭位置之间移动。在再循环模式下，背压控制装置将液态材料导引穿过装置通道，使得在再循环模式下的液态材料的背压基本上等于在分配模式下的液态材料的背压。
【专利说明】
具有背压控制装置的液体分配涂布器及相关方法
技术领域
[0001]本发明总体上涉及用于将液态材料分配到基板上的液体分配涂布器，并且更具体地，涉及具有使未分配液态材料再循环的阀模块的液体分配涂布器。
【背景技术】
[0002]在包括尿布、卫生棉、手术用消毒帷帘以及各种其它无纺布制品的制造的各种应用中，分配并使用诸如热熔性粘合剂的热塑性材料。这种技术已经从材料的线形珠(bead)或纤维以及其它喷涂图案的涂布发展到空气辅助的涂布，诸如纤维材料的螺旋和熔喷沉积法。
[0003]用于分配这种热塑性材料的已知粘合剂涂布器可包括用于涂布所需粘合剂沉积图案的一个或多个阀模块，每个阀模块具有以开/关的方式操作的阀部件。在转让给本发明的受让人且其内容由此通过引用全部纳入本文的美国专利第6，089，413中披露了阀模块的一个实施例。这个模块包括相对于所分配的材料在开状态和关状态之间改变模块的阀结构。
[0004]在开状态下，模块处于分配模式，其中，通过液体入口通道馈送到模块中的加压液态材料被导引通过分配出口通道并进入分配喷嘴来沉积到基板上。在关状态下，模块切换成再循环模式，其中，通过液体入口通道馈送到模块中的加压液态材料被重新导引到再循环出口通道并进入涂布器的歧管中的再循环槽道。液态材料被转移通过歧管的再循环槽道并接着通过再循环管道，从而引导回到位于远离涂布器的粘合剂供应储罐。在关状态期间使未分配液态材料再循环有利地防止模块内的超压累积，否则当模块返回到开状态时，该超压累积会扭曲所分配的下一个液态材料图案的形状。
[0005]在开状态过程中，当其被迫通过分配出口通道和分配喷嘴时，流经模块的液态材料暴露于本文中被称为“分配压力”(也被称为“涂布压力”)的第一压力。分配压力是流量压力(flow rate pressure)和分配背压综合作用的结果。流量压力是由以给定液体流量操作的液体栗施加在供应材料上的力的函数。分配背压是由在分配期间液态材料被迫通过的通道和室(包括分配出口通道和分配喷嘴的内部通道)的内表面施加在液态材料上的力的函数。
[0006]在关状态期间，当其被重新导引通过再循环出口通道并进入歧管的再循环槽道时，流经模块的液态材料暴露于被称为“再循环压力”的第二压力。再循环压力是流量压力和再循环背压综合作用的结果。如上所述，流量压力是液体流量的函数，液体栗以所述液体流量操作。再循环背压是由在再循环期间液态材料被迫通过的通道和室(包括再循环出口通道和再循环槽道)的内表面施加在液态材料上的力的函数。
[0007]在已知的阀模块中，在开状态期间，液态材料所经受的分配背压通常大于在关状态期间所经受的再循环背压。由于模块使其阀部件在关(再循环)状态和开(分配)状态之间切换所需的时间量，在分配压力和再循环压力之间的差异起作用，阻碍模块在开状态下在分配周期开始以精确的体积输出进行分配的能力。
[0008]已知的分配系统包括具有沿涂布器的长度配有一个或多个模块的歧管的涂布器。在转让给本发明的受让人且其内容由此通过引用全部纳入本文的美国专利第6，422，428中披露了这种涂布器的一个实施例。这种分配系统允许涂布器上的一个或多个阀模块在使用期间以独特的液体流量操作和/或配有产生独特的背压的分配喷嘴的灵活性。因此，涂布器上的一个或多个模块可以在由独特的分配压力和/或独特的再循环压力导致的独特的压差的情况下工作。
[0009]已知的分配系统还可包括单个背压控制阀，该单个背压控制阀远离涂布器、靠近液体供应储罐定位，并且可操作用以控制再循环管道内的背压，模块中的每个模块与所述再循环管道连通。然而，该单个控制阀不能单独地控制每个模块内的背压，并且因此不能有效抵消遍及涂布器上的多个模块的独特压差。这样，在一个或多个阀模块中仍存在显著压差，这负面影响该模块或多个模块的分配性能，如上所述的那样。
[0010]因此，仍存在对液体分配涂布器改进以解决诸如上述那些挑战和劣势的现有挑战和劣势的需求。
【发明内容】
[0011 ]根据第一实施例的将液态材料分配到基板上的示例性涂布器包括本体、阀模块以及背压控制装置。本体包括用于接纳液态材料的内部通道、用于将液态材料引向基板的分配出口通道以及用于使液态材料再循环的再循环出口通道。阀模块具有分配模块和再循环模式。阀模块在分配模式下将液态材料导引通过分配出口通道，并且在再循环模式下将液态材料导引通过再循环出口通道。阀模块包括能够在打开位置与关闭位置之间移动的阀杆，在打开位置中，阀模块以分配模式操作，在关闭位置中，阀模块以再循环模式操作。背压控制装置被设置在本体中，并且具有与再循环出口通道连通的装置通道。当阀模块处于再循环模式时，背压控制装置将液态材料导引通过装置通道，使得在再循环模式下液态材料所经受的背压基本上等于在分配模式下液态材料所经受的背压。
[0012]根据第二实施例的将液态材料分配到基板上的示例性涂布器包括具有第一阀杆的第一阀模块和具有第二阀杆的第二阀模块。第一阀模块和第二阀模块中的每个具有用于分配液态材料的分配模式和用于使液态材料再循环的再循环模式。涂布器还包括:控制由第一阀模块再循环的液态材料的背压的第一背压控制装置；以及控制由第二阀模块再循环的液态材料的背压的第二背压控制装置。
[0013]还提供了根据第一实施例的利用涂布器分配液态材料的示例性方法。涂布器包括:具有入口通道的本体；阀模块，所述阀模块具有阀杆，所述阀杆能够在用于分配液态材料的打开位置和用于使液态材料再循环的关闭位置之间移动；以及背压控制装置，背压控制装置被设置在本体中，并且具有装置通道和能够相对于本体移动的装置部分。该方法包括:通过形成在本体中的入口通道接纳液态材料，以及将液态材料从入口通道引向阀杆。该方法还包括:将阀杆移动到关闭位置，以及将液态材料导引通过背压控制装置的装置通道并通过再循环出口通道，使得液态材料经受预定量的背压。该方法还包括:在第一方向上移动装置部分，以增加背压，和/或在第二方向上移动装置部分，以减小背压。
[0014]还提供了根据第二实施例的利用涂布器分配液态材料的示例性方法。该涂布器包括第一阀模块和第二阀模块。该方法包括:将液态材料接纳到第一阀模块和第二阀模块中，以及打开第一阀模块和第二阀模块，以分配液态材料。该方法还包括:关闭第一阀模块和第二阀模块，以停止分配液态材料，并且在第一阀模块和第二阀模块关闭的同时，使液态材料再循环。该方法还包括:在使液态材料再循环的同时，相对于第二阀模块中的第二再循环背压独立地控制第一阀模块中的第一再循环背压。
[0015]在阅读结合附图进行的所示实施例的以下详细描述之后，本发明的各种额外特征和优势对本领域技术人员来说变得更显而易见。
【附图说明】
[0016]图1A是根据本发明的第一实施例的表面安装型阀模块的正视透视图，该表面安装型阀模块与示意性示出的涂布器歧管联接且设有可调节的再循环背压控制装置。
[0017]图1B是图1A的阀模块和涂布器歧管的沿线1B-1B截取的侧视剖面图，示出处于液体分配模式的阀模块。
[0018]图1C是类似于图1B的侧视剖面图，但示出处于再循环模式的阀模块。
[0019]图1D是图1A的阀模块和涂布器歧管的沿线1D-1D截取的俯视剖面图，示出处于液体再循环模式的阀模块。
[0020]图2A是根据本发明的第二实施例的表面安装型阀模块的正视透视图，该表面安装型阀模块与示意性示出的涂布器歧管联接且设有固定的再循环背压控制装置。
[0021]图2B是图2A的阀模块的后视透视图，示出从阀模块的液体再循环出口通道移除并与阀模块的液体再循环出口通道对准的固定的再循环背压控制装置。
[0022]图2C是图2B的分配模块的沿线2C-2C截取的侧视剖面图，示出接纳在阀模块的液体再循出口通道内的固定的再循环背压控制装置，并示出处于液体再循环模式的阀模块。
[0023]图3A是根据本发明第三实施例的插入型阀模块的正视透视图，该插入型阀模块与固定的再循环背压控制装置结合地与涂布器歧管联接。
[0024]图3B是图3A的阀模块和涂布器歧管的沿线3B-3B截取的放大侧视剖面图，示出处于液体再循环模式的阀模块。
[0025]图3C是图3B的固定的再循环背压控制装置的透视图。
[0026]图4A是根据本发明第四实施例的插入型阀模块的正视透视图，该插入型阀模块与可调节的再循环背压控制装置结合地与涂布器歧管联接。
[0027]图4B是图4A的阀模块和涂布器歧管的沿线4B-4B截取的放大侧视剖面图，示出处于液体再循环模式的阀模块。
[0028]图4C是图4A的阀模块和涂布器歧管的沿线4C-4C截取的放大俯视剖面图，示出处于液体再循环模式的阀模块。
【具体实施方式】
[0029]参照图1A-1D，示出了具有设有可调节的再循环背压控制装置12的阀模块10的液体分配涂布器的第一实施例。阀模块10可使用安装螺栓16安装到液体分配涂布器的歧管14，歧管14被示意性示出为歧管段。阀模块10可操作用以将诸如热熔性粘合剂的液态材料分配到基板(未示出)上。分配涂布器可包括以并排关系布置的多个歧管段14，每个歧管段14具有可操作地联接到歧管段14的对应的阀模块10，如上面通过引用并入的美国专利第6，422，428号所披露的那样。在替代实施例中，在此所示的歧管段14可以是形成为分配涂布器的单一整体件的整体歧管的一体部分，如上面也通过引用并入的美国专利第6，089，413号所披露的那样。在这点上，应当理解，本文所述的发明实施例的各种特征可适用于具有各种构型的歧管的液体分配涂布器。
[0030]阀模块10包括模块本体20、可操作地联接到模块本体20的上部的空气帽22以及分配喷嘴24，利用具有夹紧螺钉28的喷嘴保持夹26，分配喷嘴24可释放地联接到模块本体20的下部。如下面更详细描述的，模块10能够在液体分配模式下操作，在该液体分配模式下，液态材料由液体栗2从位于远离涂布器的液态材料供应储罐4栗送到模块10，并接着从分配喷嘴24分配。模块10还能够在液体再循环模式下操作，在该液体再循环模式下，被栗送到模块1的液态材料不被分配，而是再循环回到液体供应储罐4。
[0031 ]在一个实施例中，可以提供独立的液体栗2以用于与涂布器的阀模块10中的每个阀模块一起使用。例如，每个独立的液体栗2可以随着歧管14的长度在每个阀模块位置直接联接到涂布器歧管14。或者，每个液体栗2可以远离涂布器设置，并通过管道联接到歧管14或其相应的阀模块10。在另一实施例中，液体栗2可以采用操作用以将液态材料输送到涂布器上的所有的阀模块1的单一液体栗的形式。例如，单一液体栗2可以直接联接到涂布器歧管14。或者，单一液体栗2可以远离涂布器设置，并通过管道联接到歧管14或阀模块10。应当理解，这些液体栗2的各种构型可以应用于下述本发明的另外的实施例。
[0032]该实施例的分配涂布器具有包括模块本体20的整体本体。参照图1B，模块本体20包括主内部室30。液体供应入口通道32向内延伸穿过模块10的背面34的中下部，并且成角度向下延伸，以与主室30连通。液体供应入口通道32适于接纳由栗2从供应储罐4输送的液态材料，并且还适于将液态材料引向主室30。液体分配出口通道36从主室30向下延伸，并通向模块本体20的底面38。分配出口通道36适于在液体分配模式期间将液态材料导引到分配喷嘴24的内部通道25中。图1D最佳所示的液体再循环出口通道40成角度地延伸穿过背面34的中上部并与主室30连通。液体再循环出口通道40适于在液体再循环模块期间将液态材料从模块1引向液体再循环槽道(channe 1)42，该液体再循环槽道42纵向延伸穿过歧管14，如图1C和ID示意性所示的那样。模块主体20还可包括图案(pattern)空气入口44，图案空气入口44延伸穿过背面34的下部并与分配出口通道36连通。图案空气入口44适于接纳用来产生液体喷涂图案的图案空气的供应，如下所述的那样。
[0033]联接到模块本体20的上部的空气帽22包括致动空气入口46，致动空气入口 46延伸穿过背面48并适于接纳加压致动空气的供应，所述加压致动空气用来使阀模块10在液体分配模式与液体再循模式之间切换，如下所述的那样。空气帽22还包括致动空气通道50，致动空气通道50延伸穿过正面52并与空气室54连通，空气室54限定在模块本体20与空气帽22之间，如下所述的那样。正面52适于接纳电磁阀组件(未示出)，电磁阀组件具有与致动空气通道50连通的一个或多个内部空气通道。隔离板(未示出)可定位在电磁阀组件和空气帽22的正面52之间，并且可包括与电磁阀组件的内部空气通道并与空气帽22的致动空气通道50连通的内部空气通道。电磁阀组件可操作用以选择性地将进来的致动空气导引到空气室54中，以致动下述阀模块10的内部部件，从而使模块10在液体分配模式与液体再循环模式之间切换。
[0034]模块本体20的主室30接纳以可移除筒的形式示出的阀杆套管60。可移除筒60与模块本体20结合限定多个(下述的)内部液体室和通道。可移除筒60包括上筒部分62、下筒部分64以及轴向延伸穿过上筒部分62和下筒部分64并适于接纳阀杆68的中心通孔66。阀杆68能够沿着筒60的中心轴线致动，穿过通孔66，用于使模块10在液体分配模式与液体再循环模式之间切换，在分配模式下，阀杆68处于图1B所示的向下打开位置，而在液体再循环模式下，阀杆68处于图1C所示的向上关闭位置。
[0035]阀杆68包括延伸穿过下筒部分64的下阀杆端70以及延伸穿过上筒部分62并进入到空气室54中的上阀杆端72。空气室54由限定主室30的模块主体20的内表面、空气帽22的下表面和活塞74共同限定。活塞74在上阀杆端72处安装到阀杆68，并且固定在下锁定螺母76与上锁定螺母78之间。活塞74可在空气室54内随阀杆68沿筒轴线移动。
[0036]上筒部分62包括接纳线圈压缩弹簧82的上凹部80。线圈弹簧82包围阀杆68，且包括邻接上筒部分62的下端和邻接活塞的上端。线圈弹簧82在图1C所示的向上关闭位置的方向上将偏置力施加在活塞74和阀杆68上。
[0037]阀杆68还包括:下阀构件84，下阀构件84靠近下阀杆端70从阀杆68径向向外突出；以及上阀构件86，上阀构件86在下阀杆端70与上阀杆端72之间的位置处从阀杆68径向向外突出。下筒部分64包括上阀座88，上阀座88成形为当阀杆68处于图1B所示的向下打开位置时密封地接合上阀构件86。下筒部分64还包括下阀座90，下阀座90成形为当阀杆68处于图1C所示的向上关闭位置时密封地接合下阀构件84。
[0038]下筒部分64与限定主室30的模块本体20的内表面结合地限定出与液体供应入口通道32连通的环形液体供应室92 ο多个周向隔开的径向通道94从液体供应室92朝向阀杆68径向向内延伸穿过下筒部分64并通向中心通孔66。在所示实施例中，筒60包括以九十度间隔周向隔开的四个径向通道94。在替代实施例中，筒60可包括以任何合适间隔周向隔开的任何合适数量的径向通道94。
[0039]上筒部分62与限定主室30的模块本体20的内表面结合地限定出与液体再循出口通道40连通的环形液体再循环室96。多个周向隔开的径向通道98从液体再循环室96朝向阀杆68径向向内延伸穿过上筒部分62，并通向中心通孔66 ο在所示实施例中，上筒部分62包括以九十度间隔周向隔开的四个径向通道98。在替代实施例中，上筒部分62可包括以任何合适间隔周向隔开的任何合适数量的径向通道98。
[0040]参照图1B，阀模块10示出处于液体分配模式。为了获得该模式，通过空气帽22的致动空气入口 46接纳的加压致动空气被电磁阀组件导引通过致动空气通道50并进入到空气室54中。加压空气迫使活塞74和阀杆68抵抗由线圈弹簧82施加的偏置力而移动进入到向下打开位置中，在该向下打开位置，上阀构件86密封地接合上阀座88 ο同时地，液态材料以由操作员指定的流量由栗2从液体供应储罐4馈送到液体供应入口通道32。进来的液态材料被迫向内通过液体供应入口通道32，进入到环形液体供应室92中，通过径向通道94并进入到中心通孔66中，如方向箭头所示的那样。液态材料接着朝向分配喷嘴24直接向下经过下阀构件84并通过分配出口通道36。在该阶段，当液态材料被迫通过分配喷嘴24的内部通道25并分配到基板上时，液态材料可与通过图案空气入口 44接纳的图案空气混合，以便产生喷射图案。
[0041 ] 在液态材料被迫向下经过下阀构件84并通过分配出口通道36和分配喷嘴24时，其经受被称为分配压力(也被称为涂布压力)的第一压力。如上所述，分配压力是流量压力和分配背压综合作用的结果。流量压力是由在给定液体流量下运行的液体栗2施加在液态材料上的力的函数。分配背压是由在分配期间液态材料被迫通过的通道和室(包括分配出口通道36和分配喷嘴24的内部通道25)的内表面施加在液态材料上的力的函数。
[0042]参照图1C和1D，阀模块10示出处于液体再循环模式。为了实现该模式，电磁阀组件终止加压空气到空气室54中的输送，由此使线圈弹簧82能够迫使活塞74和阀杆68进入到向上关闭位置中，在该向上关闭位置，下阀构件84密封地接合下阀座90。因此，如上所述被迫从径向通道94进入到中心通孔66中的液态材料直接向上经过上阀构件86，通过径向通道98并进入到环形液体再循环室96中，如方向箭头所示的那样。包围并密封接触阀杆68的上密封件100阻止液态材料超过径向通道98轴向向上流过中心通孔66 ο如图1D所示，液态材料接着被从再循环室96导引通过再循环背压控制装置12的锥形的环形空间128并通过液体再循环出口通道40。液态材料从液体再循环出口通道40被导引到形成在涂布器的歧管14中的再循环槽道42中。液态材料接着从歧管14被栗入再循环管道(未示出)，诸如外部软管中，液态材料通过该再循环管道而朝向液态材料供应储罐4回流。
[0043]当液态材料被迫通过上述各种室和通道并进入再循环槽道42中时，液态材料经受被称为再循环压力的第二压力。如上所述，再循环压力是流量压力和再循环背压综合作用的结果。再循环背压是由在再循环期间液态材料被迫通过的通道和室(包括再循环出口通道40、锥形的环形空间128和再循环槽道42)的内表面施加在液态材料上的力的函数。如下所述，再循环背压可以通过调节锥形的环形空间128的横截面面积以及因此其容积来选择性进行控制或预定。
[0044]如图1D所示，再循环背压控制装置12以可调节的针阀为形式，该可调节的针阀包括阀针101和供阀针101接纳在其中的阀口(valve port)102，所述阀口 102形成在模块本体20中。阀口 102通向在模块本体20上的前表面104并与再循环出口通道40和环形再循环室96连通。阀口 102包括:在朝向背面34的方向上延伸穿过前表面104的螺纹沉孔106;从沉孔106延伸的圆柱形孔108;以及从圆柱形孔108延伸的锥形孔110。如图所示，锥形孔110横向通向环形再循环室96并在远端通向再循环出口通道40。
[0045]阀针1I包括头部112、从头部112延伸的圆柱形中间部分114以及从圆柱形中间部分114延伸并限定针尖118的锥形部分116。圆柱形中间部分114包括与阀口 102的螺纹沉孔106螺纹接合的螺纹120以及环形槽口 122，所述环形槽口 122适于接纳密封件124，用于密封地接合阀口 102的圆柱形孔108 ο锥形部分116接纳在阀口 102的锥形孔110内。
[0046]填隙垫圈(sh im washer) 126可以定位在阀针1I的头部112与模块本体20的前表面104之间。当阀针101被拧紧抵靠填隙垫圈126时，填隙垫圈126在针头112上施加向外指向的力。因此，填隙垫圈126将阀针1I固定在期望的旋转定向中并减缓由于与阀模块10的操作相关联的振动或其它运动而引起的阀针101的意外旋转。填隙垫圈126可以形成为具有任何合适厚度并且可以例如是弯曲的、波形的或扁平的。此外，适当时可以使用多个填隙垫圈126。
[0047]锥形的环形空间128被限定在阀针1I的锥形部分116与阀口 102的锥形孔110之间。锥形的环形空间128限定再循环背压控制装置12的装置通道，在液体再循环模式下，液态材料被导引通过该装置通道。阀针101可以选择性地旋转，以增加或减小锥形的环形空间128的横截面面积和容积，并由此增加或减小液态材料在其经过锥形的环形空间128和再循环出口通道40时所经受的再循环背压。以这样的方式，流经阀模块10的液态材料可被提供预定的再循环背压。
[0048]具体地，阀针101可以在第一方向上(例如顺时针)旋转，以使阀针101的锥形部分116进一步前移到阀口 102的锥形孔110中，由此减小锥形的环形空间128的横截面面积和容积。因此，在再循环模式下，液态材料被迫通过由具有减小容积的锥形的环形空间128限定的通道，由此增加再循环背压。或者，阀针101可以在与第一方向相反的第二方向上(例如逆时针)旋转，以使阀针101的锥形部分116从阀口 102的锥形孔110撤出，由此增加锥形的环形空间128的横截面面积和容积。因此，在再循环模式下，液态材料被迫通过至少部分由具有增大容积的锥形的环形空间128限定的通道，由此减小再循环背压。
[0049]在可替代实施例中，阀针101和阀口102可以形成为不具有包括锥形部分116和锥形孔110的锥形特征。例如，阀针101和阀口 102可以是大致圆柱形的。在这种实施例中，阀针101可以如上所述的那样选择性地旋转，或者以其它的方式移动，以调节接纳在阀口 102内的阀针101的长度。由此，可以选择性地调节液态材料在再循环模式下流经的空间(包括类似于环形空间128的圆柱形环形空间)的对应容积，以便获得特定的预定再循环背压。应当理解，具有无锥形特征的再循环背压控制装置的这种替代构造也可以应用于下面根据图4A-4C描述的实施例。
[0050]阀针101在阀口102内的选择性调节实现再循环背压与对应于阀模块10的分配背压的大致匹配，由此有效地抵消这两个背压之间的压差。例如，如果模块10配有新的分配喷嘴24，该分配喷嘴24具有不同的内部几何形状，以便有效地增加或减小模块10的分配背压，则可以选择性地对阀针101进行调节，以使再循环背压与新的分配背压匹配。
[0051]此外，在分配涂布器包括多个阀模块10，每个馈送到形成在涂布器歧管14中的公共再循环槽道42中的情况下，每个模块10可设有其自己的可调节的针阀12。每个模块10可以以独特的液体流量操作和/或配有独特的分配喷嘴24，使得流经每个模块10的液态材料经受独特的再循环压力和/或独特的分配压力，包括独特的分配背压。有利地，每个模块10的阀针101可以独立地调节，以便控制该模块10的再循环背压并且使再循环背压与该模块10的分配背压大致匹配，由此抵消该两个背压之间的差异。以这样的方式，对应于每个模块10的再循环流动路径可以独立调谐，使得在涂布器上的共同的多个模块10可以在改进的分配性能的情况下同时地工作。
[0052]如上所述，抵消阀模块的分配背压和再循环背压提高了所分配液态材料的容积输出的精确度和准确度。当将热的液态材料分配到在分配时因例如由不正确分配操作引起的过量热液态材料而易受损的热敏性基板(诸如薄无纺布材料)上时，这个结果可以是特别有利的。
[0053]参照图2A-2C，示出了设有固定的再循环背压控制装置132的阀模块130的第二实施例。阀模块130在构造上类似于图1A-1D所示的阀模块10，除了如下面另外描述的以外。在这点上，类似附图标记表示根据图1A-1D所示和所述的类似特征。
[0054]参照图2B，固定的再循环背压控制装置132以限流器插入件为形式，该限流器插入件具有管状本体133、从管状本体133的端部径向向外延伸的凸缘134以及沿限流器插入件132的长度轴向延伸穿过管状本体133的中心孔136。如图2B和2C所示，管状本体133插入到液体再循环出口通道40a的外部部分中，使得凸缘134接纳在形成在模块130的背面48中的沉孔138中。沉孔138可形成为带有这样的深度，S卩，使得凸缘134与背面48齐平。此外，如图所示，限流器插入件132的中心孔136与再循环出口通道的内部部分并与环形再循环室96连通。
[0055]虽然限流器插入件132的管状本体133和凸缘134示出带有圆形横截面形状，但应当理解，限流器插入件132的这些部分可以形成为带有任何合适的横截面形状。此外，限流器插入件132可以形成为没有凸缘134。
[0056]参照示出处于液体再循环模式下的阀模块130的图2C，环形再循环室96与液体再循环出口通道40a直接连通。因此，在液体再循环模式下，液态材料可以从环形再循环槽道96直接流入液体再循环出口通道40a中，并且通过限流器插入件132的中心孔136。在这点上，再循环背压控制装置132的中心孔136限定出装置通道，在液体再循环模式下，液态材料被导引通过该装置通道。如图所示，中心孔136形成有固定直径，该固定直径小于径向通道98和再循环出口通道40a的直径。因此，包含限流器插入件132导致液态材料被迫通过由中心孔136限定的通道，该通道具有与其中限流器插入件132被舍去的实施例相比减小的横截面面积和容积。因此，再循环槽道背压增加。
[0057]限流器插入件132的中心孔可以形成有任何合适的直径，该直径被选择用于提供大致匹配由上述因素确定的阀模块130的具体分配背压的预定再循环背压。例如，如果分配喷嘴24用具有不同内部几何形状的另一喷嘴替代，则模块130可以配有具有这样的孔136的限流器插入件132，即:该孔136带有被合适地定尺寸以大致匹配新的分配背压的直径。以这样的方式，包括限流器插入件132使得能够控制再循环背压，以大致匹配分配背压，并且由此抵消分配背压与再循环背压之间的压差。
[0058]此外，分配涂布器可以包括多个阀模块130，每个模块130包括相应的限流器插入件132，相应的限流器插入件132具有被定尺寸和成形为使模块130的再循环背压与模块130的分配背压大致匹配的孔。因此，即使在涂布器上的一个或多个模块130以独特的液体流量工作和/或配有独特的分配喷嘴24的情况下，也可以独立地控制每个模块130的再循环背压，以便大致抵消模块130的再循环压力和分配压力之间的差异。以这样的方式，涂布器上的共同的多个模块130可在改进的分配性能的情况下同时地工作。
[0059 ]应当理解，根据替代实施例的涂布器可包括一个或多个阀模块1和一个或多个阀模块130。因此，涂布器可包括以一个或多个可调节的针阀12和一个或多个固定限流器插入件132为形式的背压控制装置，每个背压控制装置12、132构造成大致抵消其相应的阀模块
10、130的再循环压力和分配压力之间的差异。
[0060]参照图3A-3C，示出了阀模块150和固定的再循环背压控制装置272的第三实施例。图3A示出了两个相同阀模块150，该两个相同阀模块150并排布置并使用安装螺栓156安装到液体分配涂布器的示出为歧管段的歧管154。与在单一背面48处安装到歧管14的图1A-2C所示的独立自主的表面装型阀模块10、130相比，图3A-3C所示的阀模块(以及图4A-4C所示的模块300)是插入型模块。在这点上，模块150(以及模块300)包括插入到形成在分配涂布器的歧管15中的室的下部，如下面更详细描述的那样。
[0061]该实施例的分配涂布器具有包括歧管154的整体本体，其可具有以并排关系布置的多个歧管段154。如图3A所示，每个歧管段154可以接纳并可操作地联接到一个或多个阀模块150。在替代实施例中，本文所示歧管段154可以是形成为分配涂布器的单一整体件的整体歧管的一体部分，并且两个或多个阀模块150可以以并排的关系安装到该一体部分。在这点上，应当理解，本文所述的发明的实施例的各种特征可适用于具有各种构型的歧管的液体分配涂布器。
[0062 ]阀模块150包括沿中心模块轴线同轴地延伸的一系列部件。具体地，模块150包括上壳体158、可操作地联接到上壳体158的上端的空气帽160、联接到上壳体158的下端的阀杆导向件162、联接到阀杆导向件162的阀杆套管164以及沿模块轴线延伸穿过阀杆导向件162和阀杆套管164的阀杆166。类似于上述阀模块10、130，阀模块150能够在液体分配模式下操作，在该液体分配模式下，用液体栗2从液体供应储罐4栗送到模块150的液态材料从分配喷嘴168分配。阀模块150也可在再循环模式下操作，在该再循环模式下，被栗到模块150的液态材料朝向供应储罐4往回循环，如下面更详细描述的那样。阀杆166可放置到类似于图1B所示的向下打开位置的向下打开位置(未示出)以建立液体分配模式，以及放置到类似于图1C所示的向上关闭位置的图3B所示的向上关闭位置以建立液体再循环模式。
[0063]如图3A和3B所示，歧管段154包括安装面170，模块150可用安装螺栓156安装并固定到安装面170。歧管段154还包括模块插口(socket)172，模块插口 172延伸穿过安装面170并且被定尺寸和成形为以密封接触的方式接纳阀杆套管164。如图所示，阀杆套管164完全座置在模块插口 172内，使得下述的阀杆导向件162的中间部分226面对并叠置在安装面170上。分配喷嘴168利用具有夹紧螺钉178的喷嘴保持夹176可释放地联接到歧管段154的下端。如上面根据模块10描述的那样，该实施例的歧管段154可配有用于各种分配涂布的各种构造的分配喷嘴。
[0064]参照图3B，歧管段154还包括液体供应入口通道180，该液体供应入口通道180相对于歧管段154的长度和宽度成角度地延伸并通向模块插口 172的下插口部分182。该液体供应入口通道180适于接收由栗2从供应储罐4输送的液态材料，并且适于将进来的液态材料弓I向模块插口 172。液体分配出口通道184从模块插口 172的底端186成角度向下延伸，并通向歧管段154的底面，分配喷嘴168安装到歧管段154的该底面。液体分配出口通道184适于在液体分配模式期间将液态材料导引到分配喷嘴168中，如下所述的那样。
[0065]歧管段154还包括液体再循环出口通道188，液体再循环出口通道188从模块插口172的上插口部分190径向向外延伸，并通向纵向延伸穿过歧管段154的再循环槽道192。再循环出口通道188适于在再循环模式期间将液态材料从模块150导引到再循环槽道192中，如下所述的那样。再循环出口通道188可通过将工具件(tool piece)插入穿过前排放口 194形成，前排放口 194可以用排放塞196来密封，以防止液态材料在阀模块150的工作期间通过排放口 194离开。
[0066]上述涂布器歧管154的特征对应于阀模块150定位在其处的沿歧管段154的长度的单个模块位置。应该理解，类似的特征可以设置在另外的阀模块150安装在其处的沿歧管段154的长度的每个额外模块位置。在这点上，也应当理解，再循环槽道192可沿涂布器歧管154的长度延伸，使得其与从对应于每个模块位置的模块插口 172延伸的再循环出口通道188直接连通。
[0067]现转到阀模块150的结构细节，联接到上壳体158的上端的空气帽160包括致动空气入口(未示出)，该致动空气入口适于接纳加压致动空气的供应，所述加压致动空气用来使阀模块150在液体分配模式与液体再循模式之间切换。致动空气通道198延伸穿过空气帽160并与空气室200连通，所述空气室200被限定在空气帽160、上壳体158和活塞构件202之间，活塞构件202接纳在上壳体158内并联接到阀杆168。电磁阀组件204可操作地联接到空气帽160并具有内部空气通道(未示出)，该内部空气通道与空气帽160的致动空气通道198连通。隔热板206可位于电磁阀组件204与空气帽160之间。隔热板206包括内部空气通道208，该内部空气通道208在上端处与电磁阀组件204的内通气通道连通，且在下端处与空气帽160的致动空气通道198连通。电磁阀组件204可操作用以选择性地将进来的致动空气导引到空气室200中，以经由活塞构件202致动阀杆166，用来使模块150在液体分配模式与液体再循环模式之间切换，如下所述的那样。
[0068]上壳体158联接到空气帽160的下端，并包括通向上沉孔212的壳体通孔210，壳体通孔210、上沉孔212分别沿模块轴线延伸。沉孔212和壳体通孔210的上部被定尺寸和成形为以滑动接合的方式接纳活塞构件202。特别地，沉孔212被定尺寸和成形为接纳活塞构件202的上凸缘214，而壳体通孔210的上部被定尺寸和成形为接纳活塞构件202的下圆柱形本体216。活塞构件202联接到阀杆166，且可随着阀杆166沿模块轴线移动。活塞构件202包括下凹部218，该下凹部218被定尺寸以接纳包围阀杆166的压缩线圈弹簧220的上端。线圈弹簧220的下端邻接阀杆导向件162的上部的上端。因此，线圈弹簧220在活塞构件202上施加向上偏置力，以便朝向向上关闭位置偏置活塞构件202和阀杆166，如图3B所示的那样。
[0069]阀杆导向件162包括上导向件部分222、下导向件部分224以及形成在上导向件部分222与下导向件部分224之间的中间导向件部分226。阀杆导向件162还包括导向件通孔228，该导向件通孔228沿模块轴线延伸并且被定尺寸以接纳阀杆166。上导向件部分222包括外螺纹，该外螺纹与形成在壳体通孔210的下部中的内螺纹螺纹接合。类似地，下导向件部分224包括外螺纹，该外螺纹与形成在阀杆套管164的上凹部230中的内螺纹螺纹接合。导向件通孔228的下部和阀杆套管164的上凹部230分别被定尺寸和成形为接纳上导向件部分222和下导向件部分224。中间导向件部分226包括多个周向隔开的孔232，孔232朝向导向件通孔228径向向内延伸并通向导向件通孔228，由此提供了到形成在阀杆166上的环形槽口234的通路。
[0070]阀杆套管164包括上套管部分236和下套管部分238，下套管部分238在直径上小于上套管部分236。如图所示，上套管部分236接纳在模块插口 172的上插口部分190内，而下套管部分238接纳在下插口部分182内。套管通孔240沿模块轴线延伸穿过阀杆套管164，并且被定尺寸以接纳阀杆166。
[0071]阀杆166沿模块轴线延伸，并且包括上阀杆部分242和下阀杆部分244，下阀杆部分244例如通过螺纹接合联接到上阀杆部分242 ο上阀杆部分242的上端246形成有减小的直径，并轴向延伸穿过活塞构件202，并且借助于锁定螺母248联接到活塞构件202。上阀杆部分242的下端250包括接纳下阀杆部分244的上端252的孔。
[0072]阀杆166还包括从上阀杆部分242的下端250径向向外突出的上阀构件254以及从下阀杆部分244的下端径向向外突出的下阀构件256。下套管部分238包括上阀座260，该上阀座260成形为当阀杆166处于类似于图1B所示的向下打开位置的向下打开位置(未示出)时密封地接合上阀构件254。下套管部分238还包括下阀座262，下阀座262成形为当阀杆166处于图1C所示的向上关闭位置时密封地接合下阀构件256。
[0073]下套管部分238与模块插口172的限定下插口部分182的内表面结合地限定出环形液体供应室264，该环形液体供应室264与液体供应入口通道180连通。多个周向隔开的径向通道266从液体供应室264朝向阀杆166径向向内延伸穿过下套管部分238并通向套管通孔240。在所示实施例中，下套管部分238包括四个径向通道266，该四个径向通道266以九十度间隔周向隔开。在替代实施例中，下套管部分238可包括以任何合适间隔周向隔开的任何合适数量的径向通道266。
[0074]上套管部分236与以下描述的固定的再循环背压控制装置272结合地限定出内部环形液体再循环室268，该内部环形液体再循环室268与再循环出口通道188连通。多个周向隔开的成角度的通道270从内部再循环室268朝向阀杆166径向向内并轴向向上延伸穿过上套管部分236并通向套管通孔240。在所示实施例中，上套管部分236包括四个成角度的通道270，该四个成角度的通道270以九十度间隔周向隔开。在替代实施例中，上套管部分236可包括以任何合适间隔周向隔开的任何合适数量的成角度的通道270。
[0075]参照图3B和3C，固定的再循环背压控制装置272以再循环限流器环的形式示出。再循环限流器环272包括上环形表面274、下环形表面276以及中心环通孔278，中心环通孔278被定尺寸以接纳从中穿过的下套管部分238。如图3B所示，限流器环272被接纳在上插口部分190内，使得其包围下套管部分238的上端。限流器环272定位在上插口部分190中，使得上环形表面274邻接上套管部分236的下端，而下环形表面276邻接上插口部分190的下端。限流器环272可形成有基本上等于上套管部分236的外径的外径。此外，下环形表面276可包括环形槽，其适于接纳诸如O形环的密封件280，使得下环形表面276可密封地接合上插口部分190的下端。上环形表面274可包括斜面(chamfer)282，以容纳在上下套管部分236、238之间形成在阀杆套管164上的对应半径。
[0076]再循环限流器环272还包括:形成在径向内壁286上的内环形槽284;形成在径向外壁290上的外环形槽288;以及在内环形槽284与外环形槽288之间径向延伸并通向内环形槽284和外环形槽288的多个周向隔开的径向孔292。如上所述，内环形槽284与上套管部分236结合地限定出内环形液体再循环室268。外环形槽288与模块插口 172的限定上插口部分190的内表面结合地限定出外环形液体再循环室294。
[0077]如图3B和3C所示，再循环限流器环272包括四个径向孔292，该四个径向孔292形成有相等大小的固定直径并以九十度间隔周向隔开。如上所述，在替代实施例中，限流器环可形成有这样的径向孔292，所述径向孔292形成有任何合适直径且以任何合适数量和周向构造形成。
[0078]限流器环272相对于阀杆套管164定位，使得径向孔292中的每个径向孔与上套管部分236的成角度的通道270中的一个对准。此外，结合的阀杆套管164和限流器环272定位在歧管段154的模块插口 172内，使得限流器环272的径向孔292中的一个径向孔以及上套管部分236的相应的成角度的通道270与再循环出口通道188对准。
[0079]虽然在本文中未示出，但提供在液体分配模式下的阀模块150类似于上面根据图1B的模块10描述的过程。具体地，通过空气帽160的致动空气入口接纳的加压致动空气被电磁阀组件204导引通过致动空气通道198并进入到空气室200中。加压空气迫使活塞构件202和阀杆166抵抗由线圈弹簧220施加的偏置力移动，进入到向下打开位置，在该向下打开位置中，上阀构件254密封地接合上阀座260。同时地，液态材料以由操作员指定的流量由栗2从液体供应储罐4馈送到液体供应入口通道180。进来的液态材料被迫向内通过液体供应入口通道180，进入到环形液体供应室264中，通过下套管部分238中的径向通道266并进入套管通孔240中。液态材料接着直接向下经过下阀构件256、通过分配出口通道184并进入分配喷嘴168中。在该阶段，当液态材料被迫通过分配喷嘴168的内部通道174并导引到基板上时，液态材料可与图案空气混合以产生特定的喷涂图案。
[0080]当液态材料被迫向下经过下阀构件256并通过分配出口通道184和分配喷嘴168时，液态材料经受分配背压。如上所述，分配背压是由在分配期间液态材料被迫通过的通道和室(包括分配出口通道184和分配喷嘴168的内部通道174)的内表面施加在液态材料上的力的函数。
[0081]图3B所示的提供在液体再循分配模式下的阀模块150类似于上面根据图1C的模块10描述的过程。具体地，电磁阀组件204终止加压空气到空气室200中的输送，由此使线圈弹簧220能够迫使活塞构件202和阀杆166进入向上关闭位置，在该向上关闭位置中，下阀构件256密封地接合下阀座262。因此，如上所述被迫通过径向通道266进入套管通孔240中的液态材料被重新导引向上经过上阀构件254并进入成角度的通道270中。包围并密封接触阀杆166的上密封件296阻止液态材料超过成角度的通道270轴向向上流动通过通孔240。液态材料被迫向外通过成角度的通道270，进入内环形再循环室268、通过再循环限流环272的径向孔292，进入外环形再循环室294并进入再循环出口通道188，如方向箭头所示出的那样。再循环出口通道188将液态材料导引到延伸穿过涂布器歧管154的再循环槽道192中。液态材料接着从再循环槽道192被栗入再循环管道(未示出)，诸如外部软管，液态材料通过该再循环管道而朝向液态材料供应储罐4回流。
[0082]当液态材料朝向并通过再循环槽道192被迫通过各个室和通道时，液态材料经受再循环背压。如上所述，再循环背压是由在再循环期间液态材料被迫通过的通道和室(包括成角度的通道270、内外环形通道268、294、限流器环272的径向孔192、再循环出口通道188和再循环槽道192)的内表面施加在液态材料上的力的函数。在这点上，部分地由内环形槽284限定的内环形再循环室268、部分地由外环形槽288限定的外环形再循环室294以及再循环背压控制装置272的径向孔292共同限定了装置通道，在液体再循环模式下，液态材料被导引通过该装置通道。
[0083]再循环限流器环272的径向孔292中的每个形成有固定直径，该固定直径小于下套管部分238的成角度的通道270和歧管段154中的再循环出口通道188的直径。因此，包含限流器环272导致了液态材料被迫通过共同地包括径向孔292的通道，所述通道具有与其中限流器环272被舍去的实施例相比减小的横截面面积和容积。由此，增加再循环背压。
[0084]再循环限流器环272的径向孔292可形成有任何合适直径以及以任何合适数量和周向布置形成，所述直径、数量和周向布置被选择用以提供大致匹配阀模块150的具体分配背压的预定再循压力。例如，如果分配喷嘴168用具有不同内部几何形状的另一喷嘴替代，则模块插口 172可以配有具有径向孔292的限流器环272，所述径向孔292形成有合适大小的直径并且以适合数量和周向布置来形成，用以大致匹配分配背压。
[0085]此外，如图3A所示，液体分配涂布器可包括多个阀模块150，每个模块150包括相应的再循环限流器环272，再循环限流器环272适当形成为用以使该模块150的再循环背压与其分配背压大致匹配。因此，即使在涂布器上的一个或多个模块150以独特的液体流量工作和/或配有独特的分配喷嘴168的情况下，每个模块150的再循环背压也可以独立控制，以便大致抵消该模块150的再循环压力和分配压力之间的差异。以这样的方式，涂布器上的共同多个模块150可在改进的分配性能的情况下同时地工作。
[0086]参照图4A-4C，示出了阀模块300和可调节的再循环背压控制装置302的第四实施例。阀模块300构造上类似于图3A和3B所示的阀模块150，除了如下面另外描述的之外。在这点上，类似附图标记表示根据图3A和3B所示和所述的类似特征。
[0087]在图4A-4C的实施例中，再循环背压控制装置302以可调节的针阀为形式，该可调节的针阀包括阀针303和供阀针303接纳在其中的阀口 304，阀口 304形成在歧管段154a中。阀针303和阀口 304构造和功能上类似于上面根据图1D所示的阀模块10描述的阀针101和阀口 102，除了如下面另外描述的之外。
[0088]如图4B和4C最佳所示，阀口304通向在歧管段154a上的前表面306，并朝向再循环出口通道188a和再循环槽道192向内延伸并与再循环出口通道188a和再循环槽道192连通。阀口 304还与环形液体再循环室307连通，所述环形液体再循环室307被限定在限定了模块插口 172a的内表面和在靠近成角度的通道270的位置处的下套管部分238之间。如图4C所示，环形再循环室307与成角度的通道270连通。此外，应当理解，上述再循环限流器环272从该实施例的阀模块300删去，并且模块插口 172a因此被定尺寸和成形为以密封接触的方式单独接纳阀杆套管164。
[0089]阀口304包括延伸穿过歧管段154a的前表面306的螺纹沉孔308、从沉孔308延伸的圆柱形孔310以及从圆柱形孔310延伸的锥形孔312。圆柱形孔310侧向通向环形再循环室307，而锥形孔312在远端处通向再循环出口通道188a。
[0090]可调节的阀针303被接纳在阀口 304内，并包括头部314、从头部314延伸的圆柱形中间部分316以及锥形部分318，锥形部分318从圆柱形中间部分316延伸并限定针尖320。圆柱形中间部分316包括与阀口 304的螺纹沉孔308螺纹接合的螺纹322以及适于接纳密封件326的环形槽口 324，密封件326用于密封地接合阀口 304的圆柱形孔310。锥形部分318被接纳在阀口304的锥形孔312内，使得针尖320朝向再循环槽道188a延伸。填隙垫圈328可位于阀针303的头部314与歧管段154a之间，并可在结构和功能上类似于上面根据图1D描述的填隙垫圈126。
[0091]锥形的环形空间330被限定在阀针303的锥形部分318与阀口 304的锥形孔312之间。因此，锥形的环形空间330限定了再循环背压控制装置302的装置通道，在液体再循环模式下，液态材料被导引通过该装置通道。以类似于上面根据图1C和ID描述的方式的方式，可选择性地旋转阀针303，以使锥形部分318进一步前移到阀口 304的锥形孔312中或将锥形部分318撤出远离阀口 304的锥形孔312。由此，可选择性减小或增加锥形的环形空间330的横截面面积和容积，并且因此可选择性增加或减小再循环背压，以获得具体的预定再循环背压。
[0092]如类似上面根据图1D描述的，阀针303在阀口304内的选择性调节实现了再循环背压与对应于阀模块300的分配背压的大致匹配。因此，可有效地抵消这两个背压之间的压差。
[0093]此外，在分配涂布器包括定位在沿分布器歧管154a的长度的并排模块位置处的多个阀模块300的情况下，可提供独立可调节的针阀302与在其相应的模块位置处的模块300中的每个模块一起使用。因此，每个模块300可以以独特的液体流量工作和/或可与具有独特的内部几何形状的分配喷嘴168连通，使得流经每个模块300的液态材料经受独特的再循环压力和/或独特的分配压力，包括独特的分配背压。有利地，对应于在其相应的模块位置处的模块300中的每个模块的相应的针阀302可独立地调节，以便控制该模块300的再循环背压，并使该模块300的再循环背压与分配背压大致匹配，由此抵消该模块300的分配背压和再循环背压之间的差异。以这样的方式，对应于每个模块300的再循环流动路径可以独立地调谐，使得在涂布器上的共同多个模块300可以在改进的分配性能的情况下同时地工作。
[0094]应当理解，根据替代实施例的涂布器可包括一个或多个阀模块150和一个或多个阀模块300。因此，涂布器可包括以一个或多个固定的限流器环272和一个或多个可调节的针阀302为形式的背压控制装置，每个背压控制装置272、302构造成大致抵消其相应的阀模块150、300的再循环压力和分配压力之间的差异。
[0095]虽然本发明已通过其具体实施例的描述说明，且虽然这些实施例已相当详细地描述，但不旨在将所附权利要求书的范围限制或以任何方式限制到这样的细节。本文所讨论的各种特征可单独或以任何组合使用。其它优势和改型对本领域的技术人员来说是显而易见的。因此，本发明在其更广泛方面上不限于所示和所述的具体细节、代表性装置和方法以及示意性实例。因此，可偏离这些细节，而不偏离总的发明构思的精神或范围。
【主权项】
1.一种用于将液态材料分配到基板上的涂布器，所述涂布器包括: 本体，所述本体包括: 入口通道，所述入口通道用于接纳液态材料， 分配出口通道，所述分配出口通道用于将所述液态材料引向所述基板，以及 再循环出口通道，所述再循环出口通道用于使所述液态材料再循环； 阀模块，所述阀模块具有分配模式和再循环模式，其中，所述阀模块在所述分配模式中所述液态材料导弓I通过所述分配通道，而在所述再循环模式中将所述液态材料导弓I通过所述再循环出口通道，且所述阀模块包括阀杆，所述阀杆能够在打开位置和关闭位置之间移动，在所述打开位置中，所述阀模块以所述分配模式操作，在所述关闭位置中，所述模块以所述再循环模式操作； 背压控制装置，所述背压控制装置被设置在所述本体中并具有装置通道，所述装置通道与所述再循环出口通道连通， 其中，当所述阀模块处于所述再循环模式时，所述背压控制装置将所述液态材料导引通过所述装置通道，使得在所述再循环模式下所述液态材料所经受的背压基本上等于在所述分配模式下所述液态材料所经受的背压。2.如权利要求1所述的涂布器，其中，所述背压控制装置包括装置部分，所述装置部分能够相对于所述本体移动，以调节所述装置通道的容积。3.如权利要求2所述的涂布器，其中，所述背压控制装置包括阀，所述阀具有阀针和接纳所述阀针的阀口，所述阀针和所述阀口在它们之间形成所述装置通道;并且其中，所述阀针包括锥形部分，所述阀口包括接纳所述锥形部分的锥形孔，并且所述装置通道包括形成在所述阀针的所述锥形部分与所述阀口的所述锥形孔之间的锥形的环形空间。4.如权利要求1所述的涂布器，其中，所述背压控制装置相对于所述本体固定，使得所述装置通道具有固定的容积。5.如权利要求4所述的涂布器，其中，所述背压控制装置包括接纳在所述再循环出口通道的至少一部分内的插入件，所述插入件具有形成所述装置通道的孔。6.如权利要求4所述的涂布器，其中，所述背压控制装置包括包围所述阀杆的环，所述环具有径向外壁、径向内壁以及在所述径向内壁与所述径向外壁之间延伸的多个周向隔开的孔，并且 其中，所述多个周向隔开的孔形成所述装置通道的至少一部分。7.如权利要求6所述的涂布器，其中，所述环还包括形成在所述径向外壁上的外侧环形槽和形成在所述径向内壁上的内侧环形槽，所述外侧环形槽至少部分地形成外环形室，并且所述内侧环形槽至少部分地形成内环形室，并且其中，所述装置通道包括所述外环形室和所述内环形室。8.—种用于将液态材料分配到基板上的涂布器，所述涂布器包括: 第一阀模块和第二阀模块，所述第一阀模块具有第一阀杆，所述第二阀模块具有第二阀杆，所述第一阀模块和所述第二阀模块中的每个具有用于分配液态材料的分配模式和用于使液态材料再循环的再循环模式； 第一背压控制装置，所述第一背压控制装置控制由所述第一阀模块再循环的所述液态材料的背压；以及 第二背压控制装置，所述第二背压控制装置控制由所述第二阀模块再循环的所述液态材料的背压。9.如权利要求8所述的涂布器，其中，所述第一背压控制装置包括装置通道，当所述第一阀模块处于所述再循环模式时，所述液态材料被导引通过所述装置通道，且所述第一背压控制装置还包括装置部分，所述装置部分能够移动，用以调节所述装置通道的容积;并且其中，所述装置部分能够在第一方向上移动，以减小所述装置通道的所述容积，并由此增加被再循环的所述液态材料的所述背压，并且所述装置部分能够在第二方向上移动，以增加所述装置通道的所述容积，并由此减小被再循环的所述液态材料的所述背压。10.—种利用涂布器分配液态材料的方法，所述涂布器包括:本体，所述本体具有入口通道;阀模块，所述阀模块具有阀杆，所述阀杆能够在用于分配液态材料的打开位置和用于使液态材料再循环的关闭位置之间移动；以及背压控制装置，所述背压控制装置被设置在所述本体中，并具有装置通道和能够相对所述本体移动的装置部分，所述方法包括: 通过形成在所述本体中的所述入口通道接纳液态材料； 将所述液态材料从所述入口通道引向所述阀杆； 将所述阀杆移动到所述关闭位置； 将所述液态材料导引通过所述背压控制装置的所述装置通道并通过所述再循环出口通道，使得所述液态材料经受背压；以及 在第一方向上移动所述装置部分以增加所述背压和/或在第二方向上移动所述装置部分以减小所述背压。11.一种利用涂布器分配液态材料的方法，所述涂布器包括第一阀模块和第二阀模块，所述方法包括: 将液态材料接纳到所述第一阀模块和所述第二阀模块中； 打开所述第一阀模块和所述第二阀模块，以分配所述液态材料； 关闭所述第一阀模块和所述第二阀模块，以停止分配所述液态材料； 在所述第一阀模块和所述第二阀模块关闭的同时，使所述液态材料再循环；以及在使所述液态材料再循环的同时，相对于所述第二阀模块中的第二再循环背压独立地控制所述第一阀模块中的第一再循环背压。12.如权利要求11所述的方法，其中，所述涂布器包括再循环背压控制装置，所述再循环背压控制装置具有装置通道，并且独立地控制所述第一再循环背压包括:将所述液态材料导引通过所述再循环背压控制装置的所述装置通道。13.如权利要求12所述的方法，其中，所述再循环背压控制装置包括可移动装置部分，并且其中，独立地控制所述第一再循环背压包括下列至少一个:在第一方向上移动所述可移动装置部分，以增加所述第一再循环背压，或在第二方向上移动所述可移动装置部分，以减小所述第一再循环背压。14.如权利要求13所述的方法，其中，移动所述可移动装置部分包括:调节所述装置通道的容积。15.如权利要求11所述的方法，其中，所述涂布器包括第一再循环背压控制装置和第二再循环背压控制装置，并且相对于所述第二再循环背压独立地控制所述第一再循环背压包括:将所述液态材料导引通过与所述第一阀模块合作操作的所述第一再循环背压控制装置并通过与所述第二阀模块合作操作的所述第二再循环背压控制装置。
【文档编号】B05C11/10GK105944907SQ201610134130
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年3月9日
【发明人】乔尔·E·赛内
【申请人】诺信公司