一种全自动抛光液配制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到单晶硅抛光片生产领域，具体的说是一种全自动抛光液配制系统。
【背景技术】
[0002]目前单晶硅抛光片生产领域使用的抛光液配制系统，主要是通过人工用量杯量取规定体积的抛光液原液倒入配制罐中，然后向配制罐内手动加水，水到规定液位后关闭纯水阀门，打开循环栗进行抛光液循环，循环一定时间后，关闭循环栗，打开抛光液供应栗，向抛光设备提供抛光液，设备不需要抛光液时，抛光液经过回流管道又回到配制罐中，达到按规定比例配制抛光液的目的，但现有人工配制抛光液系统存在以下缺点:1)人工量取抛光液，存在量取误差，不同操作人员量取的抛光原液存在量取差别，造成配制后的抛光液浓度出现波动，会造成产品质量不稳定；2)用量杯量取抛光原液后，如果不及时冲洗量杯，长时间放置量杯表面会存在抛光液结晶，再次配制时结晶会混入抛光液中，造成产品质量下降；3)没有取样盒，配制后的抛光液不能及时取样，不能检测配制完成后抛光液的PH值，达不到及时发现问题的目的。
【实用新型内容】
[0003]为解决现有的抛光液配制系统存在的上述不足，本实用新型提供了一种全自动抛光液配制系统，该配制系统可以实现抛光液的自动配制、自动循环混合、自动供应、自动回流和米样。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种全自动抛光液配制系统，包括通过供应栗将纯水桶内纯水抽入抛光液配制罐内的主管路、通过供应栗将抛光原液桶内抛光液原液抽入抛光液配制罐内的支管路、向抛光液配制罐内供应纯水的纯水供应管路、通过供应栗向抛光机供应抛光液的抛光液供应管路、与抛光液供应管路配合对抛光液配制罐内液体进行循环混合的循环支路、分流抛光液供应管路中的抛光液进行取样检测的取样支路和在抛光机不需要抛光液时将抛光液导回抛光液配制罐的抛光液回流管路，所述主管路和支管路分别将纯水和抛光液原液导入到储液罐内，然后再由储液罐供应给抛光液配制罐，所述储液罐和抛光液配制罐内设置有液位传感器，外设的控制系统根据储液罐和抛光液配制罐内液位传感器输出的信号控制各管路的通断以实现自动配液和供液。
[0005]所述纯水桶通过主管路与抛光液配制罐连通，在主管路上依次设置有气动阀1、供应栗1、气动阀I1、储液罐和气动阀III，供应栗I抽取纯水桶中的纯水依次经气动阀1、供应栗1、气动阀I1、储液罐和气动阀III进入到抛光液配制罐内，所述抛光原液桶通过支管路与主管路连通，该支管路上设置有气动阀IV，其末端连接在主管路上气动阀I和供应栗I之间的位置。
[0006]所述抛光液供应管路的首端连接在抛光液配制罐的底部，末端依次连通气动阀V1、供应栗I1、气动阀νπ和过滤器后向抛光机供应抛光液；所述抛光液回流管路的一端与抛光液供应管路的末端连通，另一端通过气动阀VID连接在抛光液配制罐的上部；所述循环支路和取样支路上分别设有气动阀IX和气动阀X，其中，循环支路的一端与抛光液配制罐的上部连接，另一端连接在抛光液供应管路上供应栗II和气动阀VII之间的位置，取样支路分流抛光液供应管路中经过滤器过滤后的抛光液，并导入取样盒内。
[0007]所述储液罐和抛光液配制罐的上部分别设置有液位传感器I和液位传感器II，外设的控制系统根据液位传感器I和液位传感器II输出的信号控制各管路的通断。
[0008]有益效果:本实用新型通过从抛光原液桶自动抽取抛光液原液供应到储液罐中，供应到储液罐中的抛光液原液体积由液位感应器控制，当达到液位感应器感应到液位时，自动停止向储液罐供应抛光液原液，储液罐将其内的抛光原液流入抛光液配制罐中，达到自动量取抛光液原液，自动供应抛光液原液的目的；同时，增加一个纯水桶，当储液罐中的抛光液原液完全流入到抛光液配制罐后，纯水桶中的纯水自动向储液罐供应纯水，供应的纯水体积同样由液位感应器控制，达到液位后，纯水流入抛光液配制罐中，达到纯水冲洗储液罐的目的，防止储液罐内抛光液结晶；在抛光液供应管路上设置取样支路，增加一个取样盒，取样盒中安装有手动阀，当每配制完成一罐抛光液向抛光机供应时，可以打开该取样支路上的手动阀，接取抛光液进行检测，达到及时检测抛光液配比是否准确的目的。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型实施例的系统图；
[0010]附图标记:1、纯水桶，2、抛光原液桶，3、供应栗I，4、储液罐，5、抛光液配制罐，6、供应栗II，7、取样盒，8、气动阀I，9、气动阀IV，10、气动阀II，11、气动阀III，12、气动阀V，13、气动阀VI，14、气动阀IX，15、气动阀厕，16、手动阀，17、液位传感器I，18、气动阀VII，19、液位传感器II，20、过滤器，21、主管路，22、支管路，23、纯水供应管路，24、抛光液供应管路，25、抛光液回流管路，26、循环支路，27、取样支路。
【具体实施方式】
[0011]一种全自动抛光液配制系统，包括通过供应栗将纯水桶I内纯水抽入抛光液配制罐5内的主管路21、通过供应栗将抛光原液桶2内抛光液原液抽入抛光液配制罐5内的支管路22、向抛光液配制罐5内供应纯水的纯水供应管路23、通过供应栗向抛光机供应抛光液的抛光液供应管路24、与抛光液供应管路24配合对抛光液配制罐5内液体进行循环混合的循环支路26、分流抛光液供应管路24中的抛光液进行取样检测的取样支路27和在抛光机不需要抛光液时将抛光液导回抛光液配制罐5的抛光液回流管路25，所述主管路21和支管路22分别将纯水和抛光液原液导入到储液罐4内，然后再由储液罐4供应给抛光液配制罐5，所述储液罐4和抛光液配制罐5内设置有液位传感器，外设的控制系统根据储液罐4和抛光液配制罐5内液位传感器输出的信号控制各管路的通断以实现自动配液和供液。
[0012]下面结合具体实施例对本实用新型做进一步的阐述。
[0013]如图所示，所述纯水桶I通过主管路21与抛光液配制罐5连通，在主管路21上依次设置有气动阀I 8、供应栗I 3、气动阀II 10、储液罐4和气动阀III11，供应栗I 3抽取纯水桶I中的纯水依次经气动阀I 8、供应栗I 3、气动阀II 10、储液罐4和气动阀III 11进入