有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺的制作方法

技术总结
一种MEMS器件具有：支撑基部，具有与外部环境接触的底表面；传感器管芯，为半导体材料并且集成微机械检测结构；传感器框，布置在传感器管芯周围并且机械地耦合到支撑基部的顶表面；以及帽，布置在传感器管芯上方并且机械地耦合到传感器框的顶表面，帽的顶表面与外部环境接触。传感器管芯从传感器框被机械地去耦合。

技术研发人员：E·杜奇;S·康蒂
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
文档号码：201610191890
技术研发日：2016.03.30
技术公布日：2017.03.22