1.基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是按如下步骤:
一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板;
二、激光照射纳米结构的硅基板表面;
三、观察硅基表面形态,并测量硅基表面凸起的长径比。
四、总结硅基表面形态的变化规律。
2.如权利要求1所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:不同导热率的材料选用:绝热材料、同种材料、导热材料。
3.如权利要求2所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:绝热材料选用石棉、同种材料选用硅、导热材料选用铝。
4.基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是按如下步骤:
步骤一,用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板四周;
步骤二,激光对纳米结构的硅基板进行照射;
步骤三,关闭激光,观察激光照射后的硅基板;
步骤四,测量硅基板的表面形态。
5.如权利要求4所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:不同导热率的材料选用:绝热材料、同种材料、导热材料。
6.如权利要求5所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:绝热材料为石棉,同种材料为硅,导热材料为铝。
7.如权利要求5或6所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:步骤一,用绝热材料、导热材料和绝热材料接触硅基板的左右面,用绝热材料、同种材料、绝热材料去接触硅基板前后面。
8.如权利要求4所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:步骤二,激光的功率P=75mW,激光照射时间t=10s。
9.如权利要求4所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:步骤三,硅基表面形态呈现棱锥形。
10.如权利要求4或9所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:步骤四,硅基表面最大直径D与最短直径W的比值是0.74,最大高度H=950nm。