技术总结
本发明公开了一种基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法：一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板；二、激光照射纳米结构的硅基板表面；三、观察硅基表面形态，并测量硅基表面凸起的长径比。四、总结硅基表面形态的变化规律。本发明具有如下特点：其一，通过接触材料的导热率来改变纳米结构硅基表面形态。其二，用激光对纳米结构硅基板进行照射，清洁、环保、不产生任何污染。其三，改变纳米结构硅基表面形态所需的时间短，效率高。
技术研发人员：张俐楠;程从秀;郑伟;吴立群;王洪成
受保护的技术使用者：杭州电子科技大学
文档号码：201611150104
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.05.31