技术特征：
技术总结
本发明提供一种MEMS设备，能够防止金属从共晶接合的接合面溢出。该MEMS设备具备：具有在表面具有配线的元件的下侧基板，与元件对置而设置的上侧基板，以及在元件的周围将下侧基板与上侧基板接合的接合部；接合部具有从接近元件的部分到远离元件的部分连续地设置的第1区域、第2区域和第3区域，第1区域或第3区域中的至少任一个区域含有第1成分和第2成分中熔点高的一方的成分的过共晶合金，第2区域含有第1成分与第2成分的共晶合金。
技术研发人员：福光政和;山田修平
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2016.09.14
技术公布日：2018.03.27