一种金属纳米针尖阵列的制备方法与流程

文档序号:16097420发布日期:2018-11-27 23:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(A)转移超薄纳米模板至一平基底上;

(B)把待制备纳米针尖的金属放置到所述平基底表面的超薄纳米模板上;

(C)用热塑性纳米压印技术把加热的金属挤压到超薄纳米模板中的孔隙中形成微柱并流到平基底上形成粘接,冷却形成三明治结构;

(D)在外力作用下,移除平基底,微柱在拉伸作用下颈缩、断裂形成金属纳米针尖。

2.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述超薄纳米模板的厚度小于10微米。

3.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述超薄纳米模板的孔隙直径小于2微米。

4.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述超薄纳米模板经由光刻技术或阳极氧化的方法制得。

5.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述纳米模板的材质选自硅、氧化铝、氧化硅、氧化锆中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述平基底的熔点应大于或等于所述金属的熔点。

7.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述金属选自金、银、铜、铝、锡、锌、铅或至少含一种以上元素的合金中的一种。

8.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述流入超薄纳米模板孔隙中的金属与平基底的粘接强度随着热压时间的增加而增大。

9.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述步骤(C)中加热温度为0.25Tm~Tm,施加压力载荷应大于压印金属的屈服流动应力。

10.根据权利要求1所述的一种金属纳米针尖阵列的制备方法,其特征在于:所述步骤(D)中金属纳米针尖的曲率半径小于等于1微米。

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