改良的连续电镀槽结构的制作方法

文档序号:5288646阅读:311来源:国知局
专利名称:改良的连续电镀槽结构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种改良的连续电镀槽结构,尤指一种施行二次铜电镀作业的垂直连续电镀槽结构改良设计,其利用若干滚轮组于电镀槽内形成通道,令有乾膜的生产板以垂直夹送方式导进通道时,使电镀液得以激喷至生产板上,令生产板可获良好匀称的电镀效果的电镀槽结构设计。
然而,现有二次铜电镀作业所采用的方式,是将生产板各置于不同的电镀槽予以沉浸作电镀反应,但此种电镀方式,令生产板的电镀效果较不理想,因生产板于各个电镀槽中所处的位置(亦即与阳极板的作用距离)皆不同,所以,生产板表面的电镀层则会有不匀称的现象产生(离阳极板作用距离愈近,其电镀层愈厚,反之,离阳极板作用距离愈远者,其电镀层则愈薄)。
本实用新型的次要目的,在于提供一种改良的连续电镀槽结构设计,该电镀槽的通道以采用直立竖设的方式且呈相对应状的数个滚轮组所构成,使两侧相邻滚轮组之间均布设有供电镀液激流喷出的导管,如此,当生产板采用垂直悬吊的方式夹送进入该通道时,则令电镀液得以经由导管上的喷嘴向外激喷至生产板上,使生产板面上可快速获得良好匀称的电镀效果。
本实用新型的另一目的,在于提供一种改良的连续电镀槽结构设计,在前述该通道的前、后端处各设有一组止水滚轮,借助出口处的止水滚轮使电镀槽的电镀液达到一定的电镀液位。
本实用新型的再一目的,在于提供一种改良的连续电镀槽结构设计,该夹送装置横设于电镀槽的上端,而其所具有的若干夹具则连结设于一呈水平方向设置的回转轨道上,使各夹具回转至电镀槽的前后区段时,得以借助轨道两侧所设置的滚轮触压至夹具的触压板上,令各夹具下方原本呈闭合状态的夹头开启,使夹具回转至此控制区段时,即可自动使夹头产生开启状态以取放生产板,待夹具回转出此一控制区段时,夹头即受一压缩弹簧的作用而回复至原闭合状态。



图1、2及图3、4所示,一种改良的连续电镀槽结构,特别是适用于二次铜电镀作业改良的连续电镀槽结构设计,其主要是在该电镀槽1内部设置有数个滚轮组2、导管3、止水滚轮4及反应装置5等构件,且电镀槽1的顶端横向设有一回转的夹送装置6,其中滚轮组2,如图3及图4所示,其于一轮轴21上串设具有数个等间距的滚轮22,而该轮轴21的底端则设有一齿轮23,从而形成一滚轮组2,取数个滚轮组2以直竖的方式并间隔排列设置于电镀槽1内的两侧,令两侧滚轮组2的滚轮22皆呈相对应状态,且两相对应的滚轮22之间保持有一适当的间距,从而在电镀槽1内形成一纵向的通道24(即如图4所示),而通道24两侧各滚轮组2底端的齿轮23彼此相互咬合;导管3,其直立设于同侧两相邻滚轮组2之间,令其于管体的表面设置有供电镀液激流喷出的喷嘴31(如图3所示);
止水滚轮4,请参阅如图5及图6所示,该止水滚轮4以软质塑料所制成,其以两两一组的方式采取直立状轴设于电镀槽1前、后端的入、出口处,令同组的两止水滚轮4彼此呈贴合状,并借助动力源驱动轮轴转动;反应装置5,如图3、4所示,其以数个不可溶阳极板51分别布设于滚轮组2的两侧,而于滚轮组2与不可溶阳极板51之间则设有可同步活动伸缩的遮板52;夹送装置6,如图7至图9所示,其横设于电镀槽1的上端(请另行参阅图2所示),夹送装置6上具有若干的夹具61,且使各夹具61得以连结设于一呈水平方向设置的回转轨道62上,于夹具61的一侧边设有触压板611,而其底端则设有夹头612,且令触压板611的内侧装设有压缩弹簧613,又于电镀槽1前后区段的轨道62两侧设置有滚轮621;利用上述构件,令通道24一侧的各滚轮组2顶端皆组结具有一伞齿轮25,使各滚轮组2借助该伞齿轮25与动力源相接连(如图6所示),则通道24两则的各滚轮组2即经由底端的齿轮23传动而呈同步滚转,如此,当有乾膜的生产板7借助夹送装置6采用垂直悬吊的方式,夹送进入该通道24进行二次铜电镀作业时,令电镀液经由导管3上的喷嘴31向外激喷至生产板7上,使生产板7在两侧滚轮组2滚动辅助移动行进的同时,其板面上即可获最大且均匀的喷洒压力,又导接阴极的生产板7可配合两侧不可溶阳极板51以较高电流密度通电进行高速电镀作业,故生产板7的表面可迅速获得一自然均匀的镀层。
再者,因生产板7采用直立式的方式进入电镀槽1内,于是,于生产板7上其盲孔内的气泡较易散出,使影响二次铜电镀作业成败的因素大幅降低。
此外,在前述电镀槽1的通道24内,因相对应滚轮组2的滚轮22之间保持一适当的间距,且各滚轮22皆朝与生产板7其前进的方向转动,如此,当生产板7经过通道24内时,其板面上的线路不会有受损的疑虑,且生产板7在每一滚轮组2间受喷嘴31向外激喷电镀液时,其电镀液会受各滚轮22的扰流作用,使生产板7的表面可获得最大且均匀的喷洒压力,使生产板7于电镀槽1中可获得品质极佳的均匀电镀层,从而使整个二次铜电镀流程可有效率地完成,而节省电镀反应时间。
另外,本实用新型在电镀槽1的前、后端处所设有的止水滚轮4,使电镀槽的电镀液达到一定的电镀液位,且电镀槽1前、后端的止水滚轮4亦可有效地阻挡电镀槽1中的电镀液外流。
此外,本实用新型改良的连续电镀槽结构,其夹送装置6的作动情形如下所述当各夹具61借助轨道62回转运行至电镀槽1的前后区段时,在轨道62两侧所设置的滚轮621会强迫触压至夹具61的触压板611上,令各夹具61下方原本呈闭合状态的夹头612开启,使夹具61回转至此控制区段时,即可自动使夹头612产生开启状态以取放生产板7(如图9所示),待夹具61回转出此一控制区段时,夹头612即受压缩弹簧613的作用而回复至原闭合状态(如图8所示)。
其次,当生产板7的宽幅较不可溶阳极板51的涵盖范围窄时,为避免电流集中效应产生镀层不均现象,可利用反应装置5两侧的遮板52同步活动伸缩遮挡于生产板7未及于不可溶阳极板51的涵盖范围处,使生产板7末端两侧的电流不会集中致使镀层不均。
综上所述,可见本实用新型改良的连续电镀槽结构设计,确具有预期均匀、快速的电镀效果,且整体手段运用灵巧、合理。
权利要求1.一种改良的连续电镀槽结构,其主要是在该电镀槽内部设置有数个滚轮组、导管、止水滚轮及反应装置等构件,且电镀槽的顶端横向设有一回转的夹送装置,其特征在于滚轮组,其是于一轮轴上串设具有数个等间距的滚轮,而该轮轴的底端则结设有一齿轮;导管,其于管体的表面设置有供电镀液激流喷出的喷嘴;止水滚轮,以两两一组的方式采取直立状轴设于电镀槽前、后端的入、出口处,令同组的两止水滚轮彼此呈贴合状,并由动力源驱动轮轴转动;反应装置,其是以数个不可溶阳极板分别布设于滚轮组的两侧,而于滚轮组与不可溶阳极板之间则设有可同步活动伸缩的遮板;夹送装置,以数个夹具串连结设于一呈水平方向设置的回转轨道上,该轨道于邻近电镀槽前后区段的两侧则设置有滚轮;利用上述构件,取数个滚轮组以直竖的方式并间隔排列设置于电镀槽内的两侧,从而在电镀槽内形成一纵向的通道,如此,当有乾膜的生产板借助夹送装置夹送进入该通道进行二次铜电镀作业时,电镀液会经由导管上的喷嘴向外激喷至生产板上,使生产板借助两侧滚轮组滚动辅助移动行进的同时,其板面上除可获最大且均匀的喷洒压力外,又得以配合两侧不可溶阳极板以较高电流密度通电进行高速电镀作业,使生产板的表面可迅速获得一自然均匀的镀层。
2.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,该夹具的一侧边设有触压板,而其底端则设有夹头,且于触压板的内侧装设有压缩弹簧。
3.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,该通道内各相对应夹层板的隔肋保持一仅供生产板板厚的间距。
4.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,该生产板采用直立式的方式进入电镀槽内。
5.如权利要求1或2所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,使各夹具借助轨道回转运行至电镀槽的前后区段时,滚轮会强迫触压夹具的触压板使夹具下方原本呈闭合状态的夹头开启。
6.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,该止水滚轮以软质塑料所制成。
7.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,在通道两侧各滚轮组底端的齿轮彼此相互咬合。
8.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,在通道一侧的各滚轮组顶端皆组合有一伞齿轮,使各滚轮组通过该伞齿轮与动力源相接连。
9.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,通道两侧滚轮组的滚轮皆呈相对应状态,且两相对应的滚轮之间保持有一适当的间距。
10.如权利要求1所述改良的连续电镀槽结构,其特征在于,该遮板可活动伸缩遮挡于生产板未及于不可溶阳极板所涵盖的范围处。
专利摘要本实用新型涉及一种改良的连续电镀槽结构,主要是在该电镀槽内的两侧竖立设有数个呈相对应状的滚轮组,使两侧滚轮组之间保持一适当间距以形成一纵向通道,且在同侧两相邻滚轮组之间设置有供电镀液激流喷出的导管,另于该通道的前后端处各设有一组止水滚轮,于是,当生产板采用垂直悬吊的方式夹送进入该通道进行二次铜电镀作业时,则令电镀液得以经由导管上的喷嘴向外激喷至生产板上,使生产板借助两侧滚轮组辅助移动行进的同时,其板面上即可获良好匀称的电镀效果。
文档编号C25D17/02GK2532089SQ0220813
公开日2003年1月22日 申请日期2002年3月22日 优先权日2002年3月22日
发明者叶楚融 申请人:亚硕企业股份有限公司
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