专利名称：背压式电解刻蚀加工装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电解刻蚀加工技术，具体涉及一种满足高精度电解刻蚀加工需求的背压式电解刻蚀加工装置。
背景技术：
某些材料产品的电解刻蚀加工精度要求较高，常规电解刻蚀加工后的产品电解刻蚀深度不均勻，零件表面存在未被完全阳极溶解的基体，即电解刻蚀部位的零件表面出现金属局部高点。电解刻蚀加工过程中由于加工区流场不均勻、浓差极化等因素造成产品几何形状不规则。常规电解刻蚀工装结构如图1所示，阴极板9与安装座8连接，它们整体放置在敞开式电解液槽1内。其中，安装座8上开设凹槽，凹槽内放置待电解刻蚀的零件7和导电板 6，导电板6通过导电螺柱一 2与导线一 4连接。导电螺柱一 2由密封盖5和螺母一 3固定在安装座8上。
发明内容
本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置，其在电解刻蚀加工过程中，能够确保加工区流场均勻一致，有效减少、浓差极化满足高精度电解刻蚀加工的需求。实现本发明目的的技术方案一种背压式电解刻蚀加工装置，其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径； 阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的电解液出口的口径为电解液进口的口径0. 3 1. 2倍。如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的导电螺柱二上连接一段延伸出的导线二，所述的阴极板底部连接一段延伸出的导线三。如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的阴极板为不锈钢材料。本发明的效果在于本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，可实现电解刻蚀深度均勻一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。本发明装置可推广运用于航空、电子、印刷等领域。本发明装置采用背压式电解液流场，保证加工区电解液充分且分布均勻，增加电解液循环，通过电解液的流动降低加工部位的浓差极化现象，同时及时带走电解液中的电解产物和气泡，保证零件表面不同部位的腐蚀速度均勻一致。消除零件表面存在未被完全阳极溶解的基体金属局部高点等现象。使电解刻蚀深度均勻一致，实现尺寸0. 01 士0. 005， 0.1 T1等的高精度加工要求。
图1为常规电解刻蚀工装结构图；图2为本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置结构示意图；图中1.敞开式电解液槽；2.导电螺柱一 ；3.螺母一 ；4.导线一 ；5.密封盖；6.导电板；7.零件；8.安装座；9.阴极板；10.背压式电解液槽；11.电解液出口；12.底座； 13.螺母二；4.导线二；15.导电螺柱二；16.上盖；18.阴极板；19.电解液进口 ；20.凹槽； 21.导线三。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置作进一步描述。如图2所示，本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置包括一个背压式电解液槽10，在背压式电解液槽10上方固定上盖16，背压式电解液槽10的一侧槽壁上部开有电解液出口 11，另一侧槽壁下部开有电解液进口 19。电解液出口 11的口径为于电解液进口 19的口径0. 3 1. 2倍(例如0. 3倍、0. 7倍、或1. 2倍)。不锈钢阴极板18设置在背压式电解液槽10内、固定在背压式电解液槽10底部。 阴极板18底部连接一段延伸出的导线三21。在背压式电解液槽10内、阴极板19对应的上方位置处，设置固定在上盖16下方的底座12，底座12下端面开设环形的凹槽20，该环形的凹槽20用于放置待电解刻蚀零件， 然后通过一个盖板将待电解刻蚀零件固定在凹槽20内。导电螺柱二 15依次穿过上盖16、底座12连接至放置在凹槽20内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二 15通过螺母二 13固定在上盖16上，并且连接一段延伸出的导线二 14。本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，能够保证在加工区整个流程上电解液流场的均勻分布，提高阳极(待电解刻蚀零件)溶解的集中蚀除能力，降低散蚀能力，同时改善间隙内电场、流场、电化学参数的均勻性和稳定性。采用现有电解刻蚀加工工艺参数，分别通过现有电解刻蚀加工工装与本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，对零件产品进行电解刻蚀加工。该零件产品部分加工尺寸的数据对比如表1所示，普通电解刻蚀加工工装尺寸精度不高，有超差现象(斜体数据)。表权利要求
1.一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于该装置包括一个背压式电解液槽 (10)，在背压式电解液槽(10)上方固定上盖(16)；背压式电解液槽(10)的一侧槽壁上部开有电解液出口(11)，另一侧槽壁下部开有电解液进口(19)，所述的电解液出口(11)的口径小于电解液进口(19)的口径；阴极板(18)设置在背压式电解液槽(10)内、固定在背压式电解液槽(10)底部；在背压式电解液槽(10)内、阴极板(19)对应的上方位置处，设置固定在上盖(16)下方的底座(12)，底座(1 下端面开设凹槽(20)，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽00)内；导电螺柱二(1 依次穿过上盖(16)、底座(1 连接至放置在凹槽 (20)内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二(1 通过螺母二(1 固定在上盖(16)上。
2.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于所述的电解液出口(11)的口径为电解液进口(19)的口径0.3 1.2倍。
3.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于所述的导电螺柱二(15)上连接一段延伸出的导线二(14)，所述的阴极板(18)底部连接一段延伸出的导线三01)。
4.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于所述的阴极板 (18)为不锈钢材料。
全文摘要
本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置。其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径；阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。本发明装置可实现电解刻蚀深度均匀一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。
文档编号C25F7/00GK102383175SQ20111032953
公开日2012年3月21日 申请日期2011年10月26日 优先权日2011年10月26日
发明者丁宇, 张丽, 张芹梅, 温明, 王世龙, 苏会丽, 范会玉, 郝文龙, 陶现宾 申请人:中国运载火箭技术研究院, 首都航天机械公司