带状部件的电解去毛刺方法和装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及能够将电源直接施加于作为电解去毛刺对象物的带状部件，能够提高去毛刺效率的带状部件的电解去毛刺方法和装置。该带状部件的电解去毛刺方法：使刷子状电极与以浸渍在处理槽内部的化学溶液中的状态把持于环状输送带而进行输送的带状零部件带状部件接触而定位，从刷子状电极直接施加电源，从而带状部件成为阴极，另外的不溶性导电体电极成为阳极，通过在两者之间施加电源，从带状部件的表面剥离毛刺。该带状部件的电解去毛刺装置包括：把持于环状输送带而进行输送的带状部件；以与所述带状部件接触而带状部件成为阴极的方式设置的刷子状电极；以在通电时成为阳极的方式设置在与所述带状部件彼此分开的位置的另外的不溶性导电体电极。
【专利说明】带状部件的电解去毛刺方法和装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及带状部件的电解去毛刺技术，特别是涉及能够将电源直接施加于电解去毛刺对象物即半导体组件(package)等的带状部件,能够提高去毛刺效率的带状部件的电解去毛刺方法和装置。
【背景技术】
[0002]通常，在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封过程后，对电镀过程前欲进行电镀过程的部位和在电镀过程后进行了电镀过程的部位进行用于去除毛刺(Flash)的去毛刺(Deflash)过程。
[0003]在以往这样的去毛刺过程中，大致依次执行以下工序:使带状部件浸溃在化学溶液中一定时间的浸溃工序；对带状部件的表面进行冲洗的冲洗工序；在使冲洗后的带状部件浸溃的状态下进行电解去毛刺而剥离.除去毛刺的电解去毛刺工序；对带状部件的表面再次进行冲洗的冲洗工序；用于去除剩余的毛刺的喷水工序。
[0004]即依次进行浸溃工序、冲洗工序、电解去毛刺工序、冲洗工序和喷水工序，但在这样的以往方式的去毛刺过程中的电解去毛刺工序中，执行如下所述的工序:在将冲洗后的带状部件浸溃到例如氢氧化钾溶液的化学溶液的状态下，将冲洗后的带状部件把持于通常由导体构成的环状输送带来进行输送的半导体组件构成为，对环状输送带施加电源，经由这样的环状输送带而对半导体组件施加电源，由此，在半导体组件成为阴极、钛和钼等不溶性金属成为阳极的状态下，施加电源，一边从半导体组件的芯片搭载部位和引线框架的表面产生氢气一边对形成在半导体组件的表面的毛刺进行剥离。
[0005]不过，这样的以往的电解去毛刺工序方式在实际上应用于多种形态的带状部件的情况下，经由环状输送带而对去毛刺对象物即半导体组件施加电源，由此，产生如下问题。
[0006]第一，对连续地移动的导电性金属弹性体的环状输送带施加电源，因此，工作中产生火花，对环状输送带的表面带来损伤，缩短环状输送带的使用寿命，由此，产生了不经济的问题。
[0007]第二，在作为用于去毛刺工序的对象物的带状部件的情况下，在材料的内部存在不导电的陶瓷等物质时，产生如下问题:即使经由环状输送带施加电源，也无法对作为去毛刺对象物的带状部件在整个部位上均匀地进行去毛刺工序，只以通电的部位为中心局部地进行。
[0008]第三，不直接对作为用于去毛刺工序的对象物的带状部件施加电源，而是暂且经由环状输送带对作为去毛刺对象物的带状部件间接地施加电源，由此所产生的不合理的问题是，无法干净地剥离毛刺而造成产品的不合格率变高，结果，为了使这样的不合格率降低，也只能反复多次进行去毛刺作业直到达到去毛刺工序所要求的品质，所以产生作业上的效率不高的情况，不仅生产率降低，而且带来制造成本的上升的问题。
【发明内容】
[0009]本发明是为了解决这样的以往的问题而研究开发的，具有如下目的。
[0010]本发明的目的在于，能够对作为用于去毛刺工序的对象物的带状部件直接施加电源，能够干净地剥离毛刺，在降低产品的不合格率的同时，容易达到去毛刺工序所要求的品质，不仅提高生产率，也使制造成本降低，提高产品的竞争力。
[0011]本发明的另一目的在于，在作为用于去毛刺工序的对象物的带状部件的情况下，在材料的内部存在不导电的陶瓷等物质时，对作为去毛刺对象物的带状部件的整个部位均匀且顺畅地进行去毛刺工序。
[0012]本发明的另一目的在于，即使不对如现存的那样连续地移动的导电性金属弹性体的环状输送带施加电源，也能够对作为去毛刺对象物的带状部件直接施加电源，不对工作中环状输送带产生不良影响，通过延长环状输送带的使用寿命而便宜灵活地应用。
[0013]本发明为了达到上述目的，提供一种带状部件的电解去毛刺方法，其是在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件的密封部和引线部的毛刺而进行的电解去毛刺方法，其特征在于，如下所述这样执行工序:使刷子状电极与以浸溃在处理槽内部的化学溶液的状态把持于环状输送带而进行输送的带状部件接触而进行定位；通过从刷子状电极直接施加电源，使所述带状部件成为阴极，使浸溃在所述处理槽内部的化学溶液中的另外的不溶性导电体电极成为阳极；通过在所述阴极的刷子状电极与所述阳极的不溶性导电体电极之间施加电源，从以把持于环状输送带的状态进行输送的带状部件的表面剥离毛刺。
[0014]另外，提供一种带状部件的电解去毛刺装置，其是在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件的密封部和引线部的毛刺的电解去毛刺装置，其特征在于，该带状部件的电解去毛刺装置包括:以浸溃在处理槽内部的化学溶液中的状态把持于环状输送带而进行输送的带状部件；以与所述带状部件接触而使所述带状部件成为阴极的方式设置的刷子状电极；浸溃在所述处理槽内部的化学溶液中并以在通电时成为阳极的方式设置在与所述带状部件彼此分开的位置的另外的不溶性导电体电极。
[0015]采用本发明，能够对作为用于电解去毛刺工序的对象物的带状部件直接施加电源，干净地进行毛刺的剥离，降低产品的不合格率并容易达到电解去毛刺工序所要求的品质，不仅提高生产率，也降低制造成本，从而能够提高产品的竞争力，另外，作为用于电解去毛刺工序的对象物的带状部件的情况下，在材料的内部存在不导电的陶瓷等物质时，也能够对作为电解去毛刺对象物的带状部件在整个部位均匀且顺畅地进行电解去毛刺工序。另外，即使不对如现存的那样连续地移动的导电性金属弹性体的环状输送带施加电源，也能够对作为电解去毛刺对象物的带状部件直接施加电源，不对工作中环状输送带产生不良影响，使环状输送带的使用寿命延长，从而能够便宜灵活地运用。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是表示本发明的优选实施例的局部省略的主视图。
[0017]图2是图1的俯视例示图。
[0018]图3是图1的侧视例示图。
[0019]图4是以本发明中使用的刷子电极单元为中心表示的放大主视图。[0020]图5是图4的俯视图。[0021]图6是图4的侧视图。
[0022]图7是作为本发明的变形例而与图1相对应地表示的主视图。
[0023]图8是作为本发明的另一变形例而与图1相对应地表示的主视图。
[0024]图9是图7或者图8的侧视图。
[0025]图10是作为本发明的又一变形例而与图1相对应地表示的主视图。
[0026]图11是图10的侧视图。
[0027]图12是作为本发明的再一变形例而与图1相对应地表示的主视图。
[0028]附图标记
[0029]1、带状部件
[0030]2、处理槽
[0031]3、化学溶液
[0032]4、环状输送带
[0033]5、刷子状电极
[0034]6、刷子电极单元
[0035]7、不溶性导电体电极
[0036]8、固定构造体
[0037]9、支承框架
[0038]50、端子台
[0039]52、连结孔
[0040]54、垫圈
[0041]56、连结件
[0042]60、刷子电极
[0043]60a、电线
[0044]62、端子
[0045]62a、电线
[0046]62b、设置孔
[0047]62c、弯曲部
【具体实施方式】
[0048]下面，参照附图对本发明进行更具体且详细地说明。
[0049]如图所示，本发明所涉及的带状部件的电解去毛刺装置的适用例，在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件I的密封部和引线部的毛刺的电解去毛刺装置中，包括:以浸溃于处理槽2内部的化学溶液3的状态把持于环状输送带4来进行输送的带状部件I ;以与带状部件I接触而带状部件I成为阴极的方式设置的刷子状电极5 ;浸溃于所述处理槽2内部的化学溶液3并以在通电时成为阳极的方式设置在与所述带状部件I彼此分开的位置的另外的不溶性导电体电极7。
[0050]此时，所述刷子状电极5由单一的刷子电极单元6构成，或者以将多个刷子电极单元6集合的形态构成。作为上述构成的共同点，所述刷子电极单元6是将刷子电极60和固定于所述刷子电极60的端子62彼此结合而构成的。
[0051]另外，所述刷子电极60构成为，将多根电线60a集束，一侧以所述端子62的电线固定部62a围绕的状态而彼此集合地固定，作为另一侧的所述一侧的相对侧以自由端形态延伸地构成，从而在设置后，所述刷子电极60与所述带状部件I的表面彼此接触而能够连接电源。所述端子62构成为，在与所述电线固定部62a分开的位置设置有设置孔62b，以使所述端子62与端子台50能够连结固定，在所述电线固定部62a和所述设置孔62b之间设置有弯曲部62c以使电线60a具有设置角度。
[0052]此时，所述端子台50通过设置在处理槽2的相邻位置的固定构造体8和支承框架9固定设置。
[0053]此时，所述电线60a具有不与化学溶液3反应的耐腐蚀性，使用不锈钢材料来形成为能够与带状部件I彼此弹性接触的方式。另外，优选所述电线60a构成为，所输送的带状部件I和所述电线60a以沉积于化学溶液3的状态弹性地彼此加圧.接触而通电，并且也能够维持在带状部件I的表面不产生划痕那样柔和的状态，实际上进行了长时间实验的结果，为了满足上述较多条件，优选所述电线60a的数量为50根~70根，最优选所述电线60a的直径为0.05mm以下。
[0054]另外，将所述刷子电极单元6设置在端子台50上的方式如下所述:例如，使预先形成于端子台50上的连结孔52与所述端子62的设置孔62b在彼此一致的状态下，利用垫圈54和连结件56彼此连结固定即可，优选所述弯曲部62c构成为，如图1所示的那样从正面观察时，电线60a与由环状输送带4进行输送的带状部件I的水平输送方向呈锐角，并且如图3所示的那样从侧面观察时，电线60a呈钝角倾斜而弯曲的形态以便充分地长达带状部件I的表面。
[0055]另外，所述刷子状电极5以在端子台50上设置并集合多个刷子电极单元6的形态构成的情况下，如图1至图3所例示那样，各个刷子电极单元6构成为，选择具有电线60a的长度相同的刷子电极60的刷子电极单元6，或者如图7至图11所例示那样构成为，选择具有电线60a的长度不同的刷子电极60的刷子电极单元6，在用于执行电解去毛刺工序的带状部件I的表面的整个部位均匀地进行电连接，另外，优选在带状部件I的表面的较多的部位同时进行电连接。
[0056]另外，欲进行电解去毛刺工序的带状部件I的形态具有多种多样的构造，出于根据以非绝缘状态与引线框架进行连接的形态，或者以绝缘状态进行连接的形态等多样的形态而适当地灵活运用的目的，如所述那样能够将电线60a的长度构成为相同或者互不相同。
[0057]特别是，能够如图7至图12所例示那样选择具有电线60a的长度不同的刷子电极60的刷子电极单元6，，但是也能够使其配置顺序不同地构成为，例如图7所例示那样，使电线60a从最短的形态到最长的形态反复地配置；或者如图8所例示那样，使电线60a从最短的形态经由最长的形态之后，再次反复以短的形态配置；或者如图10和图11所示那样，使电线60a以短的形态和长的形态反复配置；或者如图12所示那样，使电线60a以短的形态和长的形态杂乱地配置。
[0058]即由于这样欲进行电解去毛刺工序的带状部件I的多样的形态使电线60a的长度不同而以多种多样的形态配置，或者以即使电线60a的长度相同，也能够使电线60a的设置数量和设置间隔等多样地配置的方式多样地变更而灵活运用，这样的多样的变更内容也包含在本发明的基本思想中，结果，属于后述的权利要求书的范畴是显而易见的。
[0059]下面，基于本发明的带状部件的电解去毛刺方法更详细地说明如上述那样构成的本发明的带状部件的电解去毛刺装置的工作过程。
[0060]即作为本发明的带状部件的电解去毛刺方法，在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件I的密封部和引线部的毛刺而进行的电解去毛刺方法中，如下所述这样执行带状部件的电解去毛刺方法:使刷子状电极5与以浸溃在处理槽2内部的化学溶液3中的状态把持于环状输送带4而进行输送的带状部件I接触而定位，从刷子状电极5直接施加电源，从而带状部件I成为阴极，浸溃在所述处理槽2内部的化学溶液3的另外的不溶性导电体电极7成为阳极，通过在所述阴极的刷子状电极5与所述阳极的不溶性导电体电极7之间施加电源，从以把持在环状输送带4的状态进行输送的带状部件I的表面剥离毛刺。
[0061]下面，分阶段地更详细地说明带状部件I的电解去毛刺工序。
[0062]准各工序 [0063]其为在进行电解去毛刺工序之前的准备工序，首先，预先将化学溶液3填充到处理槽2的内部至一定水位，加载并定位欲进行电解去毛刺工序的带状部件1，使其以浸溃在化学溶液3的状态把持于环状输送带4而进行输送，使刷子状电极5与带状部件I接触而进行定位，另外，以浸溃在所述处理槽2内部的化学溶液3的状态配置另外的不溶性导电体电极7。
[0064]电解去毛刺工序
[0065]如所述那样在准备工序中进行用于电解去毛刺的准备时，开始工作而进行环状输送带4的输送工作，也对刷子状电极5和不溶性导电体电极7分别施加电源，从而进行电解去毛刺工序，此时，如下所述这样执行去毛刺工序:刷子状电极5与以浸溃在处理槽2内部的化学溶液3的状态把持于环状输送带4而进行输送的带状部件I的表面接触，从刷子状电极5直接施加电源，从而带状部件I成为阴极，浸溃在所述处理槽2内部的化学溶液3的另外的不溶性导电体电极7成为阳极，对所述阴极的刷子状电极5与所述阳极的不溶性导电体电极7之间的化学溶液3施加电源的同时对形成在以把持于所述环状输送带4的状态进行输送的带状部件I的表面的毛刺进行剥离。
[0066]此时，在以对带状部件I的表面直接施加电源的方式构成刷子状电极5的各刷子电极单元6中，刷子电极60的多根电线60a直接与带状部件I的表面接触，带状部件I被环状输送带4输送的同时刷子电极60的多根电线60a与带状部件I的整个表面部位均匀地弹性抵接而进行通电，特别是，刷子电极60的电线60a中的与带状部件I的表面抵接的部分也以沉积在化学溶液中的状态同维持被沉积在化学溶液3中的状态的带状部件I的表面接触，电源的通电更顺畅。带状部件I的形态具有多样的构造，无论是以绝缘状态与引线框架进行连接还是以非绝缘状态与引线框架进行连接，能够进行顺畅的电连接，有效地进行对带状部件I的表面剥离毛刺的电解去毛刺工作。
[0067]当然，如所述那样进行电解去毛刺工序之后，能够依次进行处于待机中的接下来必须的处理工序。[0068]因而，采用本发明，能够对作为用于电解去毛刺工序的对象物的带状部件I直接施加电源，干净地进行毛刺的剥离，在降低产品的不合格率的同时容易达到电解去毛刺工序所要求的品质，不仅提高生产率，也降低制造成本，从而能够提高产品的竞争力，另外，作为用于电解去毛刺工序的对象物的带状部件I的情况下，在材料的内部存在不导电的陶瓷等物质时，也能够对作为电解去毛刺对象物的带状部件I的整个部位均匀且顺畅地进行电解去毛刺工序。另外，即使不对如现存的那样连续地移动的导电性金属弹性体的环状输送带4施加电源，也能够对作为电解去毛刺对象物的带状部件I直接施加电源，不对工作中环状输送带4产生不良影响，使环状输送带4的`使用寿命延长，从而能够便宜灵活地运用。
【权利要求】
1.一种带状部件的电解去毛刺方法，该带状部件的电解去毛刺方法是在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件(I)的密封部和引线部的毛刺而进行的电解去毛刺方法，其特征在于， 如下所述这样的执行工序: 使刷子状电极(5)与以浸溃在处理槽(2)内部的化学溶液(3)的状态把持于环状输送带(4)而进行输送的带状部件(I)接触而进行定位； 通过从刷子状电极(5 )直接施加电源，使所述带状部件(I)成为阴极，使浸溃在所述处理槽(2)内部的化学溶液(3)中的另外的不溶性导电体电极(7)成为阳极； 通过在所述阴极的刷子状电极(5)与所述阳极的不溶性导电体电极(7)之间施加电源，从以把持于环状输送带(4)的状态进行输送的带状部件(I)的表面剥离毛刺。
2.一种带状部件的电解去毛刺装置，该带状部件的电解去毛刺装置是在半导体的制造工序中的利用树脂成形进行的密封工序后为了于电镀工序的前后剥离被残留在带状部件(I)的密封部和引线部的毛刺的电解去毛刺装置，其特征在于， 该带状部件的电解去毛刺装置包括: 以浸溃在处理槽(2)内部的化学溶液(3)中的状态把持于环状输送带(4)而进行输送的带状部件(I); 以与所述带状部件(I)接触而使所述带状部件(I)成为阴极的方式设置的刷子状电极(5)；· 浸溃在所述处理槽(2)内部的化学溶液(3)中并以在通电时成为阳极的方式设置在与所述带状部件(I)彼此分开的位置的另外的不溶性导电体电极(7)。
3.根据权利要求2所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述刷子状电极(5)包括刷子电极单元(6)， 所述刷子电极单元(6)是将刷子电极(60)和固定于所述刷子电极(60)的端子(62)彼此结合而构成的。
4.根据权利要求3所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述刷子电极(60)构成为，将多根电线(60a)集束，以一侧通过所述端子(62)的电线固定部(62a)以围绕的状态彼此集合并固定，作为另一侧的所述一侧的相对侧构成为以自由端形态延伸，所述刷子电极(60)能够与所述带状部件(I)的表面彼此接触而进行电源的连接。
5.根据权利要求3所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述端子(62)构成为，在与所述电线固定部(62a)分开的位置设有设置孔(62b)，使所述端子(62)能够与端子台(50)连结固定， 在所述电线固定部(62a)与所述设置孔(62b)之间设置有弯曲部(62c)，使电线(60a)具有设置角度。
6.根据权利要求4所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述电线(60a)具有与化学溶液(3)不反应的耐腐蚀性，使用不锈钢材料形成为与所述带状部件(I)彼此弹性接触的方式。
7.根据权利要求4所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 构成所述刷子电极(60)的电线(60a)的数量为50根~70根。
8.根据权利要求4所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 构成所述刷子电极(60)的所述电线(60a)的直径为0.05mm以下。
9.根据权利要求3所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述刷子电极单元(6)设置于端子台(50)， 所述端子台(50)的连结孔(52)和所述端子(62)的设置孔(62b)在彼此一致的状态下，利用垫圈(54)和连结件(56)彼此连结固定地构成。
10.根据权利要求5所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述弯曲部(62c)构成为，在从正面观察时，电线(60a)与由环状输送带(4)进行输送的带状部件(I)的水平输送方向呈锐角。
11.根据权利要求5所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述弯曲部(62c)构成为，从侧面观察时，电线(60a)呈以钝角倾斜并弯曲的形态以便充分地长达带状部件(I)的表面。
12.根据权利要求2所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述刷子状电极(5)以在端子台(50)上设置并集合多个刷子电极单元(6)的形态构成， 所述各个刷子电极单元(6)分别选择具有电线(60a)的长度彼此相同的刷子电极(60)的刷子电极单元(6)而构成。
13.根据权利要求2所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 所述刷子状电极(5)以在端子台(50)上设置并集合多个刷子电极单元(6)的形态构成， 所述各个刷子电极单元(6)分别选择具有电线(60a)的长度不同的刷子电极(60)的刷子电极单元(6)而构成。
14.根据权利要求13所述的带状部件的电解去毛刺装置，其特征在于， 选择具有使所述电线(60a)的长度不同的刷子电极(60)的刷子电极单元(6)并使配置顺序不同地构成。
【文档编号】C25F7/00GK103572361SQ201210361262
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年9月25日 优先权日:2012年7月26日
【发明者】郑载松, 崔棋烈, 田骏培 申请人:亚斯杰特股份有限公司