金属表面电沉积制备硅烷膜的方法与流程

文档序号:11595096阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供的是一种金属表面电沉积制备硅烷膜的方法。在装有硅烷预水解溶液的高压釜内,金属基体作为工作电极,铂片作为对电极,Ag/AgCl电极作为参比电极,通入高纯氧气控制高压釜内压强为0~20MPa,对工作电极施加阴极电位为‑0.45~‑1.5V,电沉积10s~60min,取出金属基体,用高压氮气去除表面多余硅烷预水解溶液,在60~200℃干燥固化,固化时间为10~360min。本发明采用氧气加压电沉积的方法,能有效提高硅烷预水解溶液中氧气的含量,能够使溶液中的氧气及时补充到金属基体表面,促进金属表面的阴极电沉积过程,从而提高硅烷膜的成膜质量及其防护性能。

技术研发人员:王艳秋;窦宝捷;邵亚薇;孟国哲;张涛;刘斌
受保护的技术使用者:哈尔滨工程大学
文档号码:201410826955
技术研发日:2014.12.25
技术公布日:2017.08.04

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