阴极挡板以及电镀装置的制造方法_2

文档序号:8800168阅读:来源:国知局
第二调节柱122上。该方案具体了第一挡块2、第二挡块3与主挡板I的连接关系。
[0025]在其中一个实施例中,两第一调节柱121对应地位于通孔区域11的横向两侧,两第二调节柱122对应地位于通孔区域11的横向两侧。该方案具体了两第一调节柱121、两第二调节柱122在主挡板I的设置位置,该方案使得第一挡块2、第二挡块3两者各自的调节槽40没有与通孔区域11的通孔111有重叠,实现完整遮挡,避免影响电镀的均匀性。
[0026]在其中一个实施例中,所述主挡板I的另一侧面102设有位于其横向一端的两第三调节柱123以及位于其横向另一端的两第四调节柱124,第三挡块4设有横向设置并对应于两第三调节柱123的两调节槽40,第三挡块4的两调节槽40可调节地卡在两第三调节柱123上,第四挡块5设有横向设置并对应于两第四调节柱124的两调节槽40,第四挡块5的两调节槽40可调节地卡在两第四调节柱124上。该方案具体了第三挡块4、第四挡块5与主挡板I的连接关系。
[0027]在其中一个实施例中,两第三调节柱123对应地位于通孔区域11的纵向两侧,两第四调节柱124对应地位于通孔区域11的纵向两侧。该方案具体了两第二调节柱122在主挡板I的设置位置,该方案使得第一挡块2、第二挡块3两者各自的调节槽40没有与通孔区域11的通孔111有重叠,实现完整遮挡,避免影响电镀的均匀性。
[0028]结合图5,一种电镀设备,包括电镀槽30以及2N个上述任意一项实施例所述的阴极挡板10,N为正整数,2N个阴极挡板10置于电镀槽30中。
[0029]上述电镀设备通过设置2N个阴极挡板10,利用每两个阴极挡板10设置在一个阴极的两侧,可以改善阴极的电镀均匀性。
[0030]结合图4和图5,在其中一个实施例中,电镀设备还包括置于电镀槽30中的副槽20,副槽20的第一槽壁201上设有N个过渡开口 200,副槽20的第二槽壁202上设有N个过渡开口 200,第一槽壁201与第二槽壁202相对,第一槽壁201的N个过渡开口 200与第二槽壁202的N个过渡开口 200——相对,阴极挡板10设于副槽20上并——对应地遮盖过渡开口 200。其中,N = 4。
[0031]上述电镀设备在使用时,待镀件(阴极)置于副槽20中并位于相对的两个阴极挡板10之间。因为在电镀过程中,电镀溶液会处于滚动状态,因此,通过设置上述副槽20,在支撑阴极挡板10的同时,可以使得副槽20中的电镀溶液的波动比较平稳,利于改善电镀效果O
[0032]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种阴极挡板,其特征在于,包括主挡板,主挡板设有通孔区域,通孔区域上均匀地设有多个通孔,通孔的孔径为5?12_,多个通孔的总面积为通孔区域的面积的2/3?4/5。
2.根据权利要求1所述的阴极挡板,其特征在于,所述阴极挡板还包括用于遮挡所述通孔区域的第一挡块、第二挡块、第三挡块、第四挡块,第一挡块、第二挡块可纵向移动地设于所述主挡板的一侧面并对应地位于所述主挡板的纵向两端,第三挡块、第四挡块可横向移动地设于所述主挡板的另一侧面并对应地位于所述主挡板的横向两端。
3.根据权利要求2所述的阴极挡板,其特征在于,所述主挡板的一侧面设有位于其纵向一端的两第一调节柱以及位于其纵向另一端的两第二调节柱,所述第一挡块设有纵向设置并对应于两第一调节柱的两调节槽,所述第一挡块的两调节槽可调节地卡在两第一调节柱上,所述第二挡块设有纵向设置并对应于两第二调节柱的两调节槽,所述第二挡块的两调节槽可调节地卡在两第二调节柱上。
4.根据权利要求3所述的阴极挡板,其特征在于,所述两第一调节柱对应地位于所述通孔区域的横向两侧,所述两第二调节柱对应地位于所述通孔区域的横向两侧。
5.根据权利要求2所述的阴极挡板,其特征在于,所述主挡板的另一侧面设有位于其横向一端的两第三调节柱以及位于其横向另一端的两第四调节柱,所述第三挡块设有横向设置并对应于两第三调节柱的两调节槽,所述第三挡块的两调节槽可调节地卡在两第三调节柱上,所述第四挡块设有横向设置并对应于两第四调节柱的两调节槽,所述第四挡块的两调节槽可调节地卡在两第四调节柱上。
6.根据权利要求5所述的阴极挡板,其特征在于,所述两第三调节柱对应地位于所述通孔区域的纵向两侧,所述两第四调节柱对应地位于所述通孔区域的纵向两侧。
7.一种电镀设备,其特征在于,包括电镀槽以及2N个权利要求1至6任意一项所述的阴极挡板,N为正整数,2N个阴极挡板置于所述电镀槽中。
8.根据权利要求7所述的电镀设备,其特征在于,所述电镀设备还包括置于所述电镀槽中的副槽,副槽的第一槽壁上设有N个过渡开口,副槽的第二槽壁上设有N个过渡开口,第一槽壁的N个过渡开口与第二槽壁的N个过渡开口 一一相对,所述阴极挡板设于副槽上并——对应地遮盖过渡开口。
9.根据权利要求8所述的电镀设备,其特征在于,N= 4ο
【专利摘要】本实用新型具体涉及阴极挡板以及电镀装置,其中,一种阴极挡板包括主挡板,主挡板设有通孔区域,通孔区域上均匀地设有多个通孔,通孔的孔径为5~12mm,多个通孔的总面积为通孔区域的面积的2/3~4/5。本实用新型的阴极挡板可以用于改善电镀的均匀性。
【IPC分类】C25D17-00
【公开号】CN204509481
【申请号】CN201520043712
【发明人】田生友, 李志东, 谢添华
【申请人】广州兴森快捷电路科技有限公司, 宜兴硅谷电子科技有限公司, 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月21日
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