专利名称：多级罗茨式无油真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空泵技术领域，特别是用于多级罗茨真空泵。
背景技术：
传统的罗茨真空泵一般采用单级结构，虽然抽速较大，但极限真空不高，不能直排大气，消耗功率也很大，转子一般采用两叶轮叶型，逆流气冷效果不佳，而且工作时多需要连前级泵，因此真空环境会不同程度受到油蒸汽的污染。
发明内容
为解决上述已知技术的不足之处，本实用新型提供一种多级罗茨式无油真空泵，该泵转子结构可根据需要制成两级或两级以上，转子端面形线采用三叶形线方案，以达到使该泵具有抽速高、耗电少、极限真空度高的目的。
本实用新型之结构设计是这样实现的该泵由主、从动轴、主、从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮、齿轮箱构成(如图1、2所示)，其结构是，泵体两端装有侧盖，主从动齿轮和主、从动转子安装于主、从动轴上，主、从动轴两端装有端盖，齿轮箱通过螺栓固定于侧盖，其中泵体采用上、下两片分体结构，上、下泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有分体式的级间隔板分开，根据真空性能的需要，泵腔长度从高真空级开始，逐级缩短，泵腔内转子的长度根据泵腔长度确定，并通过级间气流通道相连，两片泵体中有各自的水冷夹层，该泵的冷却方式采用逆流气冷；转子端面形线采用三叶形，三叶成对称分布(如图3所示)，转子形状可通过调整b/R(转子中心与齿峰圆弧圆心间距离/分度圆半径)，这种形线使泵的容积利用系数增大，在抽速相同的情况下，减小了泵的体积；泵腔间的级间密封采用反螺旋密封结构，该密封属于动密封；该泵的传动方式可以通过联轴器直联传动，也可以通过皮带传动；既可以采取立式，也可以采用卧式；安装在轴上的转子可以是直齿形或是螺旋齿形的。
本实用新型与已有技术比较有如下优点该泵工作时经过逐级压缩，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作，在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
图1为本实用新型结构剖面图图2为本实用新型结构断面图图3为本实用新型转子端面形线示意图图中1轴承左端盖 2泵体左侧盖 3一级泵腔 4一、二级泵腔间级间隔板 5二级泵腔 6二、三级泵腔间级间隔板 7反螺旋密封结构 8三级泵腔 9泵体右侧盖10轴承右端盖 11主从动齿轮 12齿轮箱 13上泵体 14从动轴 15从动转子 16主动转子 17主动轴 18气流通道 19下泵体 20水冷夹层具体实施方式
本实用新型实施例为三级罗茨式无油真空泵，其结构(如附图1、2)所示，主从动齿轮11和从动转子15、主动转子16安装在从动轴14和主动轴17上，齿轮箱12通过螺栓固定于泵体右侧盖9，主、从动轴两端装有轴承端盖10和1，端盖内侧为泵体左侧盖2和泵体右侧盖9，上泵体13与下泵体19通过螺栓联接，形成三个密闭的泵腔3、5、8，两级泵腔之间有两片分体式的级间隔板4、6分开，并通过级间气流通道18相连，泵腔间的级间密封采用反螺旋密封结构7，其中上、下泵体13、19采用两片分体结构，两片泵体13、19中有各自的水冷夹层20；转子端面形线(如附图3)所示，采取三叶形，三叶成对称分布，每两叶间夹角120°，每个叶型由一段内圆弧AB、一段外圆弧CD、及两段摆线BC、DE构成，转子形状可通过调整参数b/R的值而改变。
真空泵工作时，气体先经过高真空级压缩，排出后通过气流通道18进入下一级，最后由低真空级排出，可实现直排大气；该泵的转子冷却采用逆流气冷方式，在气流通道18上加回流通道，工作时，排出的气体经冷却后有一部分从回流通道18返回本级泵腔，冷却转子，防止转子因过热膨胀，发生卡死；在级间的转子轴段上加工螺旋槽，当轴高速转动时，此结构相当于螺杆真空泵的作用，利用泵送效应抽气，实现密封效果。
权利要求1.一种多级罗茨式无油真空泵，由主从动轴(14、17)、主从动转子(15)(16)、泵体左右端盖(2)(9)、上下泵体(13)(19)、主从动齿轮(11)、齿轮箱(12)组成，其特征在于，泵体采用两片分体结构，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔(3)(5)(8)，每两个泵腔之间有分体式的级间隔板(4)(6)分开，并通过级间气流通道(18)相连。
2.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔长度从高真空级开始，逐级缩短。
3.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于转子端面形线采用三叶形，三叶片成对称分布，转子形状可通过调整参数b/R的值而改变，每个叶型由一段内圆弧AB、一段外圆弧CD、及两段摆线BC、DE构成。
4.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于安装在轴上的转子为直齿形或螺旋齿形。
5.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于上、下泵体(13)(19)中有各自的水冷夹层(20)，转子冷却方式采用逆流气冷。
6.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔间的级间密封为反螺旋密封结构(7)。
7.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于该泵的传动方式为a通过联轴器直联传动，b通过皮带传动。
8.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵体采取a立式，b卧式。
专利摘要本实用新型涉及一种多级罗茨式无油真空泵，该泵由主从动轴、主从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮构成，其中泵体采用两片分体结构，两片泵体中有各自的水冷夹层，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，两极泵腔之间有两片分体式的级间隔板分开，并通过级间气流通道相连，转子端面形成采用三叶形，本实用新型与已有技术比较有如下优点工作时经过逐级压缩，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作，在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
文档编号F04C23/00GK2667203SQ20032010519
公开日2004年12月29日 申请日期2003年11月6日 优先权日2003年11月6日
发明者巴德纯 申请人:巴德纯