专利名称：一种真空泵粉尘沉积过滤装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。
背景技术：
真空泵在光伏、半导体、石化、制药等行业广泛应用，各种制程会产生粉尘颗粒和胶状物是导致真空泵失效、维修乃至损坏的主要原因，增加了真空泵使用单位的成本。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供了一种真空泵粉尘沉积过滤装置。该装置具有结构简单，易于实现、减少真空泵的维护次数，增加真空泵的使用寿命等特点。为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案是一种真空泵粉尘沉积过滤装置，包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔连通的进气口，所述冷却腔盖板上设有出气口，气体经过内腔时通过导流机构和冷却腔的腔体壁沉积粉尘。所述导流机构包括圆筒和导流板，其中圆筒的上、下端分别设置于冷却腔的上端腔体和冷却腔盖板上设有的定位止口内，所述导流板设置于圆筒的外表面上，气体与导流板接触后使粉尘沉积于导流板的表面。所述圆筒的上端与冷却腔的腔体之间设有弹簧。所述圆筒的下端与出气口连通，所述圆筒下端侧壁设有通孔，该通孔处设有过滤网，所述内腔内的气体经过过滤网过滤后由出气口排出。所述导流板为螺旋状，气体沿螺旋导流板前行。所述冷却腔与冷却腔盖板之间设有O型氟胶圈密封。所述冷却腔的上部设有循环水入口，下部设有设有循环水出口。所述进气口与真空室连接，所述出气口与真空泵连接。本发明具有如下优点和有益效果1.本发明结构简单价格便宜容易实现。2.本发明增加了气体流经的冷却表面积，增加气体粉尘冷却沉积几率，最大限度减少进入泵腔的粉尘。3.本发明拆装方便，易于保养清洗，可以反复使用。4.本发明在抽气过程中可保证尽量少的粉尘进入泵腔内，适用于半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业。
图1为本发明的结构示意图。其中1为冷却腔，2为弹簧，3为导流机构，4为螺钉组件，5为O型氟胶圈，6为冷却强盖板，7为过滤网，8为进气口，9为出气口，10为循环水入口，11为循环水出口，12为内
具体实施例方式如图1所示，一种真空泵粉尘沉积过滤装置，包括冷却腔1、导流机构3、弹簧2及冷却腔盖板6，其中导流机构3的外侧设有冷却腔1，冷却腔I的下端通过螺钉组件4与冷却腔盖板6连接，冷却腔I与冷却腔盖板6之间设有O型氟胶圈密封，导流机构3容置于冷却腔I和冷却腔盖板6所形成的内腔12内。冷却腔I的上端设有与内腔12连通的进气口8，冷却腔盖板6上设有出气口 9。进气口 8与真空室连接，出气口 9与真空泵连接。气体经过内腔12时通过导流机构3和冷却腔I的腔体壁沉积粉尘。导流机构3包括圆筒和导流板，其中圆筒的上端设有弹簧2，弹簧2定位于冷却腔I的腔体上端设有的止口内，弹簧2的设置方便拆洗和安装。圆筒的下端与出气口 9连通、并通过冷却腔盖板6上设有的止口定位。圆筒下端侧壁设有通孔，该通孔处设有过滤网7，内腔12内的气体经过过滤网7过滤后，由出气口 9排出。所述导流板为螺旋状、并设置于圆筒的外表面上，气体沿螺旋导流板前行、并与导流板接触后使粉尘沉积于导流板的表面。过滤网7保证沉积的粉尘部进入真空泵内，从而减少进入真空泵的粉尘，增加使用寿命。冷却腔I的上部设有循环水入口 10，下部设有设有循环水出口 11。本发明在工作时进气口 8连接真空室，出气口 9连接真空泵的进气口，循环水入口10和循环水出口 11分别连循环冷却水的供水口和出水口，真空室的气体流经导流机构3，可凝结沉积的粉尘凝结在冷却腔I腔体壁和导流板表面，从而达到减少进入真空泵内的粉尘的目的。使用一段时间可以对导流机构3和过滤网7进行清洗反复使用。
权利要求
1.一种真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于包括冷却腔(I)、导流机构(3)、及冷却腔盖板￠)，其中导流机构(3)的外侧设有冷却腔(I)，所述冷却腔(I)的下端设有冷却腔盖板(6)，所述导流机构(3)容置于冷却腔⑴和冷却腔盖板(6)所形成的内腔(12)内，所述冷却腔⑴的上端设有与内腔(12)连通的进气口(8)，所述冷却腔盖板(6)上设有出气口(9)，气体经过内腔(12)时通过导流机构(3)和冷却腔(I)的腔体壁沉积粉尘。
2.按权利要求1所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述导流机构(3)包括圆筒和导流板，其中圆筒的上、下端分别设置于冷却腔(I)的上端腔体和冷却腔盖板(6)上设有的定位止口内，所述导流板设置于圆筒的外表面上，气体与导流板接触后使粉尘沉积于导流板的表面。
3.按权利要求2所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述圆筒的上端与冷却腔(I)的腔体之间设有弹簧(2)。
4.按权利要求2所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述圆筒的下端与出气口(9)连通，所述圆筒下端侧壁设有通孔，该通孔处设有过滤网(7)，所述内腔(12)内的气体经过过滤网(7)过滤后由出气口(9)排出。
5.按权利要求2所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述导流板为螺旋状，气体沿螺旋导流板前行。
6.按权利要求1所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述冷却腔(I)与冷却腔盖板(6)之间设有O型氟胶圈密封。
7.按权利要求1所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述冷却腔(I)的上部设有循环水入口(10)，下部设有设有循环水出口(11)。
8.按权利要求1所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述进气口(8)与真空室连接，所述出气口(9)与真空泵连接。
全文摘要
本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔连通的进气口，所述冷却腔盖板上设有出气口，气体经过内腔时通过导流机构和冷却腔的腔体壁沉积粉尘。本发明具有结构简单，易于实现、减少真空泵的维护次数，增加真空泵的使用寿命等特点，适用于光伏、半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业应用的真空泵系统中。
文档编号F04B39/16GK103047118SQ20121059101
公开日2013年4月17日 申请日期2012年12月29日 优先权日2012年12月29日
发明者雷震霖, 王光玉, 刘在行 申请人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司