斜轴式液压旋转机械及斜轴式液压旋转机械的制造方法与流程

本发明涉及液压泵、液压马达等的斜轴式液压旋转机械及其制造方法。

背景技术：
在以液压泵和液压马达为代表的液压旋转机械中，为了改善缸体与组合在该缸体中的活塞之间的滑动特性，已知有在专利文献1及专利文献2中记载的技术方案。专利文献1记载有如下内容：将缸体的液压缸内面保持为铸铁材料或者对其进行氮化处理，将活塞的材质作为能够氮化的钢，在对该活塞进行调质处理而提高质地硬度之后进行氮化处理，从活塞的外周面的硬化后的表面层中除去高硬度层，留下比调质处理后的质地硬度更高的硬度层。另外，在专利文献2中记载了通过烧结使由钢类材料构成的圆筒成形体接合在缸体的活塞孔内的内容。在先技术文献专利文献1：日本特开平6-159230号公报专利文献2：日本特开平10-196552号公报上述液压旋转机械除了缸孔(cylinderbore，缸膛)与活塞之间的滑动部之外，还具有很多滑动部。那些滑动部的滑动面根据因高滑动面压力而造成的润滑油膜断裂、因控制液压的变动而造成的滑动接触状态的不稳定化等的影响，而具有滑动面彼此之间产生咬死和局部异常磨损等的风险。因此，构成滑动部的滑动部件几乎都是由钢铁材料制造的。其中，钢铁材料中多使用廉价且滑动性能高的球墨铸铁(FCD材料)，尤其在FCD材料中，结构组织多使用铁素体或珠光体、或者它们的共存组织。在此，液压泵和液压马达等液压旋转机械中的滑动部件随着液压旋转机械的使用条件变成高压、高流量而尺寸会变大，且质地费用会变高，因此，很多情况下，由FCD材料形成滑动的两个部件中尺寸较大的部件，而由钢材形成其相对部件。例如，在斜轴式液压旋转机械中，设置在缸体的背部上的阀板与顶端壳体之间的滑动部的滑动面积，比缸体与活塞之间的滑动面积大，因此，阀板使用钢材，顶端壳体使用FCD材料。但是，FCD材料与钢材相比具有表面硬度较低的缺点。因此，为了弥补该缺点，在专利文献1中，通过对构成滑动面的FCD材料及钢材实施渗氮热处理并形成氮扩散层，而使滑动面表层区域硬化，而且通过在此基础上形成硬质的氮化合物层，而确保相对于滑动载荷的耐磨性能和防咬死性。另外，FCD材料的滑动面将氮化合物层加工除去。另外，在专利文献2中，钢材部件的滑动面通过使滑动性铜合金在氮化合物层除去后的表面上熔接或烧结成膜，而避免由高表面压力滑动而造成的咬死现象。将这种滑动面积大的滑动部中的一方侧的部件作为FCD材料，当对该FCD材料进行加工而形成滑动面时，成为如下的状态：基于加工使FCD材料的碳脱落后所形成的孔在滑动表面上作为空穴而露出，或者在对周边部位进行加工时塑性流动的FCD材料覆盖在该露出的空穴上。另外，在将专利文献1适用于上述滑动部的情况下，即使实施了渗氮热处理，但在碳脱落后形成的孔完全露出的位置上，由于没有形成将该碳脱落后形成的孔完全填满的氮化合物层，所以在FCD材料的滑动表面上存在表面缺陷。因此，当与相对部件滑动时，根据在该表面缺陷端部上产生应力集中或与相对滑动面的端部勾挂，而导致氮化合物层端部的剥落破坏，从而会使硬质的氮化合物的剥落片存在于滑动面之间。因此，当进行高表面压力下的滑动时，具有发生滑动面的异常磨损和咬死现象的风险。另外，在空穴被塑性流动组织覆盖的位置上，虽然在塑性流动组织上形成氮化合物层，但由于其正下方成为空穴，所以形成有不稳定的氮化合物层，即表面缺陷。因此，当从相对面被施加有滑动载荷时，表面缺陷会发生剥落破坏，导致滑动面的异常磨损和咬死现象。另外，在将专利文献2适用于上述滑动部的情况下具有形成滑动表面的铜合金比较昂贵的问题，并且由于一般在铜合金覆盖膜形成工序中必须非常严格地进行铜合金组成和温度的管理，所以具有制造难度较高的问题。因此，目前的状况是，对于斜轴式液压旋转机械中的滑动面积大的滑动部，没有有效的对策，急于需要进行改善。

技术实现要素：
本发明的目的在于，在具有由球墨铸铁和钢材构成的部件彼此之间的滑动面的面积较大的位置的斜轴式液压旋转机械中，提供一种具有实现更稳定的滑动状态的滑动部的斜轴式液压旋转机械及其制造方法。为了达成上述目的，第一发明提供一种斜轴式液压旋转机械，具有滑动部，所述滑动部使作为钢材的一方部件的一方滑动面与作为球墨铸铁材料的其他部件的另一方的滑动面滑动接触，其特征在于，所述斜轴式液压旋转机械具有：在将对滑动面进行渗氮表面处理而形成的氮化合物层加工除去之后，形成有非铁软质金属覆膜的所述一方滑动面，该非铁软质金属覆膜是由铅、锡、铜中至少一种以上的金属构成的；和使所述非铁软质金属覆膜侵入填充到存在于对滑动面进行渗氮表面处理而形成的氮化合物层上的、作为表面缺陷的碳脱落后形成的孔内的所述另一方滑动面。根据该第一发明，使得在成为由FCD材料构成的另一部件的滑动对象面的、由钢材构成的一方部件的滑动面的表面上形成的非铁软质金属覆膜的一部分通过滑动载荷而相对于存在于由FCD材料构成的另一部件的表面上的表面缺陷(开口部和龟裂间隙)压入，并将内部的空穴(碳脱落后形成的孔)填充，从而填平表面缺陷。因此，能够获得使滑动面平滑化的效果，和获得从内部支承不稳定的塑性流动组织而强力抑制剥落破坏的效果。由此，即使由钢材和球墨铸铁材料构成的滑动面的面积很大，也具有与以往相比更稳定的滑动部，能够使斜轴式液压旋转机械长寿命化。另外，为了达成上述目的，第二发明提供一种斜轴式液压旋转机械的制造方法，所述斜轴式液压旋转机械具有滑动部，所述滑动部使作为钢材的一方部件的一方滑动面与作为球墨铸铁材料的其他部件的另一方的滑动面滑动接触，其特征在于，对所述一方部件进行渗氮表面处理，然后，将在所述一方部件的一方滑动面的表面上形成的氮化合物层除去而使氮扩散层露出，并在该露出的氮扩散层的表面上形成非铁软质金属覆膜，从而形成所述一方滑动面，该非铁软质金属覆膜是由铅、锡、铜中至少一种以上的金属构成的，对所述另一方部件进行渗氮表面处理而形成氮化合物层，从而形成所述另一方部件的另一方滑动面。根据该第二发明，使得形成在滑动对象面上的非铁软质金属覆膜的一部分通过滑动载荷而相对于存在于球墨铸铁材料的表面上的表面缺陷(开口部和龟裂间隙)压入，并将内部的空穴(碳脱落后形成的孔)填充，从而填平表面缺陷。因此，能够获得使滑动面平滑化，并获得通过从内部支承不稳定的塑性流动组织而强力抑制剥落破坏的效果。由此，即使由钢材和球墨铸铁材料构成的滑动面的面积很大，也能够形成与以往相比更稳定的滑动部。另外，第三发明是在第二发明中，通过电镀来形成所述非铁软质金属覆膜。根据该第三发明，即使相对于宽阔的覆盖膜形成对象面，也能高效地形成膜厚均匀的覆盖膜。另外，第四发明是在第二发明中，使由非铁软质金属材料构成的微粒子相对于该非铁软质金属覆膜的形成对象部位以高速喷射或投射撞击，而使其堆积附着，由此形成所述非铁软质金属覆膜。根据该第四发明，即使是深孔形状或者是电镀溶液的均镀能力(throwingpower)差的部位，也能很容易地形成覆盖膜。另外，能够对滑动面内的特定区域选择性地改变覆盖膜厚度并形成覆盖膜，即使在滑动面内当滑动表面压力和滑动速度不同时，也能够通过与各表面压力及速度区域配合地来改变覆盖膜厚度，而谋求功能的最优化。另外，第五发明是在第二发明中，相对于该非铁软质金属覆膜的形成对象部位，形成磷酸盐保护膜，然后将该磷酸盐保护膜的最外层表面与非铁软质金属成分进行化学置换，由此形成所述非铁软质金属覆膜。根据该第五发明，使覆盖膜在钢材部件的滑动面上的粘合性提高，能够使基于覆盖膜形成异常而造成的突发的非铁软质金属覆膜的剥落损失变得非常少，能够稳定地发挥表面缺陷的填平效果。发明效果根据本发明的斜轴式液压旋转机械，提供一种能够谋求使具有表面缺陷的滑动面的滑动性能稳定化，且具有实现更稳定的滑动状态的滑动部的斜轴式液压旋转机械，由此能够使斜轴式液压旋转机械长寿命化。根据本发明的斜轴式液压旋转机械的制造方法，能够制造具有实现更稳定的滑动状态的滑动部、且能够实现长寿命化的斜轴式液压旋转机械。附图说明图1是本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的纵剖视图。图2是表示构成图1所示的本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板与顶端壳体的滑动部的剖视图，图2(a)是用截面表示阀板与顶端壳体的一部分的纵剖视图，图2(b)是放大表示图2(a)的A部的剖视图。图3是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图。图4是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图。图5是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图。图6是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的顶端壳体的制造工序的剖视图，图6(a)是用截面表示顶端壳体的一部分的纵剖视图，图6(b)是放大表示图6(a)的A部的剖视图。图7是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第二实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图。图8是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第三实施方式的阀板的制造工序的剖视图，图8(a)是用截面表示阀板的一部分的纵剖视图，图8(b)是放大表示图8(a)的A部的剖视图。图9是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第三实施方式的阀板的制造工序的剖视图，图9(a)是用截面表示阀板的一部分的纵剖视图，图9(b)是放大表示图9(a)的A部的剖视图。附图标记说明1可变容量型斜轴式轴向活塞泵2壳体3阀板3A(阀板3上的与缸体5的)滑动面3B(阀板3上的与顶端壳体13的)滑动面3C贯通孔4旋转轴5缸体5A(缸体5上的与阀板3的)滑动面6活塞7连杆8驱动盘9中心轴10倾转机构11调节器12壳体主体12A上部开口13顶端壳体(headcasing)13A(顶端壳体13上的与阀板3的)滑动面13B排出通路14油箱15液压缸16摆动销17活塞滑动孔17A、17B液压室18伺服活塞19套筒20滑阀21反馈连杆22先导泵30钢材31非铁软质金属覆膜31a由非铁软质金属构成的膜32、42氮化合物层33、43氮扩散层34磷酸锰覆盖膜35磷酸锡覆盖膜40FCD材料41a、41b表面缺陷44塑性流动组织45空穴(碳脱落后形成的孔)51电镀槽61喷嘴62非铁软质金属微粒子71、72药液槽。具体实施方式以下，参照附图对本发明的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的实施方式进行说明。<第一实施方式>参照图1～图6对本发明的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的第一实施方式进行说明。此外，在图1～图6中，作为斜轴式液压旋转机械，以适用于可变容量型的斜轴式轴向活塞泵(axialpistonpump)的情况为例来进行说明。图1中，作为斜轴式液压旋转机械的可变容量型斜轴式轴向活塞泵1通过壳体2、阀板3、旋转轴4、缸体5、活塞6、连杆7、驱动盘8、中心轴9、倾转机构10以及调节器11等构成。壳体2由球墨铸铁类的部件构成，轴方向上的一端侧成为轴承部分，而且，由以下部分构成：在周身部上侧形成有上部开口12A的圆筒状的壳体主体12；和将壳体主体12的另一端侧封闭的由球墨铸铁材料构成的顶端壳体13。在该顶端壳体13上，设置有供后述阀板3能够滑动地滑动接触的凹弯曲状的滑动接触面13A。另外，在顶端壳体13上，设置有用于将后述油箱14内的工作液压油吸入的吸入通路以及用于使后述液压油向外部排出的排出通路13B。旋转轴4以能够旋转的方式设置在壳体主体12内的轴方向上的一侧。缸体5以与该旋转轴4一体地旋转自如的方式设置在壳体主体12内，由钢铁材料形成为圆筒状，并以能够相对于阀板3滑动的方式滑动接触。另外，在该缸体5上，其轴方向上穿设有多个液压缸15(仅图示两个)。活塞6以能够分别往复移动的方式插嵌在缸体5的各液压缸15内。活塞6的突出端侧通过连杆7而能够摆动地支承在形成于旋转轴4的前端的驱动盘8上。阀板3是以与顶端壳体13和缸体5滑动接触的方式设置的由钢材构成的部件。阀板3的一侧端面成为与缸体5的滑动接触面5A滑动接触的滑动接触面3A，另一侧端面成为以能够滑动的方式与顶端壳体13的滑动接触面13A滑动接触的凸弯曲状的滑动接触面3B。而且，还设置有当缸体5旋转时与顶端壳体13的吸入通路及排出通路13B间歇地连通的一对供排口(未图示)。另外，在该阀板3的中心侧穿设有贯通孔3C，从两侧向贯通孔3C内分别插入有后述的中心轴9和摆动销16。中心轴9在驱动盘8与阀板3之间对缸体5进行支承。中心轴9以从缸体5的中心贯通的方式延伸，其一端侧以能够相对于驱动盘8摆动的方式被支承，另一端侧能够滑动地插入在阀板3的贯通孔3C内，将缸体5相对于阀板3居中。倾转机构10构成而包括：形成在顶端壳体13内的带层差的活塞滑动孔17；以能够沿图1中的箭头A、B的方向滑动的方式插嵌在活塞滑动孔17内，并在活塞滑动孔17内划分成液压室17A、17B的带层差的伺服活塞18；和设置在伺服活塞18上并插嵌在阀板3的贯通孔3C内的摆动销16。倾转机构10使阀板3沿着顶端壳体13的滑动接触面13A倾转。调节器11设置在壳体主体12的上部开口12A上，具有套筒19、滑阀20及反馈连杆21等，并作为斜轴式液压旋转机械1的容量控制阀而构成。而且，该调节器11通过使滑阀20根据斜轴式液压旋转机械1的排出压力而在套筒19内滑动位移，从而将来自先导泵22的倾转控制压力供给到液压室17A、17B内以使伺服活塞18滑动位移，并且使阀板3沿着顶端壳体13的滑动接触面13A倾转。另外，当阀板3倾转时，通过反馈连杆21使套筒19向与滑阀20相同的方向滑动位移，且对调节器11进行反馈控制。接着，在图2中，对构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板3与顶端壳体13的滑动部的结构进行说明。图2是表示构成图1所示的本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板与顶端壳体的滑动部的剖视图，图2(a)是用截面表示阀板与顶端壳体的一部分的纵剖视图，图2(b)是放大表示图2(a)的A部的剖视图。如图2(a)所示，本实施方式的斜轴式液压旋转机械1中的阀板3与顶端壳体13之间的滑动部由滑动面3B和滑动面13A构成，该滑动面3B是阀板3侧的滑动面在将对钢材30实施渗氮表面处理而形成的氮化合物层加工除去之后形成有非铁软质金属的覆盖膜31的滑动面，该滑动面13A是顶端壳体13侧的滑动面对球墨铸铁材料40实施渗氮表面处理而形成有氮化合物层42的滑动面。而且，如图2(b)所示，当在阀板3的滑动面3B上形成的非铁软质金属覆膜31、与在由球墨铸铁材料40构成的顶端壳体13的滑动面13A上形成的氮化合物层42进行滑动时，使非铁软质金属覆膜31的一部分从存在于滑动面13A的表面上的表面缺陷41a、41b的开口部或龟裂间隙中侵入。由此，使其附着填充到存在于表面缺陷正下方的碳脱落后形成的孔45内，而使顶端壳体13的滑动面13A平滑化，另外，通过用所附着填充的非铁软质金属支承塑性流动组织44，而防止具有氮化合物层的塑性流动组织44的剥离脱落，通过这种结构，谋求两滑动面3B、13A的滑动状态的稳定化以及表面缺陷41a、41b部分的稳定化。在此，本发明中的非铁软质金属覆膜31是指，用与铁不同的元素且由硬度较软的金属构成的层，例如由铅、锡、铜中至少一种以上的金属构成。另外，氮化合物层32、42是指，在对钢铁材料或球墨铸铁材料进行氮化处理时，在其最外层表面上形成的由高硬度的氮化合物构成的层。另外，氮扩散层33、43是指，在对钢铁材料或球墨铸铁材料进行氮化处理时，在形成于其最外层表面上的氮化合物层的正下方形成的、基于氮扩散而渗入到钢铁材料或球墨铸铁材料中而形成的层。接着，参照图3～图6对上述构成的本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的制造方法进行说明。图3是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图，图4是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图，图5是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图，图6是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的顶端壳体的制造工序的剖视图，图6(a)是用截面表示顶端壳体的一部分的纵剖视图，图6(b)是放大表示图6(a)的A部的剖视图。首先，由钢材30制造阀板3的外形。然后，相对于所制造的阀板3的外形作为渗氮表面处理而实施渗氮热处理。如图3所示，通过该渗氮热处理，在阀板3的滑动面3B的表层上形成氮扩散层33及氮化合物层32，从而使表层组织的硬度提高。该渗氮热处理的条件采用一般的条件即可。然后，通过切削或磨削将所形成的氮化合物层32加工除去，如图4所示，使氮扩散层33在阀板3的滑动面3B上露出。接着，如图5所示，在将阀板3与阳极连接的状态下，使露出氮扩散层33的滑动面3B浸渍到使作为非铁软质金属覆膜的质地的非铁软质金属成为电解熔融状态的电镀槽51内。由此，在阀板3的露出氮扩散层33的滑动面3B上形成非铁软质金属覆膜31。另外，以与图3～图5所示的阀板3的制造不同的顺序，制造顶端壳体13。首先，由FCD材料40制造顶端壳体13的外形。然后，相对于所制造的顶端壳体13的外形实施渗氮热处理。如图6(a)所示，通过该渗氮热处理，在顶端壳体13的滑动面13A的表层上形成氮扩散层43及氮化合物层42，从而使表层组织的硬度提高。在此，如图6(b)所示，在形成于顶端壳体13的滑动面13A的表面上的氮化合物层42上，存在有因来自FCD材料的碳脱落后形成的孔45而造成的表面缺陷41a、41b。对本发明的斜轴式液压旋转机械的第一实施方式的动作进行说明。首先，当通过未图示的发动机等原动机对旋转轴4进行旋转驱动时，缸体5以中心轴9为中心与驱动盘8一同旋转，并且，各活塞6在缸体5的各液压缸15内反复进行往复运动。当活塞6从液压缸15内后退(伸长)时，成为从油箱14内吸入工作液压油的吸入行程，而当活塞6向液压缸15内进入(缩小)时，成为对吸入到液压缸15内的工作液压油加压，且使液压油经由高压侧的供排口从排出通路13B排出的排出行程。这时的泵排出压力作为容量控制用的控制压力而供给至调节器11侧，例如当泵排出压力上升时控制压力会上升，由此使调节器11工作而将来自先导泵22的倾转控制压力供给到液压室17A、17B内。其结果是，伺服活塞18向图1中的箭头A方向被驱动，随之，与伺服活塞18经由摆动销16而连结的阀板3沿着顶端壳体13的滑动接触面13A向图1所示的使偏转角θ变小的方向滑动，且液压油的排出量减少。而且，这时反馈连杆21追随阀板3的倾转动作而转动，使套筒19向与滑阀20相同的方向滑动位移，由此对调节器11进行反馈控制。这样，液压油的排出量根据泵排出压力被可变地控制，并沿着所期望的特性线，对斜轴式液压旋转机械的排出流量与排出压力的关系进行控制。在此，阀板3的滑动面3B与顶端壳体13的滑动面13A分别具有弯曲状的滑动接触面，当倾转动作时在高表面压力下滑动。另外，通过基于泵内部油压而进行的反馈控制来维持姿势，因此，通过斜轴式液压旋转机械的内部的油压的波动，随时进行以微小行程移动的往复滑动。该动作中，形成在由钢母材30构成的阀板3的滑动面3B上的非铁软质金属覆膜31、与形成在由FCD材料40构成的顶端壳体13的滑动面13A上的、具有表面缺陷41a、41b的氮化合物层42进行滑动，非铁软质金属覆膜31的一部分从表面缺陷41a、41b的开口部或龟裂间隙侵入，并附着填充到存在于表面缺陷41a、41b的正下方的碳脱落后形成的孔45内。由此，能够使顶端壳体13的滑动面13A平滑化，并且能够支承表面缺陷41a上的氮化合物层42的端部、和作为表面缺陷41b的不稳定的氮化合物层44，还能防止氮化合物层42和具有氮化合物层的塑性流动组织44的剥离脱落，谋求两滑动面3B、13A的滑动状态的稳定化。由此，能够得到如下的液压旋转机械：防止在滑动部上发生异常磨损和咬死现象的问题，且具有实现了更稳定的滑动状态的滑动部。此外，渗氮表面处理并不限定于渗氮热处理，也能使用盐浴氮化和等离子氮化等公知的渗氮处理。<第二实施方式>参照图7对本发明的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的第二实施方式进行说明。此外，在图7中，作为斜轴式液压旋转机械，也以适用于可变容量型的斜轴式轴向活塞泵的情况为例来进行说明。本实施方式中的斜轴式液压旋转机械的结构与斜轴式液压旋转机械的第一实施方式大致相同，省略结构的详细说明。另外，其制造方法除了非铁软质金属覆膜的形成方法是使用通过使非铁软质金属材料的微粒子以高速喷射或投射撞击而堆积附着的方法之外，也与斜轴式液压旋转机械的制造方法的第一实施方式大致相同，省略详细说明。图7是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第二实施方式的阀板的制造工序的纵剖视图。当在阀板3的露出了氮扩散层33的滑动面3B上形成非铁软质金属覆膜时，如图7所示，相对于使氮扩散层33露出的阀板3的滑动面3B，由喷嘴61使作为非铁软质金属覆膜的质地的非铁软质金属材料的微粒子62通过压缩空气向滑动面3B以高速喷射撞击。由此，使撞击到滑动面3B上的微粒子62通过塑性变形附着及堆积在滑动面3B上，从而在阀板3的滑动面3B的表面上形成由非铁软质金属构成的膜31a，而形成非铁软质金属覆膜31。在第二实施方式的斜轴式液压旋转机械及其制造方法中，获得的效果也与第一实施方式的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的情况大致相同。而且，在本实施方式的斜轴式液压旋转机械的制造方法中，作为非铁软质金属覆膜31的形成方法，使用相对于形成非铁软质金属覆膜31的对象部位来使非铁软质金属材料的微粒子62以高速喷射而堆积附着的方法，由此，即使涉及深孔形状或者是电镀溶液的均镀能力(throwingpower)差的部位，也能很容易地形成覆盖膜31，从而能够形成均质的非铁软质金属覆膜31。另外，能够以相对于滑动面3B内的特定区域选择性地改变覆盖膜厚度的方式形成非铁软质金属覆膜31，在滑动面3B内，即使当滑动表面压力和滑动速度不同时，也能够通过与各表面压力及速度区域配合地来改变覆盖膜厚度，而谋求功能的最优化，并能够根据使用用途而灵活地对应。此外，微粒子62的材质是例如铅、锡、铜中的至少一种以上即可。另外，在使微粒子62喷射撞击时，通过相对于滑动面的特定区域选择性地增长或者缩短微粒子62的撞击时间，而能够与滑动面内的滑动表面压力、滑动速度配合地使非铁软质金属覆膜31的厚度最优化。<第三实施方式>参照图8及图9，对本发明的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的第三实施方式进行说明。此外，在图8及图9中，作为斜轴式液压旋转机械，也以适用于可变容量型的斜轴式轴向活塞泵的情况为例来进行说明。本实施方式中的斜轴式液压旋转机械的结构与斜轴式液压旋转机械的第一实施方式大致相同，省略结构的详细说明。另外，除了非铁软质金属覆膜的形成方法是使用相对于非铁软质金属覆膜的形成对象部位，在形成磷酸盐保护膜之后，通过将覆盖膜最外层表面与非铁软质金属成分进行化学置换而形成的方法之外，其制造方法也与斜轴式液压旋转机械的制造方法的第一实施方式大致相同，省略详细说明。在此，通过将磷酸盐的成分作为磷酸锰、将非铁软质金属成分作为锡的具体例来进行说明。图8是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第三实施方式的阀板的制造工序的剖视图，图8(a)是用截面表示阀板的一部分的纵剖视图，图8(b)是放大表示图8(a)的A部的剖视图。图9是表示构成本发明的斜轴式液压旋转机械的第三实施方式的阀板的制造工序的剖视图，图9(a)是用截面表示阀板的一部分的纵剖视图，图9(b)是放大表示图9(a)的A部的剖视图。当在阀板3的露出了氮扩散层33的滑动面3B上形成非铁软质金属覆膜时，如图8(a)所示，使露出了氮扩散层33的阀板3的滑动面3B浸渍到磷酸锰的反应溶液的药液槽71中，通过化学反应在滑动面3B上形成图8(b)所示的磷酸锰覆盖膜34。而且，如图9(a)所示，使形成有磷酸锰覆盖膜34的阀板3浸渍到以氯化亚锡为主体的反应溶液的药液槽72中。由此，使磷酸锰覆盖膜34的最外层表面层与氯化亚锡进行化学置换反应，在其表面上形成图9(b)所示的磷酸锡覆盖膜35，从而形成非铁软质金属覆膜31。在第三实施方式的斜轴式液压旋转机械及其制造方法中，也获得的效果与第一实施方式的斜轴式液压旋转机械及其制造方法的情况大致相同。而且，在本实施方式的斜轴式液压旋转机械的制造方法中，作为非铁软质金属覆膜31的形成方法，使用相对于非铁软质金属覆膜31的形成对象部位，在形成磷酸盐保护膜34之后，通过使该磷酸盐保护膜34的最外层表面与非铁软质金属成分进行化学置换而形成的方法，由此，使非铁软质金属覆膜31在阀板3的滑动面3B上的粘合性提高，使基于覆盖膜形成异常而造成的突发性非铁软质金属覆膜31的剥落损失变得非常少，能够使表面缺陷的填平效果稳定地发挥。<其他>此外，在各实施方式中，作为斜轴式液压旋转机械列举了可变容量型的斜轴式液压泵来进行说明，但本发明并不限于此，例如能够适用于可变容量型斜轴式的液压马达，而且还可以适用于固定容量型的斜轴式液压泵、液压马达等。另外，在各实施方式中，将由钢材构成的部件作为阀板3，将由球墨铸铁材料构成的部件作为顶端壳体13，并以该阀板3与顶端壳体13的滑动部为例进行了说明，但本发明并不限定于此，对于通过由钢材构成的部件和由球墨铸铁材料构成的部件所构成的所有滑动部，本发明均可适用。