隔膜式致动器的制作方法

本发明涉及隔膜式致动器。

背景技术：

以往，作为开闭发动机的涡轮增压器中的废气减压阀的阀体的致动器，例如采用隔膜式致动器(例如，参照专利文献1)。隔膜式致动器具备：与阀体连接的工作杆；驱动该工作杆的隔膜；在工作杆的轴线方向上隔着隔膜而邻接的低压室以及高压室；以及配置于低压室内并对隔膜施力的复原弹簧。

专利文献1：日本特开平7-269512号公报

例如，在涡轮增压器工作时，在废气减压阀成为打开状态时，由于涡轮增压器的壳体内的压力变动等，存在废气减压阀的阀体振动的情况。若阀体振动，则与该阀体连接的工作杆也振动。

技术实现要素：

本发明对能够抑制工作杆的振动的隔膜式致动器进行说明。

本发明的一方式是对工作杆沿所述工作杆的轴线方向进行驱动的隔膜式致动器，其中，该隔膜式致动器具备：隔膜，其与工作杆连结；低压室，其与隔膜的轴线方向的一端侧邻接；高压室，其与隔膜的轴线方向的另一端侧邻接；复原弹簧，其设置于低压室，对隔膜向高压室侧施力；保持架，其设置于隔膜的高压室侧的面；以及弹性部件，其在高压室的内部，在轴线方向上配置于保持架与同保持架对置的壁面之间。

根据本发明的一方式，因为能够通过弹性部件抑制保持架以及隔膜的振动，所以能够抑制与隔膜连结的工作杆的振动。

附图说明

图1是表示具备本发明的实施方式的隔膜式致动器的车辆用增压器的剖视图。

图2是图1所示的车辆用增压器的侧视图，是表示安装于车辆用增压器的侧面的隔膜式致动器的图。

图3是沿着图2中的iii－iii线的剖视图。

图4是本发明的第一实施方式的隔膜式致动器的剖视图。

图5是本发明的第二实施方式的隔膜式致动器的剖视图。

图6是本发明的第三实施方式的隔膜式致动器的剖视图。

图7是本发明的第四实施方式的隔膜式致动器的剖视图。

具体实施方式

本发明的一方式是对工作杆沿所述工作杆的轴线方向进行驱动的隔膜式致动器，其中，该隔膜式致动器具备：隔膜，其与工作杆连结；低压室，其与隔膜的轴线方向的一端侧邻接；高压室，其与隔膜的轴线方向的另一端侧邻接；复原弹簧，其设置于低压室，对隔膜向高压室侧施力；保持架，其设置于隔膜的高压室侧的面；以及弹性部件，其在高压室的内部，在轴线方向上配置于保持架与同保持架对置的壁面之间。

在该隔膜式致动器中，若低压室的内部压力从低压的状态上升，则复原弹簧对隔膜施力而使隔膜向高压室侧移动，并且工作杆被向另一端侧驱动。在该隔膜式致动器中，在设置于隔膜的高压室侧的面的保持架与在高压室的内部与保持架对置的壁面之间，配置有弹性部件。由此，在隔膜向高压室侧移动时，弹性部件被保持架和与保持架对置的壁面夹持。因此，通过弹性部件抑制保持架以及隔膜的振动。其结果是，与隔膜连结的工作杆的振动被抑制。

在保持架形成有在轴线方向上向高压室的内部突出的凸缘，弹性部件也可以是在轴线方向上与凸缘对置配置的结构。根据该结构，因为在保持架设置有凸缘，所以保持架的刚性被提高。另外，因为弹性部件与保持架的凸缘对置地配置，所以在隔膜向高压室一侧移动时，凸缘与弹性部件接触，在轴线方向上凸缘和与该凸缘对置的壁面的接触被防止，并且能够通过弹性部件抑制保持架、隔膜以及工作杆的振动。

弹性部件也可以是安装于高压室的与保持架对置的壁体的内表面亦即壁面的结构。由此，能够通过高压室的壁体稳定地支承弹性部件。另外，因为弹性部件安装于高压室的壁体的保持架一侧的面，所以当隔膜向高压室侧移动时，保持架与弹性部件接触，轴线方向上的保持架与高压室的壁体的接触被防止，并且能够通过弹性部件抑制保持架、隔膜以及工作杆的振动。另外，通过将弹性部件安装于高压室的壁体，能够改变隔膜式致动器的固有振动频率，抑制隔膜式致动器本身的振动，抑制工作杆的振动。

工作杆从隔膜向高压室侧延伸，并且在轴线方向贯穿与高压室的保持架对置的壁体，在壁体支承有对工作杆进行保持的轴承部，轴承部从壁体向高压室的内部伸出，弹性部件也可以形成为安装于作为轴承部的保持架侧的面的壁面的结构。由此，通过将支承工作杆的轴承部配置于高压室的内部，能够使轴承部向高压室不向外部伸出。由此，能够实现隔膜式致动器的省空间化。另外，因为弹性部件安装于向高压室的内部伸出的轴承部的保持架侧的面，所以在隔膜向高压室侧移动时，保持架与弹性部件接触，使得保持架与高压室的壁体的轴线方向上的接触被防止，并且能够通过弹性部件抑制保持架、隔膜以及工作杆的振动。另外，通过在从高压室的壁体伸出的轴承部安装弹性部件，能够改变隔膜式致动器的固有振动频率，抑制隔膜式致动器本身的振动，从而抑制工作杆的振动。

弹性部件由橡胶部件形成，其具备在轴线方向上与保持架对置配置的板状部，该弹性部件也可以形成为使该板状部的板厚方向沿着轴线方向的方式配置的结构。根据该结构，能够抑制弹性部件的设置空间，能够抑制隔膜的移动范围的减少，并且能够抑制保持架、隔膜以及工作杆的振动。

弹性部件也可以形成为具备从板状部向另一端侧延伸的伸出部的结构。根据该结构，通过伸出部与高压室的壁体抵接，在轴线方向上，板状部与高压室的壁体分离地配置。而且，在隔膜向高压室侧移动时，保持架与由橡胶部件构成的板状部接触，能够抑制保持架、隔膜以及工作杆的振动。

以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式详细地进行说明。此外，对于各图中的相同部分或者相当部分赋予相同的附图标记，并省略重复的说明。

(增压器)

图1～图3所示的增压器1是车辆用的增压器，利用从未图示的发动机排出的排气来压缩向发动机供给的空气。该增压器1具备对图3所示的废气减压阀20进行开闭的隔膜式致动器50。该增压器1具备涡轮2和压缩机(离心压缩机)3。涡轮2具备涡轮壳体4和被收纳于涡轮壳体4的涡轮叶轮6。压缩机3具备压缩机壳体5和被收纳于压缩机壳体5的压缩机叶轮7。

涡轮叶轮6设置于旋转轴14的一端，压缩机叶轮7设置于旋转轴14的另一端。在涡轮壳体4与压缩机壳体5之间设置有轴承壳体13。旋转轴(转子轴)14经由轴承15以能够旋转的方式支承于轴承壳体13。增压器1具备涡轮转子轴16，该涡轮转子轴16具备旋转轴14和设置于该旋转轴14的一端的涡轮叶轮6。涡轮转子轴16以及压缩机叶轮7作为一体的旋转体而进行旋转。

在涡轮壳体4设置有排气流入口8以及排气流出口10。从发动机被排出的排气通过排气流入口8流入涡轮壳体4内，并使涡轮叶轮6旋转，之后通过排气流出口10向涡轮壳体4外流出。

在压缩机壳体5设置有吸入口9以及排出口11。若如上述那样涡轮叶轮6旋转，则涡轮转子轴16以及压缩机叶轮7旋转。旋转的压缩机叶轮7通过吸入口9吸入外部的空气，将其压缩并从排出口11排出。从排出口11被排出的压缩空气被供给至发动机。

如图1以及图3所示那样，在涡轮壳体4的内部形成有用于使从排气流入口8导入的排气的一部分从涡轮叶轮6分流而向排气流出口10侧导出的旁通流路(参照图3)17。旁通流路17是用于使向涡轮叶轮6侧供给的排气的流量可变的气体流量可变流路。

(废气减压阀)

在涡轮壳体4的内部作为流量可变阀机构的之一而设置有废气减压阀20。废气减压阀20是对旁通流路17的开口部进行开闭的阀。废气减压阀20具备能够旋转地支承于涡轮壳体4的外壁的阀杆21；从阀杆21向阀杆21的径向伸出的摆动片22；以及支承于摆动片22的阀体23。

在涡轮壳体4的外壁形成有沿外壁的板厚方向贯通的支承孔24。该在支承孔24内插入有圆筒状的衬套25。该衬套25固定于涡轮壳体4的外壁。

阀杆21插通于衬套25，并被支承为能够相对于涡轮壳体4的外壁旋转。摆动片22固定于阀杆21。阀杆21绕阀杆21的轴线旋转，使摆动片22摆动。在摆动片22的前端部设置有用于安装阀体23的安装孔。

阀体23是能够与旁通流路17的开口部的周边部抵接隔离的部件，例如形成为圆盘状。在阀体23设置有向与旁通流路17的开口部相反的一侧突出的阀轴26。阀轴26插通于摆动片22的前端部的安装孔。在阀轴26的与阀体23相反的一侧的端部固定有卡止件27，通过该卡止件27对插入安装孔的阀轴26进行保持。阀体23能够被支承为能够相对于摆动片22微动(包括倾动)。由此，因为阀体23相对于摆动片22微动，所以阀体23紧贴于旁通流路17的开口部的周边部。而且，阀体23与旁通流路17的开口部的周边部抵接从而废气减压阀20成为关闭状态，阀体23从旁通流路17的开口部的周边部离开从而废气减压阀20成为打开状态。

在阀杆21的配置于涡轮壳体4的外部的端部，固定有向阀杆21的径向突出的板状的连杆部件28。在连杆部件28的前端部形成有供连结销29插通的安装孔，连结销29插通于该安装孔。另外，该连结销29插通于在后述的隔膜式致动器50的工作杆51的前端部亦即另一端部51b形成的安装孔。连结销29的一方的端部通过铆接而固定于工作杆51。在连结销29的另一个端部安装有夹具30，防止连结销29从安装孔脱落。阀杆21经由连杆部件28以及连结销29与隔膜式致动器50的工作杆51连结。

(隔膜式致动器)

接下来，对隔膜式致动器50进行说明。隔膜式致动器50如图2以及图3所示那样，固定于从压缩机壳体5向侧方突出的托架18。

隔膜式致动器50如图4所示那样，具备工作杆51和沿轴线方向驱动该工作杆51的致动器主体52。致动器主体52具备：与工作杆51连结并将驱动力传递至工作杆51的隔膜53；与隔膜53的一侧邻接的低压室54；与隔膜53的另一侧邻接的高压室55；以及设置于低压室54的内部，并对隔膜53向高压室55侧施力的复原弹簧56。换言之，隔着隔膜53而设置有低压室54和高压室55，复原弹簧56对隔膜53向高压室55侧施力。工作杆51是被致动器主体52驱动的阀杆状的部件。

致动器主体52具备在内部形成低压室54的低压侧盖部58和在内部形成高压室55的高压侧盖部59。低压侧盖部58以及高压侧盖部59由铁等金属形成。低压侧盖部58具备圆筒部58a和将该圆筒部58a的一端侧(图示右侧)封闭的背面壁58b。在圆筒部58a的另一端侧设置有从开口部的周边部沿圆筒部58a的径向伸出的凸缘部58c。另外，在圆筒部58a设置有喷嘴58d。在该喷嘴58d连接有能够使低压室54的内部的压力减压的负压泵(未图示)。

高压侧盖部59具备圆筒部59a和将该圆筒部59a的另一端侧(图示左侧)封闭的正面壁(壁体)59b。在圆筒部59a的一端侧设置有从开口部的周边部沿圆筒部59a的径向伸出的凸缘部59c。高压侧盖部59的圆筒部59a的内径与低压侧盖部58的圆筒部58a的内径相对应。此外，圆筒部58a、59a彼此的内径既可以相同，也可以不同。另外，在正面壁59b的中央部形成有使工作杆51插通的开口部。

低压侧盖部58以及高压侧盖部59在工作杆51的轴线方向上，隔着隔膜53以相互的开口部对置的方式配置并接合。隔膜53例如形成为圆形，隔膜53的周边部被低压侧盖部58以及高压侧盖部59的凸缘部58c、59c夹持。低压侧盖部58以及高压侧盖部59的凸缘部58c、59c彼此例如通过铆接接合。低压侧盖部58与高压侧盖部59例如可以通过焊接接合、使用螺钉接合、或通过其他方法接合。

隔膜53与圆筒部58a、59a的内径相比具有较大的外径。在低压侧盖部58以及高压侧盖部59的内部，隔膜53的中央部沿工作杆51的轴线方向能够移动。

在隔膜53的一个(图示右侧)面设置有低压侧保持架61，在隔膜53的另一个(图示左侧)面设置有高压侧保持架62。低压侧保持架61以及高压侧保持架62例如由铁等金属形成。低压侧保持架61具有与隔膜53的一个面抵接的圆盘状的保持架主体61a和从保持架主体61a的外周侧的周边部沿工作杆51的轴线方向突出的突出部61b。高压侧保持架62具有与隔膜53的另一个面抵接的圆盘状的保持架主体62a和从保持架主体62a的外周侧的周边部沿工作杆51的轴线方向突出的突出部(凸缘)62b。高压侧保持架62的保持架主体62a的外径比低压侧保持架61的保持架主体61a的外径小。另外，在保持架主体61a、62a的中央部形成有开口部。

工作杆51的一端部51a与隔膜53连结。具体而言，工作杆51的一端部51a插通高压侧保持架62的开口部、隔膜53的开口部以及低压侧保持架61的开口部，例如通过铆接固定于高压侧保持架62以及低压侧保持架61。高压侧保持架62以及低压侧保持架61在工作杆51的轴线方向上从两侧夹着隔膜53的中央部对其进行支承。此外，工作杆51与隔膜53的连结方法并不限定于通过铆接连结的方法。例如，在工作杆51的一端部形成螺纹部，通过将螺母紧固于该螺纹部，经由高压侧保持架62以及低压侧保持架61将工作杆51与隔膜53连接也可以。

复原弹簧56例如是压缩螺旋弹簧，复原弹簧56的一端部与低压侧盖部58的背面壁58b抵接，复原弹簧56的另一端部与低压侧保持架61的保持架主体61a抵接。复原弹簧56在工作杆51的轴线方向上能够伸长、压缩，通过对低压侧保持架61向高压室55侧施力，能够对隔膜53向高压室55侧施力。

工作杆51从隔膜53向高压室55一侧延伸，并贯通高压侧盖部59的正面壁59b，向高压室55的外部伸出。在与正面壁59b的开口部对应的位置设置有对工作杆51进行保持的轴承部63。

轴承部63具备圆筒状的衬套64和收容衬套64的衬套收容部65。衬套收容部65具备：圆筒部65a；背面壁(壁体)65b；以及凸缘部65c。圆筒部65a配置为覆盖衬套64的外周面。背面壁65b是圆筒部65a的一端侧，形成为向径向内侧伸出。在背面壁65b的中央部形成有使工作杆51插通的开口部。背面壁65b配置为覆盖衬套64的一端侧的端面。

凸缘部65c是圆筒部65a的另一端侧，形成为朝径向的外侧伸出。凸缘部65c固定于高压侧盖部59的正面壁59b的内壁面(室内侧的面)。凸缘部65c例如通过焊接与高压侧盖部59接合。衬套64在工作杆51的轴线方向上配置于高压侧盖部59的正面壁59b与衬套收容部65的背面壁65b之间。

衬套收容部65配置为从正面壁59b向内侧伸出。换言之，衬套收容部65的背面壁65b配置于与高压侧盖部59的正面壁59b相比靠近隔膜53的位置。衬套收容部65的背面壁65b在工作杆51的轴线方向上与高压侧保持架62对置。

这里，隔膜式致动器50在高压室55的内部，且在工作杆51的轴线方向上的、高压侧保持架62与衬套收容部65的背面壁65b之间，具备防振片(弹性部件)66。

防振片66是例如形成为环状的橡胶板(板状部)。防振片66的中央开口部是使工作杆51插通的开口。防振片66的外径与衬套收容部65的背面壁65b的外径对应。另外，防振片66配置为防振片66的板厚方向沿着工作杆51的轴线方向。防振片66的一个面配置为与高压侧保持架62的保持架主体62a面对，防振片66的另一个面与衬套收容部65的背面壁65b的内壁面(与保持架对置的壁面)对面。防振片66例如通过粘合而安装于衬套收容部65的背面壁65b的内壁面。

防振片66的材质例如是硅橡胶、氯丁橡胶等耐热性的橡胶。此外，高压室55的内部的温度在增压器1的使用状态下例如是100℃左右。

接下来，对增压器1的作用、效果进行说明。

从排气流入口8流入的排气通过涡轮滚动流路4a，被供给至涡轮叶轮6的入口侧。涡轮叶轮6利用供给的排气的压力产生旋转力，使旋转轴14以及压缩机叶轮7与涡轮叶轮6一体地旋转。由此，使用压缩机叶轮7将从压缩机3的吸入口9吸入的空气压缩。被压缩机叶轮7压缩的空气通过扩散流路5a以及压缩机滚动流路5b从排出口11被排出。从排出口11被排出的空气被供给至发动机。

例如，在增压器1的运转过程中，在增压(从排出口11被排出的空气的压力)不足设定压的情况下，通过负压泵对隔膜式致动器50的低压室54施加负压。此时，高压室55的内部压力比低压室54的内部压力高，通过高压室55的内部压力对隔膜53施力，隔膜53的中央部向低压室54侧移动。复原弹簧56成为被压缩的状态。

在低压室54被施加负压的状态下，成为隔膜53的中央部接近低压侧盖部58的背面壁58b的状态。工作杆51是在轴线方向上被拉向一端侧的状态，工作杆51的拉伸力经由与该工作杆51连结的连杆部件28、阀杆21以及摆动片22传递至阀体23。由此，阀体23被按压在旁通流路17的开口部的周边部，废气减压阀20成为关闭状态。即，在涡轮2中，由旁通流路17进行排气的分流成为不进行的状态。

而且，在增压器1的运转过程中，若增压到达设定压，则由负压泵进行的负压的施加状态被解除，低压室54的内部压力上升，且低压室54的内部压力接近高压室55的内部压力。此时，处于被压缩的状态的复原弹簧56伸长，隔膜53被复原弹簧56施力，从而隔膜53的中央部向高压室55侧移动。

若隔膜53的中央部向高压室55侧移动，则伴随着隔膜53向中央部的移动，工作杆51在轴线方向上向另一端侧移动。工作杆51是在轴线方向上被向另一端侧按压的状态，工作杆51的挤压力被传递至连杆部件28。连杆部件28以阀杆21为中心摆动，阀杆21绕其轴线旋转，摆动片22摆动。由此，阀体23从旁通流路17的开口部的周边部分离，废气减压阀20成为打开状态。由此，从排气流入口8流入的排气的一部分通过旁通流路17，对涡轮叶轮6分流。因此，能够使供给至涡轮叶轮6的排气的流量减少。

在废气减压阀20是打开状态，隔膜53向中央部的高压室55侧的移动成为最大的情况下，成为高压侧保持架62的保持架主体62a与防振片66抵接的状态。换句话说，成为防振片66在工作杆51的轴线方向上被保持架主体62a和衬套收容部65的背面壁65b夹着的状态。

在该状态下，例如在阀体23振动的情况下，该阀体23的振动虽然传递至摆动片22、阀杆21、连杆部件28、工作杆51、隔膜53以及高压侧保持架62，但高压侧保持架62的振动被防振片66衰减。由此，因为高压侧保持架62的振动被抑制，所以隔膜53、工作杆51、连杆部件28、阀杆21、摆动片22以及阀体23的振动被抑制。

在该隔膜式致动器50中，因为在衬套收容部65的背面壁65b的内壁面安装有防振片66，所以高压侧保持架62与背面壁65b的接触被防止。因此，不存在高压侧保持架62与背面壁65b碰撞而产生异响的担忧。另外，因为衬套收容部65与高压侧盖部59的正面壁59b相比向高压侧保持架62一侧突出，所以在高压侧保持架62与正面壁59b碰撞之前，高压侧保持架62与防振片66碰撞。因此，不存在高压侧保持架62与高压侧盖部59碰撞而产生异响的担忧。

在该隔膜式致动器50中，因为在衬套收容部65安装有防振片66，所以能够使致动器主体52的固有振动频率变化，从而能够抑制致动器主体52的振动，并且能够抑制工作杆51的振动。由此，能够抑制工作杆51的振动，并能够抑制阀体23的振动。

(第二实施方式)

接下来，参照图5，对第二实施方式的隔膜式致动器50b进行说明。第二实施方式的隔膜式致动器50b与第一实施方式的隔膜式致动器50的不同点是替代防振片66而具备压缩螺旋弹簧(弹性部件)67。此外，在第二实施方式的说明中，省略与第一实施方式相同的说明。

压缩螺旋弹簧67在工作杆51的轴线方向上，配置于衬套收容部65的背面壁65b与保持架主体62a之间。压缩螺旋弹簧67以与工作杆51成为同轴的方式配置，压缩螺旋弹簧67的一端部与保持架主体62a抵接，压缩螺旋弹簧67的另一端部与背面壁65b的壁面抵接。

该压缩螺旋弹簧67的外径例如与背面壁65b的外径对应。压缩螺旋弹簧67的弹簧常数比配置于低压室54的内部的复原弹簧56的弹簧常数低，例如是复原弹簧56的弹簧常数的1/10～1/5。例如，在高压室55的内部压力与低压室54的内部压力相等的情况下，隔膜53的中央部被复原弹簧56施力而向高压室55侧移动，压缩螺旋弹簧67成为被压缩的状态。

根据该第二实施方式的隔膜式致动器50b，若阀体23振动，并且振动传递至隔膜53以及高压侧保持架62，则高压侧保持架62以及隔膜53的振动被压缩螺旋弹簧67衰减，从而工作杆51的振动被抑制。因此，隔膜式致动器50的阀体23的振动被抑制。

在隔膜式致动器50b中，即使在阀未成为全开的状态下，因为高压侧保持架62与压缩螺旋弹簧67接触，所以与阀的开度无关，工作杆51的振动被抑制。

此外，在第二实施方式中，压缩螺旋弹簧67的另一端部配置为与衬套收容部65的背面壁65b抵接，例如，压缩螺旋弹簧67的另一端部也可以配置为与高压侧盖部59的正面壁59b的内壁面抵接。另外，压缩螺旋弹簧67也可以设置有多个，例如，配置于工作杆51的外侧，也可以配置为不使工作杆51插通。

压缩螺旋弹簧67的轴线方向的长度也可以比背面壁65b与保持架主体62a的距离短。例如，也可以构成为压缩螺旋弹簧67的另一端部安装于背面壁65b，压缩螺旋弹簧67的一端部与保持架主体62a分离配置。在该情况下，在隔膜53向高压室55侧的移动量增加时，保持架主体62a与缩螺旋弹簧67抵接，高压侧保持架62的振动被衰减。

也可以构成为压缩螺旋弹簧67的一端部安装于保持架主体62a，压缩螺旋弹簧67的另一端部与背面壁65b分离配置。在该结构的情况下，当隔膜53向高压室55侧的移动量增加时，背面壁65b与压缩螺旋弹簧67抵接，高压侧保持架62的振动被衰减。

(第三实施方式)

接下来，参照图6对第三实施方式的隔膜式致动器50c进行说明。第三实施方式的隔膜式致动器50c与第一实施方式的隔膜式致动器50的不同点是：替代以从正面壁59b向高压室55的内部伸出的方式配置的轴承部63而具备以从正面壁59b向高压室55的外部伸出的方式配置的轴承部68，以及替代安装于衬套收容部65的背面壁65b的防振片66而具备安装于正面壁59b的内壁面的防振片69。此外，在第三实施方式的说明中，省略与第一、第二实施方式相同的说明。

轴承部68具备衬套64和衬套收容部65。衬套收容部65具备圆筒部65a和正面壁65d。圆筒部65a形成为从高压侧盖部59的正面壁59b向工作杆51的另一端侧伸出。圆筒部65a的一端侧与高压侧盖部59的正面壁59b连续地设置。衬套收容部65的正面壁65d在圆筒部65a的另一端侧形成为从圆筒部65a向径向的内侧伸出。在正面壁65d的中央部形成有使工作杆51插通的开口部。正面壁65d配置为覆盖衬套64的另一端侧的端面。

防振片69例如是圆盘状的橡胶板(板状部)。在防振片69的中央部形成有使工作杆51插通的开口部。另外，防振片69的外径具有大于高压侧保持架62的突出部62b的外径的尺寸。防振片69例如通过粘结而安装于正面壁59b。

在该结构的隔膜式致动器50c中，若隔膜53向中央部的高压室55侧的移动量成为最大，则高压侧保持架62的突出部62b的端面与防振片69抵接。由此，若阀体23的振动传递至隔膜53以及高压侧保持架62，则高压侧保持架62以及隔膜53的振动被防振片69衰减。因此，工作杆51的振动被抑制，隔膜式致动器50的阀体23的振动被抑制。

此外，在第三实施方式中，防振片69安装于正面壁59b，防振片例如也可以安装于高压侧保持架62。例如，防振片也可以是形成为环状，并配置为覆盖高压侧保持架62的突出部62b的端面的结构。

(第四实施方式)

接下来，参照图7，对第四实施方式的隔膜式致动器50d进行说明。第四实施方式的隔膜式致动器50d与第三实施方式的隔膜式致动器50c的不同点是替代防振片69而具备防振片70。此外，在第四实施方式的说明中，省略与第一、第二、第三实施方式相同的说明。

防振片70例如是形成有圆锥台状的山型的板状的橡胶部件。防振片70形成为圆盘状，具备：与正面壁59b分离地配置的背面部(板状部)70a；从背面部70a的外周侧的边缘部从正面壁59b侧延伸的筒状部(伸出部)70b；以及从筒状部70b的正面壁59b侧的端部向径向外侧伸出的凸缘部70c。

背面部70a在工作杆51的轴线方向上与正面壁59b分离，并配置于隔膜53一侧。在背面部70a与正面壁59b之间形成有规定的空间。在背面部70a的中央部形成有使工作杆51插通的开口部。背面部70a在工作杆51的轴线方向上形成与高压侧保持架62对置的壁面。背面部70a的外径例如具有比高压侧保持架62的突出部62b的内径小的尺寸。

筒状部70b形成为圆锥状，越靠近正面壁59b内径变得越大。在工作杆51的轴线方向上，筒状部70b的一个端部与背面部70a连接，筒状部70b的另一个端部与正面壁59b的内壁面抵接。筒状部70b的另一个端部的外径比一个端部的外径大，例如具有比高压侧保持架62的突出部62b的内径小的尺寸。

凸缘部70c配置为在工作杆51的轴线方向上例如与高压侧保持架62的突出部62b对置。凸缘部70c例如通过粘结而安装于正面壁59b的内壁面。凸缘部70c的外径既可以具有比高压侧保持架62的突出部62b的外径大的尺寸，也可以具有比突出部62b的外径小的尺寸。

防振片70例如能够由板状的橡胶部件形成。能够通过将橡胶部件按压于形成为圆锥台状的山型的基台而进行冲压，从而形成防振片70。

在该结构的隔膜式致动器50d中，若隔膜53向中央部的高压室55侧移动，且该移动量成为最大，则高压侧保持架62的保持架主体62a与防振片70的背面部70a抵接。由此，阀体23的振动传递至隔膜53以及高压侧保持架62，高压侧保持架62以及隔膜53的振动被防振片70衰减。因此，工作杆51的振动被抑制，隔膜式致动器50的阀体23的振动被抑制。

此外，在第四实施方式中，与第三实施方式相同，防振片70安装于正面壁59b，防振片70例如也可以安装于高压侧保持架62。例如，也可以是防振片70的背面部70a的外径比高压侧保持架62的突出部62b的外径大，背面部70a配置为覆盖突出部62b的端面的结构。

防振片70所形成的山型的形状并不限定于圆锥台状。例如可以为圆筒状，也可以为长方体状。另外，山型的侧面不限定于筒状，也可以是具备在周向上隔开间隔配置的多个脚形状的伸出部的部件。

防振片70构成为具备凸缘部70c，也可以是不具备凸缘部70c的结构。另外，防振片70也可以是具备在筒状部70b的正面壁59b侧的端部向径向内侧伸出的凸缘部的结构，也可以是具备形成为封闭筒状部70b的正面壁59b侧的端部的圆盘状的正面部的结构。

此外，本发明不限定于前述的实施方式，在不脱离权利要求的主旨的范围内能够如下述那样进行各种变形。

在上述实施方式中，将隔膜式致动器50作为增压器1的废气减压阀20的驱动源来使用，但是也可以作为用于开闭其他阀的驱动源来使用。另外，隔膜式致动器50也可以作为驱动阀以外的对象物的驱动源来使用。

在上述实施方式中，作为弹性部件举例表示了防振片66、69、70以及压缩螺旋弹簧67，但弹性部件例如也可以是盘形弹簧、板簧等其他弹簧部件。例如，也可以是同一种类的多个弹簧部件以在工作杆51的轴线方向重叠的方式配置的结构，也可以是多种弹簧部件以在工作杆51的轴线方向上重叠的方式配置的结构。例如，可以是如图6那样的防振片69重叠多片的结构，也可以是厚度、材质不同的多个防振片重叠的结构。另外，也可以是在防振片69的隔膜53侧配置有防振片70的结构。另外，也可以是在防振片66、69、70的隔膜53侧配置有压缩螺旋弹簧的结构，也可以是在防振片66、69、70的正面壁59b侧配置有压缩螺旋弹簧的机构。

在上述实施方式中，举例表示了将弹性部件安装于衬套收容部65的背面壁65b的情况，将弹性部件安装于高压侧盖部59的正面壁59b的情况，以及将弹性部件安装于高压侧保持架62的情况，但弹性部件安装于其他部分也可以。例如，弹性部件也可以是安装于高压侧盖部59的圆筒部59a的内周面的结构，也可以是经由其他部件安装于高压侧盖部59的结构。

在上述实施方式中，高压侧保持架62是具备向高压室55的内部突出的突出部62b的结构，高压侧保持架62也可以是不具备向高压室55的内部突出的突出部62b的结构。另外，突出部62b并不局限于从保持架主体62a的外周部突出的结构，也可以是从径向上的中间部突出的结构。

在上述实施方式中，将采用了废气减压阀20的增压器1作为车辆用增压器而进行了举例表示，但增压器并不现定于车辆用，也可以用于船舶用的发动机，应用于其他发动机也可以。

根据本发明的几个方式，因为通过弹性部件能够抑制保持架以及隔膜的振动，所以能够抑制与隔膜连结的工作杆的振动。

附图标记说明：

1…增压器；50、50b、50c、50d…隔膜式致动器；51…工作杆；52…致动器主体；53…隔膜；54…低压室；55…高压室；56…复原弹簧；59b…正面壁(与保持架对置的壁面)；62…高压侧保持架；62b…突出部(凸缘)；63…轴承部；65b…背面壁(与保持架对置的壁)；66、69、70…防振片(弹性部件、板状的橡胶、圆锥台状的橡胶)；67…压缩螺旋弹簧(弹性部件)；70a…背面部(板状部)；70b…筒状部(伸出部)。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.(删除)

2.(删除)

3.(删除)

4.(修改后)一种隔膜式致动器，其对工作杆沿所述工作杆的轴线方向进行驱动，所述隔膜式致动器的特征在于，具备：

隔膜，其与所述工作杆连结；

低压室，其与所述隔膜的所述轴线方向的一端侧邻接；

高压室，其与所述隔膜的所述轴线方向的另一端侧邻接；

复原弹簧，其设置于所述低压室，对所述隔膜向所述高压室侧施力；

保持架，其设置于所述隔膜的所述高压室侧的面；以及

弹性部件，其在所述高压室的内部，在所述轴线方向上配置于所述保持架与同所述保持架对置的壁面之间，

所述工作杆从所述隔膜向所述高压室侧延伸，并且在所述轴线方向上贯通所述高压室的与所述保持架对置的壁体，

在所述壁体支承有对所述工作杆进行保持的轴承部，

所述轴承部从所述壁体向所述高压室的内部伸出，

所述弹性部件安装于作为所述轴承部的所述保持架侧的面的所述壁面。

5.(修改后)根据权利要求4所述的隔膜式致动器，其特征在于，

所述弹性部件由橡胶部件形成，

所述弹性部件具备在所述轴线方向上与所述保持架对置配置的板状部，

以使所述板状部的板厚方向沿着所述轴线方向的方式配置所述弹性部件。

6.根据权利要求5所述的隔膜式致动器，其特征在于，

所述弹性部件具备从所述板状部向所述另一端侧延伸的伸出部。