一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵的制作方法

文档序号:16829056发布日期:2019-02-10 23:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于,它包括:

泵体,其至少包括一级罗茨系统;所述罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元;所述罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴,以及电驱动终端,所述电驱动终端联接于所述罗茨转轴上;

啮合机构,其联接于所述罗茨转轴上,并通过所述电驱动终端联动所述罗茨转子进行真空作业;所述啮合机构与所述罗茨转轴间装配有磁力联轴器;

数字化综合电传驱动系统,其连接所述电驱动终端,进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。

2.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述电驱动终端包括有电驱转子、电驱定子;所述电驱转子装配于所述罗茨转轴上,同时于电驱转子和电驱定子的气隙间套装有密封套。

3.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述磁力联轴器的气隙间套装有密封套。

4.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:在泵体内的同级或不同级的所述罗茨工作单元上,将各罗茨工作单元的腔室通过并联或串联管道从进气口至排气口依次联通。

5.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:每一成对的罗茨转子均为一独立的罗茨工作单元,所述罗茨转子间的气体流通管道正常联接时,所述罗茨工作单元任意布置于所述泵体上。

6.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述啮合机构包括传动齿轮,该传动齿轮包括主传动齿轮和从传动齿轮。

7.根据权利要求1-6任一项所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:一所述罗茨系统包括一级或多级罗茨工作单元,每一罗茨工作单元均为一独立的工作单元,成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴均独立地设置于所述罗茨工作单元内。

8.根据权利要求7所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述罗茨转子包括主动罗茨转子和从动罗茨转子;所述罗茨转轴包括主动罗茨转轴和从动罗茨转轴。

9.根据权利要求2或3所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述密封套包括不影响磁力的密封套。

10.根据权利要求1或6所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵,其特征在于:所述啮合机构包括磁力传动齿轮。

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