专利名称：高真空转阀的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种真空阀门，特别涉及一种在真空设备的各真空室之间使用的高真空转阀。
背景技术：
真空阀门是真空设备上的重要部件，其作用是将真空设备上不同的组成部分隔开，以便于对真空设备各组成部分的真空度进行控制。现有的真空阀门有许多种，如电磁阀、蝶阀、挡板阀、插板阀等等。其中，电磁阀和蝶阀多为小口径阀门，主要应用在真空系统中。挡板阀和插板阀多为大口径阀门，主要应用于真空系统与真空室的连接处。挡板阀主要由阀体、挡板及气动装置等构成。其中，挡板安装在阀体中，气动装置安装在阀体外，挡板在气动装置的驱动下在阀体中翻转，实现阀门的开关。这种阀门由于挡板要在阀体中翻转，因而阀体的体积比较大，且该阀的进气口和排气口通常垂直设置，所以，不适合于在各真空室之间使用。另外，该阀挡板上的密封圈也没有保护设施，不适合于在高温、有灰尘的真空设备上使用。插板阀主要由阀体，阀芯，驱动装置等构成。插板阀的阀体通常为长方形，厚度较小，其进气口与排气口相对设置，位于阀体的前端。这种阀门既可以应用于真空系统与真空室的连接处，也可以应用于真空装置的各真空室之间。但由于该阀的阀体和阀芯比较薄，所以，通常不设置冷却结构，因而，该阀的阀体和阀芯不能受热，一旦阀体和阀芯受热，密封圈就会迅速老化，从而限制了插板阀的应用范围，尤其是不适合于在温度较高的真空电炉的真空室上使用。另外，插板阀阀芯上的密封圈没有保护设施，阀门开启后，密封圈上容易落灰，使密封性能降低，对真空设备的技术性能具有不良的影响。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有真空阀门不能受热、密封圈上落灰等问题，提供一种耐高温、密封圈不容易被污染、适合于在真空设备的各真空室之间使用的高真空转阀。
本实用新型有一个阀体，阀体内装有阀板，其特殊之处是，所述的阀板安装在悬臂上，悬臂安装在主轴上，主轴与垂直升降油缸相连接，在主轴上还装有曲柄，曲柄与平行移动油缸铰接，通过垂直升降油缸和平行移动油缸使阀板升降、平移，完成开关阀门的动作。
所述的阀体和阀板为双层水冷却结构，在阀板的上面和下面分别装有隔热挡板，以减小对阀板的热幅射。
在曲柄与平行移动油缸的连接处还装有限位杆，在主轴的密封套上装有限位架，在限位架上装有与限位杆相配合的限位开关，以限定主轴的升降位置，实现阀板的自动控制。
本实用新型与现有技术相比具有如下优点1、阀体和阀板采用双层水冷却结构，并在阀板的上面和下面安装隔热挡板，有效的降低了阀体和阀板的温度，进而降低了密封圈的温度，防止了密封圈的老化，延长了密封圈的使用寿命，并提高了本实用新型的耐高温性能，扩大了使用范围，在多室真空设备中广泛应用。
2、用垂直升降油缸和平行移动油缸使阀板升降和平移，并在阀门开启、阀板移到阀体的另一侧后，带动阀板上升，使阀板上的密封圈紧贴在阀体上部的内表面上，避免了灰尘或颗粒状物质落到密封圈上，保证了本实用新型在使用的过程中始终具有良好的密封性能。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是本实用新型主轴部分的装配结构示意图。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型有一个阀体1，阀体1内装有阀板4，阀体1和阀板4为双层水冷却结构，冷却水通过金属软连接管接到阀板4上，所述的阀体1为圆形，也可以是方形或长方形，在其一侧有两个上下相对应的阀口，在阀板4上装有密封圈，并与上阀口相配合，构成真空阀的密封结构；所述的阀板4安装在悬臂3上，在悬臂3的端部有一个安装孔，在安装孔中装有连接件5和连接件6，两者用螺栓连接在一起，连接件5的外表面为螺纹，在阀板4的中心有一个带内、外螺纹的螺帽，阀板4通过该螺帽与连接件5连接在一起，为了避免关闭阀门时阀板4与阀体1之间发生刚性碰撞，在连接件5、连接件6与悬臂3之间、以及连接件5与悬臂3的安装孔之间都留有足够的间隙，并在连接件5与悬臂3之间安装碟形弹性垫圈，以便于在关闭阀门时起到缓冲作用；在阀板4的上面和下面分别装有隔热挡板2和隔热板7，以减小对阀板4的热幅射，降低阀板4的温度；所述的悬臂3安装在主轴上，主轴由外套8和内管20构成，为水冷却结构；所述的主轴安装在密封套10中，在主轴与密封套10之间还装有滑动轴承和密封环，以确保主轴在密封套10中移动顺滑，并具有良好的密封性能，密封套10通过法兰9固定在阀体1上，在法兰9上装有三根支承杆14，支承杆14的下端也装有一个法兰9，在该法兰9上装有垂直升降油缸13；所述的主轴的下端与垂直升降油缸13相连接，由垂直升降油缸13带动其作上下运动，垂直升降油缸13通过一个球形连接件和一个法兰与主轴连接在一起，两者之间留有一定的活动空间；在主轴上还装有曲柄12，曲柄12与平行移动油缸17铰接，两者之间用一个球形部件连接在一起，通过垂直升降油缸13和平行移动油缸17使阀板4升降、平移，完成开关阀门的动作；在曲柄12与平行移动油缸17的连接处还装有限位杆15，在限位杆15上有两个限位凸台，在密封套10上装有限位架，所述的限位架由套筒11、支架19和限位板16构成，套筒11固定在密封套10上，限位板16共有两块，用支架19固定在套筒11的两侧；在限位架的限位板16上装有两组与限位杆15相配合的限位开关18，限位开关18上的触头与限位杆15上的两个限位凸台相配合，限定主轴的升降位置，实现阀板4的自动控制。
本实用新型的工作过程如下当阀门处于关闭状态，需要打开时，垂直升降油缸13起动，.带动主轴向下运动，与主轴相连接的限位杆15同步向下运动，当限位杆15上的限位凸台与一组限位开关18中下边的限位开关的触头相接触时，垂直升降油缸13停止运动，此时，阀板4与阀口已经脱离开，并有一定的距离；这时，平行移动油缸17起动，并通过曲柄12推动主轴转动，主轴通过悬臂3带动阀板4移动，当限位杆15上的限位凸台与另一组限位开关18中下边的限位开关的触头相接触时，平行移动油缸17停止运动，此时，阀板4已经被移动到阀体1的另一侧；在平行移动油缸17停止运动的同时，垂直升降油缸13再次起动，推动主轴向上运动，当限位杆15上的限位凸台与这组限位开关18中上边的限位开关的触头相接触时，垂直升降油缸13停止运动，此时，阀板4上的密封圈紧贴在阀体1上部的内表面上，阀门被打开，阀板4完成下降、移动、上升的全部工作过程；当阀门处于打开状态，需要关闭时，垂直升降油缸13和平行移动油缸17的工作过程与打开阀门时的工作过程完全相反，阀板4也要完成先下降，再移动，最后上升的全部工作过程，只不过阀板4的移动方向与开阀时的移动方向相反。
权利要求1.一种高真空转阀，它有一个阀体，阀体内装有阀板，其特征在于，所述的阀板安装在悬臂上，悬臂安装在主轴上，主轴与垂直升降油缸相连接，在主轴上还装有曲柄，曲柄与平行移动油缸铰接。
2.根据权利要求1所述的高真空转阀，其特征在于，所述的阀体和阀板为双层水冷却结构，在阀板的上面和下面分别装有隔热挡板。
3.根据权利要求1所述的高真空转阀，其特征在于，在曲柄与平行移动油缸的连接处还装有限位杆，在主轴的密封套上装有限位架，在限位架上装有与限位杆相配合的限位开关。
专利摘要一种在真空设备的各真空室之间使用的高真空转阀，解决了现有真空阀门不能受热、密封圈上落灰等问题；本实用新型有一个阀体，阀体内装有阀板，其特殊之处是，所述的阀板安装在悬臂上，悬臂安装在主轴上，主轴与垂直升降油缸相连接，在主轴上还装有曲柄，曲柄与平行移动油缸铰接，通过垂直升降油缸和平行移动油缸使阀板升降、平移，完成开关阀门的动作；本实用新型的优点在于，阀体和阀板采用双层水冷却结构，并在阀板的上面和下面安装隔热挡板，提高了本实用新型的耐高温性能，并在阀门开启后，使阀板上的密封圈紧贴在阀体上部的内表面上，避免了灰尘或颗粒状物质落到密封圈上，确保其始终具有良好的密封性能。
文档编号F16K49/00GK2709730SQ20042003215
公开日2005年7月13日 申请日期2004年6月16日 优先权日2004年6月16日
发明者孙德玉 申请人:锦州电炉有限责任公司