一种用于控制气压的微阀的制作方法

文档序号:11942062阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于控制气压的微阀,其特征在于:它包括微阀入气端流道(4-2)、微阀出气端流道(4-3)、微流道(4-4)和两个电磁阀(4-1),两个电磁阀(4-1)之间设有微流道(4-4),且两个电磁阀(4-1)通过微流道(4-4)密封连通,其中一个电磁阀(4-1)通过微阀入气端流道(4-2)与外部气源(4-5)连接,另一个电磁阀(4-1)通过微阀出气端流道(4-3)与外部出气口连接。

2.根据权利要求1所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:电磁阀(4-1)包括电磁驱动器(3-1)和阀体(3-2),电磁驱动器(3-1)靠近阀体(3-2)设置。

3.根据权利要求2所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:电磁驱动器(3-1)包括塑料壳体(1-1)、铁磁壳体(1-2)、线圈(1-3)、铁芯(1-4)、衔铁(1-5)、复位弹簧(1-6)、定位插销(1-7)、阀座(1-8)、底座(1-9)和阀芯(1-10),线圈(1-3)缠绕在铁芯(1-4)上,复位弹簧(1-6)套设在衔铁(1-5)上,衔铁(1-5)的下端与阀芯(1-10)的顶端固定连接,铁芯(1-4)固定安装在铁磁壳体(1-2)的内壁上,铁磁壳体(1-2)固定安装在塑料壳体(1-1)的内壁上,阀座(1-8)中部加工有通孔,定位插销(1-7)固定安装在阀座(1-8)通孔的侧壁上,衔铁(1-5)和阀芯(1-10)设置在阀座(1-8)的通孔内,阀芯(1-10)的顶端设置在定位插销(1-7)上,塑料壳体(1-1)设置在阀座(1-8)上端面上,底座(1-9)固定安装在阀座(1-8)的下端面上,衔铁(1-5)和铁芯(1-4)相对设置,且复位弹簧(1-6)的一端卡在铁磁壳体(1-2)的一端上,复位弹簧(1-6)的另一端顶在阀芯(1-10)的一端上。

4.根据权利要求3所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:阀芯(1-10)的下端加工有倒置的圆台体,且倒置的圆台体的尖端直径为1mm,阀芯(1-10)下端倒置的圆台体的尖端至底座(1-9)下端面的距离为120μm。

5.根据权利要求1或4所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:阀体(3-2)包括阀膜(2-1)和基片(2-2),基片(2-2)上端面加工有微流道(2-3),阀膜(2-1)设置在基片(2-2)的上端面上,阀芯(1-10)下端倒置的圆台体的尖端设置在微流道(2-3)的上方。

6.根据权利要求4所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:阀芯(1-10)是由聚氯乙烯或聚丙烯材料制成的阀芯。

7.根据权利要求5所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:阀膜(2-1)是由透明的PDMS材料制成的阀膜。材料透明便于电磁驱动器(3-1)与阀体(3-2)封装时肉眼对齐。

8.根据权利要求7所述一种用于控制气压的微阀,其特征在于:阀膜(2-1)的厚度为100μm~500μm。

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