技术总结
一种用于控制气压的微阀，本发明涉及一种微阀，本发明为解决现有常规伺服阀的阀体积庞大、结构复杂、价格高、摩擦力影响微小流量控制特性的问题，它包括微阀入气端流道、微阀出气端流道、微流道和两个电磁阀，两个电磁阀之间设有微流道，且两个电磁阀通过微流道密封连通，其中一个电磁阀通过微阀入气端流道与外部气源连接，另一个电磁阀通过微阀出气端流道与外部出气口连接，本发明属于微流控领域。
技术研发人员：李松晶;刘旭玲;符海
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
文档号码：201610585331
技术研发日：2016.07.22
技术公布日：2016.12.07