一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门的制作方法

文档序号:14265512阅读:113来源:国知局

本发明涉及真空阀体技术领域,具体为一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门。



背景技术:

在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门,电感耦合等离子体质谱仪真空阀门是真空阀门的一种,但是,现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的现象。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体,所述点火腔体的顶部设置有气缸,所述气缸的底部贯穿点火腔体并延伸至点火腔体的内部固定连接有气缸转接头,所述气缸转接头的底部固定连接有弹片固定块一,所述弹片固定块一底部的两侧均固定连接有导向轴,所述导向轴的内侧固定连接有腔体前盖弹片,所述腔体前盖弹片的表面固定连接有腔体前盖,所述腔体前盖弹片的表面固定连接有弹片固定块三,所述导向轴和腔体前盖弹片的一端固定连接有弹片固定块二。

优选的,所述气缸的底部与点火腔体的顶部通过固定件固定连接。

优选的,所述点火腔体正面的四角均开设有圆孔,且圆孔呈等距离排列。

优选的,所述气缸的底部与气缸转接头的顶部通过连接件固定连接。

与现有技术相比,本发明的有益效果如下:

1、本发明通过设置点火腔体、气缸、气缸转接头、弹片固定块一、导向轴、腔体前盖弹片、腔体前盖、弹片固定块三和弹片固定块二的配合使用,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题,该电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,该阀体积小,采用弹性变形来实现密封,使用灵活,可实现阀门的一次性开关。

2、本发明通过设置点火腔体,能够产生一定的气体使前盖弹片弹性变形,通过设置腔体前盖弹片,能够将腔体前盖顶出。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图中:1点火腔体、2气缸、3气缸转接头、4弹片固定块一、5导向轴、6腔体前盖弹片、7腔体前盖、8弹片固定块三、9弹片固定块二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1,一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体1,点火腔体1正面的四角均开设有圆孔,且圆孔呈等距离排列,通过设置点火腔体1,能够产生一定的气体使前盖弹片7弹性变形,点火腔体1的顶部设置有气缸2,气缸2的底部与点火腔体1的顶部通过固定件固定连接,气缸2的底部贯穿点火腔体1并延伸至点火腔体1的内部固定连接有气缸转接头3,气缸2的底部与气缸转接头3的顶部通过连接件固定连接,气缸转接头3的底部固定连接有弹片固定块一4,弹片固定块一4底部的两侧均固定连接有导向轴5,导向轴5的内侧固定连接有腔体前盖弹片6,通过设置腔体前盖弹片6,能够将腔体前盖7顶出,腔体前盖弹片6的表面固定连接有腔体前盖7,腔体前盖弹片6的表面固定连接有弹片固定块三8,导向轴5和腔体前盖弹片6的一端固定连接有弹片固定块二9,通过设置点火腔体1、气缸2、气缸转接头3、弹片固定块一4、导向轴5、腔体前盖弹片6、腔体前盖7、弹片固定块三8和弹片固定块二9的配合使用,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题,该电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,该阀体积小,采用弹性变形来实现密封,使用灵活,可实现阀门的一次性开关。

使用时,气缸2进气口通入气体后,使气缸轴伸出,导向轴5进入点火腔体1底部二个孔后,使腔体前盖弹片6产生弹性变形,将腔体前盖7向前顶出,与点火腔体1上的密封圈密封,从而实现一个封闭的真空环境。

综上所述:该电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,通过点火腔体1、气缸2、气缸转接头3、弹片固定块一4、导向轴5、腔体前盖弹片6、腔体前盖7、弹片固定块三8和弹片固定块二9的配合,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体,所述点火腔体的顶部设置有气缸,所述气缸的底部贯穿点火腔体并延伸至点火腔体的内部固定连接有气缸转接头。本发明通过设置点火腔体、气缸、气缸转接头、弹片固定块一、导向轴、腔体前盖弹片、腔体前盖、弹片固定块三和弹片固定块二的配合使用,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题,该电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,该阀体积小,采用弹性变形来实现密封,使用灵活,可实现阀门的一次性开关。

技术研发人员:孙克强;丁志国;陈万锁;江波;山拓
受保护的技术使用者:江苏衡昇仪器有限公司
技术研发日:2017.11.25
技术公布日:2018.04.24
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