真空设备的动密封装置及真空设备的制作方法

本实用新型涉及真空设备技术领域，具体而言，涉及真空设备的动密封装置及真空设备。

背景技术：

在机械加工自动化与智能化的生产线中，真空设备是为机械加工提供真空环境的不可缺少的生产设备，机械工件经生产线传入真空设备的真空室中进一步加工，加工之后再由真空室自动传出，这个过程需要真空室提供动力。现有很多真空设备在真空室内安装动力源，以便实现上述的自动搬运过程。在真空室内安装动力源，真空室会存在一定的振动，特别是在压力频繁切换的状态下，转动轴两端的固定轴承可能存在一定的窜动，引起转动轴的径向跳动，磨损密封件，造成系统泄漏。

为解决现有真空设备由于转动轴两端的轴承窜动引起的密封性能不好的技术问题，提出本申请。

技术实现要素：

本实用新型提供了真空设备的动密封装置及真空设备，旨在改善现有真空设备由于转动轴两端的轴承窜动引起的密封性能不好的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种真空设备的动密封装置，所述真空设备包括真空室，所述真空室内设置有传输装置，所述动密封装置包括：传动组件和密封组件，所述传动组件位于所述真空室外部且与真空室壁固定连接，所述传动组件与所述传输装置连接；所述密封组件用于密封所述传动组件与所述真空室的连接处。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，还包括：驱动机构，所述传动组件包括动力转轴，所述动力转轴一端与所述驱动机构连接，所述动力转轴的另一端穿过所述真空室壁并于所述真空室内与所述传输装置连接。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述传动组件还包括链轮，所述链轮设置于所述动力转轴上与所述驱动机构连接的一端。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述传动组件还包括：轴承及轴承座，所述轴承套设于所述动力转轴上，所述轴承座与所述轴承连接；所述轴承座与所述真空室壁固定连接，以将所述动力转轴及所述轴承与所述真空室固定。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述密封组件包括密封垫片，所述密封垫片套设于所述动力转轴上，且所述密封垫片用于密封连接所述动力转轴与所述真空室壁。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括第一密封圈，所述第一密封圈用于密封连接所述密封垫片与所述动力转轴。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈沿所述轴承座的端面设置，所述第二密封圈用于密封连接所述轴承座与所述真空室壁。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括骨架油封，所述骨架油封套设于所述动力转轴上，且位于所述密封垫片和所述轴承之间。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，还包括：第一轴套，所述轴承包括沿所述动力转轴的径向设置的第一轴承和第二轴承，所述第一轴承靠近所述真空室壁；所述第一轴套套设于所述动力转轴上且位于所述第一轴承和所述第二轴承之间。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，还包括：第二轴套，所述第二轴套套设于所述动力转轴上且位于所述第二轴承与所述链轮之间。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述轴承为深沟球轴承。

进一步地，在本实用新型一个较佳的实施例中，所述密封组件为氟橡胶密封组件。

第二方面，本实用新型提供了一种真空设备，包括上述任一项所述的真空设备的动密封装置。

本实用新型提供的真空设备的动密封装置及真空设备，通过将所述传动组件设置在真空室外，并通过在所述传动组件与真空室外壁之间设置密封组件，密封可靠，保持真空室的真空环境；所述传动组件为真空室内的传输装置传递动力。由于所述传动组件设置在真空室外当真空室内进行工作压力切换时不会对传动组件造成影响，传动组件不会窜动破坏磨损密封组件，有效保证真空室的密封性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一实施例提供的动密封装置结构示意图；

图2是本实用新型一实施例提供的动密封装置的剖视图；

附图标记：

1-动力转轴 2-链轮 3-第一轴承 4-第二轴承

5-轴承座 6-密封垫片 7-第一密封圈 8-第二密封圈

9-骨架油封 10-第一轴套 11-第二轴套 12-真空室壁

13-端盖 14-挡片

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

本实用新型实施例提供的一种真空设备的动密封装置，所述真空设备包括真空室，如图1-2所示，所述真空室内设置有传输装置，所述动密封装置包括：传动组件和密封组件，所述传动组件位于所述真空室外部且与真空室壁12固定连接，所述传动组件与所述传输装置连接；所述密封组件用于密封所述传动组件与所述真空室的连接处。通过将所述传动组件设置在真空室外，并通过在所述传动组件与真空室外壁之间设置密封组件，密封可靠，保持真空室的真空环境；所述传动组件为真空室内的传输装置传递动力。由于所述传动组件设置在真空室外当真空室内进行工作压力切换时不会对传动组件造成影响，传动组件不会窜动破坏磨损密封组件，有效保证真空室的密封性。

本实施例中，还包括：驱动机构，驱动机构可为驱动电机；所述传动组件包括动力转轴1和链轮2，所述动力转轴1一端与所述驱动机构连接，所述动力转轴1的另一端穿过所述真空室壁12并于所述真空室内与所述传输装置连接。驱动电机及链轮2均位于真空室外外，通过动力转轴1为真空室内提供稳定动力源。如图2所示，链轮2设置于所述动力转轴1上与所述驱动机构连接的一端，保证动力转轴1运动的稳定性。

为保证动力转轴1运动的稳定性，本实施例中，所述传动组件还包括：轴承及外挂式的轴承座5，所述轴承套设于所述动力转轴1上，所述轴承座5与所述轴承连接；所述轴承座5与所述真空室壁12固定连接，以将所述动力转轴1及所述轴承与所述真空室固定，通过外挂式的轴承座5将整个动密封装置整体外挂在真空室壁12上。轴承及轴承座5均设置于真空室外，真空室内压力切换不会影响到轴承，轴承不会窜动故不会引发动力转轴1的径向跳动，也就避免了密封组件的磨损，保证真空室的密封性。另外，大多真空设备涉及加热，高温真空都会对轴承的使用寿命造成影响。本实施例中将轴承设置在真空室外则可以有效解决这一问题，轴承不会受到真空室内温度的影响，保证轴承的使用寿命。

为有效密封，本实用新型实施例提供的动密封装置中设置多重密封组件，且所有密封组件均安装在外挂式的轴承座5上，如图2所示，所述密封组件包括密封垫片6，所述密封垫片6套设于所述动力转轴1上，且所述密封垫片6用于密封连接所述动力转轴1与所述真空室壁12。氟橡胶材质的密封垫片6有效保证动力转轴1与真空室壁12连接处的密封性，进而保证真空室内的真空环境。所述密封垫片6与所述动力转轴1之间还设置有第一密封圈7，用于进一步密封。在所述轴承座5的端面还设置有第二密封圈8，用于密封连接轴承座5与所述真空室壁12。第一密封圈7、第二密封圈8均为氟橡胶密封圈，密封垫片6、第一密封圈7、第二密封圈8多重设置保证动密封装置与真空室壁12连接处的密封性，使得真空室内可长期保持100Pa以下的真空度，真空系统稳定可靠。

为了将轴承的工作环境与真空室的真空工作环境有效隔离，本实施例提供的动密封装置，还包括骨架油封9，所述骨架油封9套设于所述动力转轴1上，且位于所述密封垫片6和所述轴承之间。通过氟橡胶的骨架油封9将真空室内的真空环境隔离，故而深沟球轴承等机械结构件的工作环境为常压状态下，轴承中的润滑脂不会因真空环境而迅速挥发，故而轴承的寿命较高；而且将真空环境隔离后，真空室内的压力频繁切换不会使轴承窜动，进一步提高轴承使用寿命，故而整个动密封装置寿命较高。

另外，真空设备常常需加热，故而真空室内经常处于高温状态下(温度在60℃以上)，而真空室一旦回填空气，温度又会急剧下降，所以整个真空室常常处于高低温频繁切换状态，本实施例的动密封装置安装于真空室外侧，通过氟橡胶骨架油封9将真空室内的真空环境隔离，故而真空室内的高低温切换不会对轴承等结构造成影响，不会因高低温频繁切换导致轴承抱死。

本申请设置有两个轴承，均为深沟球轴承，为保证两个轴承在各自工作位置工作，如图2所示，本实施例中还包括：第一轴套10，所述轴承包括沿所述动力转轴1的径向设置的第一轴承3和第二轴承4，所述第一轴承3靠近所述真空室壁12；所述第一轴套10套设于所述动力转轴1上且位于所述第一轴承3和所述第二轴承4之间。第一轴套10对第一轴承3和第二轴承4有效限位，保证运动精度。两个深沟球轴承同心度较高，动力转轴1的跳动较小，故而对氟橡胶骨架油封9与径向的氟橡胶第一密封圈7的摩擦较小，使用寿命较高。

为限位第二轴承4与链轮2，如图2所示，本实施例中还包括：第二轴套11，所述第二轴套11套设于所述动力转轴1上且位于所述第二轴承4与所述链轮2之间。第一轴套10、第二轴套11对第二轴承4的前后限位；动力转轴1位于第一轴承3与骨架油封9之间的部分形成一个限位凸起，该限位凸起与第一轴套10对第一轴承3的前后限位，保证两个轴承的运动精度，防止轴承窜动，进而防止动力转轴1跳动，保证真空室密封性的同时提高轴承的使用寿命。

所述轴承座5远离所述真空室外壁的一端还设置有端盖13，所述端盖13可进一步固定第二轴套11。链轮2用于与电机连接的一端还设置有电机挡片14。

本实用新型实施例提供的一种真空设备，包括上述任一项所述的真空设备的动密封装置。

综上所述，本实用新型提供的真空设备的动密封装置及真空设备具有如下有益效果：

可为真空室内提供稳定动力源，同时密封可靠，不会引发泄漏。

由于轴承外置，压力切换不会影响到轴承，故不会引发轴的跳动，导致密封件的磨损，动密封装置可适用于不同的压力环境。

由于轴承外置，轴承不会受到箱内温度的影响，动密封装置可适用于不同温度环境。

整个动密封装置可以直接与真空室拆卸维修，维修简单，维保成本较低，可整体更换，大大降低维修时间。

设置骨架油封9将轴承工作环境与真空环境隔离，轴承中的润滑脂不会因真空环境而迅速挥发，故而轴承的寿命较高，真空室内的压力频发切换也不会使结构件窜动，故而整个密封装置寿命较高。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，也即空调正常安装时对应的方位。仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。