防呆型化学桶快速连接接头的制作方法

本实用新型涉及化学品供应设备技术领域，具体地说是一种防呆型化学桶快速连接接头。

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背景技术：
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在随着我国半导体行业的不断发展，集成电路生产线在我国也已开始越来越规模化。半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成不可估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性。半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。而化学品供应系统的化学品的来源，一般分3大类，分别是槽车(LORRY),标准桶槽(Chemical Container),以及本地储存桶槽(Local Tank)。由于集成电路制造工艺中需要使用到较多种类的化学品。因此对比在有限的场地条件下大部分厂商都会对使用量相对不大的化学品都运用双标准桶(Dual Drum)供应系统方式。并运用人工换桶的方式来进行化学品的补充。

根据目前化学品供应系统人工换桶的使用的情况，将化学品经从酸桶分配至不同的用户端之前，需要人力对化学品桶更换接头并保证其正确对应需要的化学品，以保证用户端能够摄取到符合需求的化学品。对于化学品供应桶来说，由于需要在向供应系统供给化学品时进行氮气等惰性气体的补充以获得桶内的压力平衡，因此会在化学品桶上分别开设一个气口和一个化学品进出口，由于半导体化学品都是属于危险化学品，即使在使用专用工具的条件下，更换化学品桶对于操作人员来说也是一项费时费力的工作，主要原因是为了防止化学品的泄露和错换接头，所以为了防止错换接头，所以接头设计的结构非常复杂。由于目前化学品桶更换方式的固定，使得无法实现自动化，所以现有电子级化学品换桶部件自动化程度低，安全保护措施不充分等问题。随着国内半导体行业的快速发展，因此对设备生产效率，洁净度，安全性等也提出更高的要求。

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技术实现要素：
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本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种防呆型化学桶快速连接接头。结构紧凑，使用非常安全，同时满足汲取液体和补充氮气的的使用需求。将固定密封盖上增加凸块和桶上接头上凹槽设计，使得每一个接头对应唯一的化学药液桶，从更本上杜绝的用错化学药液的安全生产事故，可以快速使用，提高了工作效率。

为实现上述目的设计一种防呆型化学桶快速连接接头，包括出液管1、出液接头14、氮气补气接头15、固定旋转轴5、固定密封盖8、桶上接头13及汲取管17，所述出液管1密封连接出液接头14，所述出液接头14上设有氮气补气接头15，所述氮气补气接头15进气口端密封连接氮气进气管，所述出液接头14内部设有与氮气补气接头15相连通的氮气旁通管二3，所述出液接头14下端密封连接固定旋转轴5，所述出液接头14内部出液管穿过固定旋转轴5，所述固定旋转轴5内部设有与氮气旁通管二3相连通的空腔19，所述固定旋转轴5外围套接固定密封盖8，所述固定密封盖8下端配合连接桶上接头13，所述固定密封盖8下端面设有判别密封凸块9，所述桶上接头13上端面设有与判别密封凸块9相对应的判别密封凹槽10，所述固定旋转轴5密封连接桶上接头13，所述固定旋转轴5中心的出液管插入连接桶上接头13内部，所述桶上接头13下端密封连接汲取管17，所述汲取管17与桶上接头13内部的出液管相连通，所述桶上接头13内部设有与固定旋转轴5内部空腔19相连通的氮气旁通管三11，所述氮气旁通管三11下端与化学药液桶16内部空腔相连通。

进一步地，所述固定旋转轴5下端外圆面上设有外螺纹4，所述桶上接头13内部内圆面上设有与外螺纹4相配合的内螺纹18。

进一步地，所述固定旋转轴5上下端面处分别设有旋转密封圈6。

进一步地，所述固定旋转轴5下方的出液管下端部设有与汲取管17相配合的进液密封圈7。

进一步地，所述汲取管17的内壁设有防积液小孔12。

进一步地，所述出液接头14与氮气补气接头15连接角度为90度。

本实用新型同现有技术相比，具有如下优点：

1、防呆型化学桶快速连接接头满足半导体硅片制造苛刻的使用需求。创新的采用氮气和化学药液接头集中在同一接头上的设计，结构紧凑。同时满足汲取液体和补充氮气的的使用需求。

2、防呆型化学桶快速连接接头采用内部固定密封转轴设计，使得在旋转的同时保持密封，同时中间螺纹连接两端保持不动，方便人员安装。

3、创新性的将固定密封盖上增加凸块和桶上接头上凹槽设计。使得每一个接头对应唯一的化学药液桶。从更本上杜绝的用错化学药液的安全生产事故。

4、防呆型化学桶快速连接接头通过过盈密封圈加螺纹连接密封省力易操作，并且开启环境为密闭环境，保证了开启环境的洁净度。更大程度上保证操作人员的安全及工作效率。整个操作过程安全、快速、可靠，值得广泛推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的分解结构示意图；

图中：1出液管、2氮气进气管、3氮气旁通管二、4外螺纹、5固定旋转轴、6旋转密封圈、7进液密封圈、8固定密封盖、9判别密封凸块、10判别密封凹槽、11氮气旁通管三、12防积液小孔、13桶上接头、14出液接头、15氮气补气接头、16化学药液桶、17汲取管、18内螺纹、19空腔。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图所示，本实用新型包括：出液管1、出液接头14、氮气补气接头15、固定旋转轴5、固定密封盖8、桶上接头13及汲取管17，所述出液管1密封连接出液接头14，所述出液接头14上设有氮气补气接头15，所述氮气补气接头15进气口端密封连接氮气进气管，所述出液接头14内部设有与氮气补气接头15相连通的氮气旁通管二3，所述出液接头14下端密封连接固定旋转轴5，所述出液接头14内部出液管穿过固定旋转轴5，所述固定旋转轴5内部设有与氮气旁通管二3相连通的空腔19，所述固定旋转轴5外围套接固定密封盖8，所述固定密封盖8下端配合连接桶上接头13，所述固定密封盖8下端面设有判别密封凸块9，所述桶上接头13上端面设有与判别密封凸块9相对应的判别密封凹槽10，所述固定旋转轴5密封连接桶上接头13，所述固定旋转轴5中心的出液管插入连接桶上接头13内部，所述桶上接头13下端密封连接汲取管17，所述汲取管17与桶上接头13内部的出液管相连通，所述桶上接头13内部设有与固定旋转轴5内部空腔19相连通的氮气旁通管三11，所述氮气旁通管三11下端与化学药液桶16内部空腔相连通。所述固定旋转轴5下端外圆面上设有外螺纹4，所述桶上接头13内部内圆面上设有与外螺纹4相配合的内螺纹18。所述固定旋转轴5上下端面处分别设有旋转密封圈6。所述固定旋转轴5下方的出液管下端部设有与汲取管17相配合的进液密封圈7。所述汲取管17的内壁设有防积液小孔12。所述出液接头14与氮气补气接头15连接角度为90度。

本实用新型的化学药液通过汲取管17经过桶上接头13至出液管1使得化学药液桶16内化学溶液汲取到使用端。其中桶上接头13和汲取管17配合现有标准桶制作方便替换。出液接头14上安装间隔20毫米直径2毫米的旋转密封圈6两个做密封使得化学药液能顺利汲取。氮气经过氮气进气管2至氮气补气接头15、氮气旁通管二3、固定旋转轴5内部空腔19至氮气旁通管三11到达化学药液桶16做溶液抽取后的补气作用，是内外大气压强一致。其中出液接头14至氮气补气接头15做90°直角设计与出液接头14留有30毫米空间使得出液管1与氮气进气管2工作互不影响，同时使得整个接头结构紧凑方便安装。其次通过固定旋转轴5与出液接头14之间采用密封配合连接，留有氮气进气空间，再经过氮气旁通管三11至化学药液桶16中做氮气补气作用。固定旋转轴5上安装旋转密封圈6使得氮气不外泄的同时精简此结构的外形尺寸。使得液体和气体管路在很小的结构中间区分开，互不影响。通过固定旋转轴5和旋转密封圈6和进液密封圈7配合可以让固定旋转轴5通过旋转和桶上接头13密封螺纹连接。且桶上接头13和出液管1保持固定不动。其中固定旋转轴5上采用外底部螺纹结构，内部中空设计，在桶上接头13上能自由旋转固定。其次固定旋转轴5顶部和底部安装直径15毫米的旋转密封圈6上下各一个，使得固定旋转轴5在旋转的时候可以使桶上接头13和出液管1保持和氮气进气管2固定不动，方便接头快速安装。通过固定密封盖8上判别密封凸块9与桶上接头13上判别密封凹槽10的不同样式配合达到识别化学药液桶16的目的。其中在固定密封盖8上制作判别密封凸块9，判别密封凸块9制作成不规则图形和判别密封凹槽10的唯一性来识别化学药液桶16是否是此制程所需要之化学品，避免因人员误接造成溶液混乱，污染产品，发生安全生产之事故。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。