专利名称：氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖的制作方法
技术领域：
本发明涉及氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖。
本申请针对在2008年8月13日申请的日本国专利申请第 2008-208320号主张优先权，并在此引用其内容。
背景技术：
三氯硅烷、四氯硅烷等的氯硅烷类用于多晶硅和硅片的外延膜等 的半导体、光纤的原材料等。通常，在制造工场内将氯硅烷类填充在 容器或气瓶中，将其搬运至半导体和光纤等的制造工场来使用。这些 氯硅烷类如果与空气等中包含的水分反应，则产生腐蚀性气体和二氧 化硅。该腐蚀性气体和二氧化硅产生腐蚀设备且招致品质的恶化、配 管的堵塞等问题，因而要求容器内的氯硅烷类不与空气和水接触。
作为使空气不与容器内的氯硅烷接触的提案， 一直以来，采用例 如日本特开平5-231598号公报和特开2008-116044号公报所记载的封 闭构造。
在特开平5-231598号公报的气体填充容器中，为了防止松开阀时 漏出的硅烷气体在空气中自燃起火、污染金属口部、腐蚀金属口部和 气体供给系，设置将金属口部气密地封闭的帽，并且，在该帽内设有 吸附水分和氧的吸附剂和吸附硅烷气体的吸附剂。在特开平5-231598 号公报中记载了由该吸附剂将金属口部和帽内的气氛置换为以氮气 等为主要成分的惰性气体，因而即使硅烷气体漏出，也能够抑制腐蚀。
在特开2008-116044号〃/^艮中记载了一种泄漏抑制装置，该泄漏 抑制装置以包围与容器的出口开口连接的流体流动部件的方式设置 抑制包围体，并能够收集泄漏的反应性气体。纳容器中，无法应用以气体漏出的
防止为课题的上述特开平5-231598号公报及特开2008-116044号公报
的技术。
例如，对于特开平5-231598号公报的气体填充容器而言，在液态 的氯硅烷泄漏的情况下，无法用吸附剂来吸收。另外，对于特开 2008-116044号^M艮的装置而言，其相对于配管连接部的泄漏为有效 的手段，而在产生因阀的密封性恶化而导致的泄漏的情况下，却不是 有效的手段。
尤其是，氯硅烷类在与空气接触时反应，在阀上产生锈，使二氧 化>法附着，妨碍阀的动作。在由封闭盖封闭岡的端部的情况下，如果 在此间形成的密闭的空间中存在着包含水分的空气，产生因阀的密封 性的恶化而导致的氯硅烷的泄漏，则产生腐蚀内部等的问题。
本发明是鉴于这种情形而提出的，其目的在于，提供一种能够以 简单的构造维持阀的健全性并可靠地防止因内容物的漏出而导致的 腐蚀性气体的产生的氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖。
发明内容
用于达成上述目的的本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所 述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其 上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭 盖，所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰， 所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，所述封闭盖具 备具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将 惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的 供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和 开闭所述排气管的排气阀。
依照该发明，由于能够由与氯硅烷液不反应的惰性气体充满形成 于阀的阀体和封闭盖之间的空间，因而能够防止腐蚀性气体和二氧化硅的产生。而且，由于能够使该空间与收纳容器内相比为正压，因而强化阀的密封性并能够防止从阀的漏出。
另外，本发明的氯硅烷液收纳容器用封闭盖以能够装卸的方式安装在阀的连接法兰上，该阀固定在收纳氯硅烷液的箱上。上述氯硅烷液收纳容器用封闭盖具备具有与所述连接法兰的连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀的阀体之间的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管、开闭所述排气管的排气阀，所述氯硅烷液收纳容器用封闭盖通过将所述封闭盖固定在所述连接法兰上来密封所述空间。
依照本发明的氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖，由于抑制了腐蚀性气体和二氧化硅的产生，因而能够防止阀周边的部件的腐蚀导致的阀的密封性的下降和氯硅烷液的泄漏，并且也能够降低取下封闭盖时的危险性。
图1是显示本发明的氯硅烷液的收纳容器的一个实施例的模式图。
图2是显示安装有图1所示的收纳容器的封闭盖的状态的球阀附近的主要部分的放大截面图。
图3是显示图2所示的连接法兰和封闭盖的盖体的接合部附近的放大图。
图4是按照A C的次序显示封闭图2所示的球阀时的顺序的模式图。
符号说明10收纳容器11箱
12固定法兰20惰性气体供给装置
21配管
22安装用法兰
30容器
31配管
32安装用法兰
40、 40A、 40B球阀
41壳
41a阀座
41b管路
42 '连接法兰
42a连接面
43连4矣法兰
44阀体
44a贯通孔
45操作部
46突出部
51螺栓
52螺帽
60封闭盖
61盖体
61a封闭面
62供给管
63供给阀
64排气管
65排气阀
66垫片
67环形槽
6L氯硅烷液S空间
具体实施例方式
以下，基于附图，说明本发明的氯硅烷液的收纳容器的一个实施例。图1中显示了本发明的氯硅烷液L的收纳容器10、将惰性气体(例如氩气)供给至该收纳容器10的惰性气体供给装置20以及收纳从收纳容器10取出的氯硅烷液L的容器30的才莫式图。
收纳容器IO具备箱11以及具有连通箱11的内外的管路并开闭该管路的2个阀40A、 40B。这些阀40A、 40B指的是5求阀， 一个阀40A用于向箱11供给惰性气体，在取出氯硅烷液L的期间，在它的连接法兰42上连接有安装用法兰22，其位于从供给惰性气体(例如氩气)的惰性气体供给装置20伸出的外部的配管21上。另外，另一个阀40B用于取出来自箱11的氯硅烷液L,在它的连接法兰42上连接有位于从外部的容器30伸出的外部的配管31上的安装用法兰32。
当从该收纳容器IO取出氯硅烷液L时，如图1所示，通过经由球阀40A和外部的配管21而从惰性气体供给装置20将惰性气体注入箱11内，从而经由球阀40B和外部的配管31而从箱ll将氯硅烷液L送出至容器30。然后，通过封闭各球阀40A、 40B，从而停止氯硅烷液L的送出。
在不进行氯硅烷液L的取出的期间，从两球阀40A、 40B的连接法兰42分别取下外部的配管21的安装用法兰22和外部的配管31的安装用法兰32，取而代之的是，将封闭球阀40A、 40B的管路的封闭盖60固定在连接法兰42上。由此，即使在重复进行氯硅烷液L的取出的情况下，也能够防止氯硅烷液L从球阀40A、 40B泄漏。
在图2中显示了该球阀40A、 40B的详细构造。以下，在不特别地区别2个球阀40A、 40B的情况下，将符号统一为40进行说明。
7该球阀40具备具有球面状的阀座41a的壳41、设在壳41的两端的连接法兰42和43、可转动地保持在阀座41a上并开闭管路41b的大致^求状的阀体44以及阀体44的操作部45,通过由螺栓51和螺帽52将一个连接法兰43固定在箱11侧的固定法兰12上，从而将其安装在箱11上。另外，在另一个连^t妻法兰42上，由螺栓51和螺帽52固定有从上述的惰性气体供给装置20伸出的外部的配管21的安装用法兰22、从外部的容器30伸出的外部的配管31的安装用法兰32、或封闭盖60中的任意一个。
在该球阀40中，在阀体44上形成有贯通孔44a，如图2所示，通过将贯通孔44a配置在与阀40的管路41b正交的方向上，从而隔断管路41b,通过转动操作部45并如点划线所示地使该贯通孔44a与阀40的管路41b —致，/人而开》文管路41b。
封闭盖60具备具有隔着垫片66而与连接面42a相接的封闭面61a的盖体61、在该盖体61的封闭面61a上开口的供给管62和设在该供给管62上的供给阀63、在盖体61的封闭面61a上开口的排气管64和设在该排气管64上的排气阀65。
另外，如图3所示，在球阀40的连接法兰42的端面上， 一体地设有圆形环板状的突出部46，以在其中央部包围管路41b,该突出部46的前端面为连接面42a，在该连4妄面42a上隔着由四氟乙烯等形成的垫片66而接合有封闭盖60的盖体61的封闭面61a,在该状态下由螺栓51和螺帽52固定盖体61和连接法兰42。另外，在图示的示例中，在连接法兰42的突出部46的连接面42a和盖体61的封闭面61a上，隔着垫片66以相对的方式分别形成有2个截面V形的环形槽67。在该环形槽67中，当氯硅烷从盖体61的封闭面61a和连接法兰42的连接面42a与垫片66的面之间浸出时，通过在环形槽67的角部的部分以紧固的压力《吏垫片66陷入， >火而确保面压力，防止浸出并能够确保防止垫片66在上述面间的位置偏移，因而密封性提高，能够可靠地防止向外部的浸出。然后，在该封闭状态中，在球阀40内部的管路41b中，形成有在阀体44和盖体61之间密闭的空间S。
氩等惰性气体能够经由封闭盖60的供给管62和供给阀63而注入该空间S内，空间S内的气体能够经由排气管64和排气阀65而排出。由此，由于能够使空间S内为惰性气氛，因而防止了伴随着空间S内的氯硅烷液L的残留而与空气中的水分的反应，能够防止腐蚀性气体的产生和二氧化硅的生成(例如SiHCl3 + 2H20 — Si02 + H2 +3HC1)。此外，通过将洗涤器等的除害装置连接在排气管64上，能够对来自空间S的排气进行除害处理。
利用图4，具体地进行说明。在该图4中，关于各阀40、 63、 65,涂黑状态表示封闭的状态，留白状态表示开放的状态。首先，如图4(A)所示，在封闭球阀40的状态下，开放供给阀63和排气阀65,通过供给管62将惰性气体注入空间S内。在此期间，由于排气阀65开放，因而空间S内的气体被逐出且被置换为惰性气体，并从排气管65将包含氯硅烷的惰性气体送出至洗涤器70中。
当空间S内被置换成惰性气体后，如图4(B)所示， 一边继续注入惰性气体一边封闭排气阀65，使空间S内的压力上升。当空间S内成为高于箱11内的压力时，如图4(C)所示，封闭供给阀63。
如此，通过使空间S内为相对于箱11内呈正压的惰性气氛，从而不发生氯硅烷液L从相反侧的箱11经由阀体44泄漏至该空间S内，且空气从外部经由与封闭盖60的盖体61之间的空间而混入空间S内的情况。所以，防止了腐蚀性气体和二氧化硅等的产生，能够防止球阀40的密封性降低。
另外，当从收纳容器10取出氯硅烷液L时，如果在使用封闭盖60并用惰性气体清洗阀40的空间S之后，再取下封闭盖60，那么，能够降低氯硅烷气体和空气的急剧的反应的危险性。
此外，本发明并不限于上述实施例的构成，在细小部分的构成中，能够在不脱离本发明的要旨的范围内施加各种变更。例如，安装在阀液体取出侧的阀40B上即可。然而，通过将封闭盖60也安装在惰性气体供给侧的阀40A上，也能够防止该阀40A上的腐蚀等。
另外，虽然从惰性气体供给装置供给氩气等的惰性气体，但也可以供给氮气以代替氩气等，在本发明中，惰性气体也包含氮。
此外，上述实施例中，在收纳容器10的箱11上设置^^阀40，但这些也可以是球阀以外的阀机构。另外，关于供给阀63、排气阀65的阀机构，也没有特别限定。
另外，作为箱11和盖体61的材质，使用了 SUS304、 SUS316等的不锈钢。对于阀40和配管类也使用了同样的不锈钢，但根据构成部件，也可以使用碳素钢等。
10
权利要求
1.一种氯硅烷液的收纳容器，其具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖，其中，所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰，所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，所述封闭盖具备具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
2. 权利要求1所述的氯硅烷液的收纳容器，其特征在于，夹在 所述连接法兰的所述连接面和所述封闭盖的所述封闭面之间的垫片 和所述连接面及所述封闭面中的至少 一者具有至少一个环形槽。
3. —种氯硅烷液收纳容器用封闭盖，其以能够装卸的方式安装在 阀的连接法兰上，所述阀固定在收纳氯硅烷液的箱上，所述氯硅烷液收纳容器用封闭盖具备具有与所述连接法兰的连 接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述 阀的阀体之间的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述 空间排出气体的排气管、开闭所述排气管的排气阀，所述氯硅烷液收 纳容器用封闭盖通过将所述封闭盖固定在所述连接法兰上来密封所 述空间。
全文摘要
本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。
文档编号F17C1/10GK101649957SQ20091016740
公开日2010年2月17日 申请日期2009年8月12日 优先权日2008年8月13日
发明者伊藤孝则, 佐佐木刚 申请人:三菱麻铁里亚尔株式会社